一种等离子处理单槽台车定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子处理单槽台车定位装置，包括设置在台车上方机架的单槽台车，单槽台车的底部设有滑轮，对应的台车上端设有滑轨，单槽台车的顶部设置若干定位孔，上方设有拉板，拉板下端面设置若干与定位孔对应的定位销，定位销插入定位孔固定单槽台车，拉板的一侧设有控制拉板上下活动的拉板抬升装置，拉板抬升装置通过气缸控制勾杆勾住拉板后通过滑轨一起向上运动，松开定位销，单槽台车在外力的作用下进入等离子真空腔体，后气缸关闭，在弹簧的作用的，勾杆和拉板在复位弹簧的作用下回复原位，而此时基板在真空腔体内确保不会碰触到电极板，避免在操作过程中造成电极板损坏，降低由于人工操作过程中对电极板造成的损失。的损失。的损失。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子处理单槽台车定位装置


[0001]本技术涉及等离子体对材料的处理领域，更具体地，涉及到一种等离子处理单槽台车定位装置。

技术介绍

[0002]等离子体处理流程非常复杂，而且每一步有着严格的工艺要求。因为设备的限制，往往需要人力将需要处理的基板安装在台车上，再将装满基板的台车人工定位，而后送至等离子处理系统中进行加工处理。这种定位方式，需要工作人员比较多，基本要需要一个员工负责一台台车的定位工作，而且很难控制所有满基板同时进入等离子处理系统中进行加工处理，在操作过程中容易造成基板偏离位置，在推入等离子真空处理腔体时碰撞电极板，造成电极板的损伤，从而增加了加工成本。

技术实现思路

[0003]为了克服上述缺陷，本技术提供了一种等离子处理单槽台车定位装置，提前对进入等离子腔体处理的基板进行定位，减少由于基板位置偏移对电极造成的损害。
[0004]本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子处理单槽台车定位装置，包括设置在转接板上方机架的单槽台车，单槽台车的底部设有滑轮，对应的转接板上端设有滑轨，所述单槽台车的顶部设置若干定位孔，单槽台车的上方设有只能上下活动的拉板，拉板下端面设置若干与定位孔对应的定位销，定位销插入定位孔固定单槽台车，所述拉板的一侧设有控制拉板上下活动的拉板抬升装置，所述拉板抬升装置固定于转接板上方机架上。
[0005]作为本技术的进一步改进，所述拉板抬升装置由气缸、勾杆、弹簧、滑块和滑轨组成，所述勾杆中间转动固定在滑块上，滑块沿着滑轨上下滑动，勾杆的勾子端转动后勾住拉板，勾杆的尾端连接气缸，在气缸的作用下，勾杆勾住拉板并向上抬升，弹簧连接勾杆和滑块顶部，在气缸作用结束后使得勾杆回复原位。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述拉板的侧面设有限制拉板水平方向位移的限位板，所述拉板的上端面与限位板的顶部之间设有复位弹簧，拉板在复位弹簧作用下回复原位。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述滑轨的下端设有止动螺丝，用于限制滑块下滑的位移。
[0008]本技术的有益效果是：本技术的等离子处理单槽台车定位装置有以下优点：通过气缸控制勾杆控制机构向上运动，勾杆勾住拉板后通过滑轨一起向上运动，达到松开定位销的作用，此时可以将装满若干需要等离子处理基板的台车放在指定的位置，然后勾杆控制机构向下运动，勾子放开拉板，在复位弹簧的作用下，拉板上的定位销迅速的复位，起到定位的作用，在基板送入等离子真空腔体保证基板不会碰触到真空腔体内的电极板，避免在操作过程中造成电极板损坏，降低由于人工操作过程中对电极板造成的损失。
附图说明
[0009]图1为本技术结构示意图；
[0010]图2为本技术结构侧视图；
[0011]图3位图2中A部放大示意图
[0012]图中标示：1
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转接板，2
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机架，3
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单槽台车，4
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滑轮，5
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滑轨，6
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定位孔，7
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拉板，8
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定位销，9
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气缸；10
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勾杆；11
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弹簧；12
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滑块；13
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滑轨；14
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限位板；15
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复位弹簧；16
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止动螺丝。
具体实施方式
[0013]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例和附图对本技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。
[0014]图1和2出示了本技术提供的一种等离子处理单槽台车定位装置，包括设置在转接板1上方机架2的单槽台车3，单槽台车3的底部设有滑轮4，对应的转接板1上端设有滑轨5，所述单槽台车3的顶部设置若干定位孔6，单槽台车3的上方设有只能上下活动的拉板7，拉板7下端面设置若干与定位孔对应的定位销8，定位销8插入定位孔6固定单槽台车3，所述拉板7的一侧设有控制拉板7上下活动的拉板抬升装置，所述拉板抬升装置固定于台车上方机架2上。
[0015]如图3所示所述拉板抬升装置由气缸9、勾杆10、弹簧11、滑块12和滑轨13组成，所述勾杆10中间转动固定在滑块12上，滑块12沿着滑轨13上下滑动，勾杆10的勾子端转动后勾住拉板7，勾杆10的尾端连接气缸9，在气缸9的作用下，勾杆10勾住拉板7并向上抬升，弹簧11连接勾杆10和滑块12顶部，在气缸9作用结束后使得勾杆10回复原位。
[0016]所述拉板7的侧面设有限制拉板水平方向位移的限位板14，所述拉板7的上端面与限位板14的顶部之间设有复位弹簧15，拉板在复位弹簧15作用下回复原位。
[0017]所述滑轨13的下端设有止动螺丝16，用于限制滑块12下滑的位移。
[0018]本实施例的操作过程如下：首先在气缸9的作用下，同时勾杆10在气缸9的带动下转动，勾杆10勾住拉板7，此时，气缸9同时带动滑块12沿着滑轨13向上滑移，勾杆10抬升拉板7，定位销8脱离定位孔9，单槽台车3在外力作用下沿滑轨5推进等离子处理腔体进行处理；关闭气缸9，在弹簧11的作用的，勾杆10恢复原状，同时拉板7在复位弹簧15的作用下回复原位。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子处理单槽台车定位装置，其特征在于：包括设置在转接板(1)上方机架(2)上的单槽台车(3)，单槽台车(3)的底部设有滑轮(4)，对应的转接板(1)上端设有滑轨(5)，所述单槽台车(3)的顶部设置若干定位孔(6)，单槽台车(3)的上方设有只能上下活动的拉板(7)，拉板(7)下端面设置若干与定位孔对应的定位销(8)，定位销(8)插入定位孔(6)固定单槽台车(3)，所述拉板(7)的一侧设有控制拉板(7)上下活动的拉板抬升装置，所述拉板抬升装置固定于台车上方机架(2)上。2.根据权利要求1所述的一种等离子处理单槽台车定位装置，其特征在于：所述拉板抬升装置由气缸(9)、勾杆(10)、弹簧(11)、滑块(12)和滑轨(13)组成，所述勾杆(10)中间转动固定在滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明德，汤家云，刘庆峰，
申请(专利权)人：扬州国兴技术有限公司，
类型：新型
国别省市：