一种光阑装置制造方法及图纸

本申请公开了一种光阑装置。光阑装置包括：移动组件，移动组件包括旋转驱动单元；光阑板，与移动组件连接，光阑板的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面，以将照射在光阑板表面的激光进行反射；光阑板能在旋转驱动单元的驱动下转动。本申请提供一种能将照射到光阑板上的激光反射出去，保护光阑板免受损坏，且能根据入射激光角度调节反射角度，避免激光反射回激光装置上的光阑装置。避免激光反射回激光装置上的光阑装置。避免激光反射回激光装置上的光阑装置。

【技术实现步骤摘要】
一种光阑装置


[0001]本技术涉及光斑轮廓检测
，尤其涉及一种光阑装置。

技术介绍

[0002]光斑轮廓检测中，需要通过光阑来将激光进行拦光，光阑上有狭缝，激光透过狭缝，形成狭缝形状的光斑。而光阑上没有狭缝的区域激光无法穿过，因此激光照射在该区域上，尤其是能量较高的激光照射，会导致该区域能量聚集而产生高温，对光阑板造成损坏，使光阑板边缘受损，进而影响光斑形状，降低光阑性能。同时，激光照射在光阑板上时，光阑板会将激光反射回激光装置中，这样会导致激光装置被损坏。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种光阑装置，以解决现有技术中光阑板在激光照射下发生损坏，影响光斑形状，降低光阑性能的问题，以及解决激光反射回激光装置导致激光装置被损坏的问题。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种光阑装置，其中，包括：
[0006]移动组件，所述移动组件包括旋转驱动单元；
[0007]光阑板，与所述移动组件连接，所述光阑板的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面，以将照射在所述光阑板表面的激光进行反射；所述光阑板能在所述旋转驱动单元的驱动下转动。
[0008]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述移动组件还包括平移驱动单元，所述旋转驱动单元连接至所述平移驱动单元，所述平移驱动单元能驱动所述旋转驱动单元沿X方向及Z方向移动。
[0009]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述平移驱动单元包括第一平移驱动件及第二平移驱动件，所述第一平移驱动件的驱动方向为Z方向，所述第二平移驱动件的驱动方向为X方向；所述第二平移驱动件为两个，两个所述第二平移驱动件均连接在所述第一平移驱动件的输出端；
[0010]所述旋转驱动单元包括第一旋转驱动件及第二旋转驱动件，所述第一旋转驱动件及所述第二旋转驱动件分别连接至两个所述第二平移驱动件的输出端；
[0011]所述光阑板为两块，两块所述光阑板分别连接至所述第一旋转驱动件及所述第二旋转驱动件，两块所述光阑板相对设置，以使两块所述光阑板之间形成光阑狭缝。
[0012]作为上述光阑装置的一种可选方案，与所述第一旋转驱动件连接的所述光阑板在所述第一旋转驱动件的驱动下绕与Y方向平行的第一轴线转动，与所述第二旋转驱动件连接的所述光阑板在所述第二旋转驱动件的驱动下绕与Y方向平行的第二轴线转动。
[0013]作为上述光阑装置的一种可选方案，当所述光阑板的旋转角度为0时，所述光阑板与所述X方向及所述Y方向均平行，两块所述光阑板的相对的一端的端面与所述X方向呈夹
角设置，以使所述端面作为所述反射面，所述夹角大于0小于90
°
。
[0014]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述夹角大于等于30
°
小于等于60
°
。
[0015]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述两块所述光阑板的相对的一端的端面共同形成V形结构，所述V形结构的顶部宽度大于或等于激光照射区域的宽度。
[0016]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述反射面为形成在所述光阑板上的镜面抛光面。
[0017]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述光阑装置还包括安装架，所述安装架包括：
[0018]底座；
[0019]安装板，设于所述底座上，且所述安装板与所述Z方向及所述X方向均平行，所述移动组件及所述光阑板均设于所述安装板上。
[0020]作为上述光阑装置的一种可选方案，所述光阑装置还包括：
[0021]光吸收件，设于所述安装架上，用于吸收所述反射面反射的激光。
[0022]本技术的有益之处在于：在光阑板上设置了反射面来反射照射到光阑板上的激光，反射面至少设置在光阑板上位于激光照射的区域内，以避免光阑板在强激光照射下升温，避免光阑板损坏，保证光阑板的完整性，从而保证光斑形状的完整性和精确度，提升光阑装置的性能，延长光阑装置的使用寿命。同时，光阑板连接有旋转驱动单元和平移驱动单元，旋转驱动单元能驱动光阑板旋转以根据入射激光的入射角度来调节反射面的反射角度，保证无论入射激光以任何角度入射，均能将反射面调节至一个使反射的激光不会返回至激光装置的角度，能保护激光装置免受损坏。
附图说明
[0023]图1是本技术中光阑装置实施例的结构示意图；
[0024]图2是本技术图1所示结构的主视结构示意图；
[0025]图3是本技术图1所示结构将光阑板旋转后的结构示意图；
[0026]图4是本技术图3所示结构的主视结构示意图；
[0027]图5是本技术图4所示结构在另一种入射角度激光照射下的结构示意图；
[0028]图6是本技术中光阑板的旋转位移示意图。
[0029]图中：
[0030]101、激光装置；102、第一轴线；103、第二轴线；
[0031]100、光阑装置；
[0032]110、安装架；111、底座；112、安装板；
[0033]120、移动组件；121、平移驱动单元；1211、第一平移驱动件；1212、第二平移驱动件；122、旋转驱动单元；1221、第一旋转驱动件；1222、第二旋转驱动件；
[0034]130、光阑板；131、反射面；
[0035]140、光吸收件；
[0036]150、光斑探测器。
具体实施方式
[0037]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0038]请参考图1，本技术提供了一种光阑装置100，光阑装置100包括安装架110、移动组件120以及光阑板130。移动组件120安装在安装架110上，光阑板130与移动组件120连接，移动组件120驱动光阑板130移动。本技术中，光阑板130采用两块，两块光阑板130之间的狭缝用来透过激光，形成光阑。移动组件120驱动两块光阑板130移动来改变狭缝大小，也就是改变光斑大小。在其它实施例中，光阑板130也可以为其它数量，例如一块，或者多块，在此不做限制。当光阑板130为一块时，通过直接在该光阑板130上加工通孔来形成光阑狭缝，而不是采用多块光阑板130配合的方式来形成光阑狭缝。本技术中，采用两块光阑板130配合的方式来形成狭缝，相较于直接在光阑板130上开设狭缝，可降低加工难度，同时，还可以精确控制狭缝的大小，提升光斑大小控制的精确度，使得光阑装置100的性能更佳。另外，当需要的光斑大小改变时，只需调整两块光阑板130之间的相对位置来改变狭缝宽度即可，无需针对不同光斑大小设计不同规格的光阑板130，也不需要针对不同的光斑需求另外更换和装配光阑板130，降低了成本，以及降低了装配难度，提升了装配效率。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光阑装置，其特征在于，包括：移动组件(120)，所述移动组件(120)包括旋转驱动单元(122)；光阑板(130)，与所述移动组件(120)连接，所述光阑板(130)的表面至少部分位于激光照射区域内的表面设置有反射面(131)，以将照射在所述光阑板(130)表面的激光进行反射；所述光阑板(130)能在所述旋转驱动单元(122)的驱动下转动。2.根据权利要求1所述的光阑装置，其特征在于，所述移动组件(120)还包括平移驱动单元(121)，所述旋转驱动单元(122)连接至所述平移驱动单元(121)，所述平移驱动单元(121)能驱动所述旋转驱动单元(122)沿X方向及Z方向移动。3.根据权利要求2所述的光阑装置，其特征在于，所述平移驱动单元(121)包括第一平移驱动件(1211)及第二平移驱动件(1212)，所述第一平移驱动件(1211)的驱动方向为Z方向，所述第二平移驱动件(1212)的驱动方向为X方向；所述第二平移驱动件(1212)为两个，两个所述第二平移驱动件(1212)均连接在所述第一平移驱动件(1211)的输出端；所述旋转驱动单元(122)包括第一旋转驱动件(1221)及第二旋转驱动件(1222)，所述第一旋转驱动件(1221)及所述第二旋转驱动件(1222)分别连接至两个所述第二平移驱动件(1212)的输出端；所述光阑板(130)为两块，两块所述光阑板(130)分别连接至所述第一旋转驱动件(1221)及所述第二旋转驱动件(1222)，两块所述光阑板(130)相对设置，以使两块所述光阑板(130)之间形成光阑狭缝。4.根据权利要求3所述的光阑装置，其特征在于，与所述第一旋转驱动件(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：王星星，赖勇，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：