本实用新型专利技术提供了一种上下料机构和烘干固化炉装置，上下料机构包括：支撑框架；伸缩平台，设置在支撑框架上，伸缩平台能够在支撑框架上伸缩滑动；运送装置，部分设置在伸缩平台上。本实用新型专利技术的技术方案中，当伸缩平台从支撑框架伸出到预设位置时，使得运送装置部分与工件的下端接触，这样确保运送装置工作时能够将工件从花篮中取出或者能够将工件装入花篮中，从而满足花篮的上下料要求，进而确保烘干固化炉装置能够正常地工作。固化炉装置能够正常地工作。固化炉装置能够正常地工作。
【技术实现步骤摘要】
上下料机构和烘干固化炉装置
[0001]本技术涉及烘干固化炉装置设备
，具体而言，涉及一种上下料机构和烘干固化炉装置。
技术介绍
[0002]目前，相关技术中的烘干固化炉装置设备的花篮用于装载硅片，装载好硅片的花篮传送至烘干固化炉装置的炉体装置进行烘干作业，烘干作业完成后，需要将花篮上已烘干的硅片卸除，再重新装载需要烘干的硅片。为了提高花篮装载或者卸除硅片的便利性，需要开发一种设备以满足花篮的上下料要求。
技术实现思路
[0003]本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0004]为此，本技术的一个目的在于提供一种上下料机构。
[0005]本技术的另一个目的在于提供一种烘干固化炉装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术的实施例提供了一种上下料机构，上下料机构包括：支撑框架；伸缩平台，设置在支撑框架上，伸缩平台能够在支撑框架上伸缩滑动；运送装置，部分设置在伸缩平台上。
[0007]在该技术方案中，当伸缩平台从支撑框架伸出到预设位置时，使得运送装置部分与工件的下端接触，这样确保运送装置工作时能够将工件从花篮中取出或者能够将工件装入花篮中，从而满足花篮的上下料要求，进而确保烘干固化炉装置能够正常地工作。
[0008]另外，本技术提供的上述实施例中的上下料机构还可以具有如下附加技术特征：
[0009]在上述技术方案中，上下料机构还包括：花篮，用于承载工件；驱动装置，用于驱动花篮沿第一方向运动，运送装置用于将工件运送至花篮中。
[0010]在该技术方案中，花篮作为一个载体，能够承载工件，同时能够在驱动装置和运送装置的传送作用下将工件传送到预设的位置，进而满足设备的传送要求。
[0011]在上述任一技术方案中中，上下料机构还包括固定平台，固定平台设置在支撑框架上，且与伸缩平台对应设置。
[0012]在该技术方案中，当伸缩平台从支撑框架缩回到初始位置时，固定平台与伸缩平台对接，固定平台用于承接伸缩平台上传送的硅片并将其转出上下料机构，从而方便其开展下一道工序。或者，固定平台用于将外部的硅片转送至伸缩平台，从而方便伸缩平台将该硅片装载到花篮内。
[0013]在上述任一技术方案中，运送装置包括传动轮组和传动皮带，传动皮带设置在传动轮组上。
[0014]在该技术方案中，传动轮组作为传动件用于带动传动皮带在支撑框架上滑动，由于传动皮带与工件的底部接触，在传动皮带与工件之间的摩擦力的作用下，工件随传动皮
带一起运动，从而实现了运送装置的运送功能。
[0015]在上述任一技术方案中，支撑框架包括前支撑架和后支撑架，运送装置包括两组传动轮组，两组传动轮组分别设置在前支撑架和后支撑架上。
[0016]在该技术方案中，两组传动轮组同时工作，这样使得设置在两组传动轮组上的传动皮带同步滑动，这样增加了传动皮带与工件的接触面积，从而增加了传动皮带与工件之间的摩擦力，进而确保工件能够随传动皮带一起运动，提高了运送装置运送的稳定性。
[0017]在上述任一技术方案中，传动皮带部分设置在伸缩平台和固定平台上，传动皮带能够在伸缩平台和固定平台上滑动。
[0018]在该技术方案中，伸缩平台和固定平台具有支撑作用，能够支撑传动皮带和工件，从而确保运送装置能够正常地运送工件，进而满足硅片的运送要求。
[0019]在上述任一技术方案中，前支撑架和后支撑架均设置有滑动槽，滑动槽沿支撑框架的长度方向延伸设置。
[0020]在该技术方案中，滑动槽为避让槽，使得连接轴能够与传动轮组的滑动轮转动连接，由于连接轴设置在伸缩平台的底部，这样又能确保滑动轮能够随伸缩平台一起移动，从而确保伸缩平台在伸缩运动时传动轮组也能够正常地转动，两者互不影响，进而满足上下料机构的上下料要求。
[0021]在上述任一技术方案中，上下料机构包括连接轴，连接轴设置在伸缩平台的底部，且沿支撑框架的宽度方向部分穿设出滑动槽，每组传动轮组包括一个滑动轮，滑动轮与连接轴的一端可转动地连接，连接轴的一端穿设出滑动槽。
[0022]在该技术方案中，连接轴能够与传动轮组的滑动轮转动连接，滑动轮又能随伸缩平台一起移动，从而确保伸缩平台在伸缩运动时传动轮组也能够正常地转动，进而满足上下料机构的上下料要求。
[0023]在上述任一技术方案中，上下料机构还包括运送驱动装置，运送驱动装置设置在支撑框架上，用于驱动运送装置动作；和/或上下料机构还包括伸缩驱动装置，伸缩驱动装置设置在支撑框架上，用于驱动伸缩平台动作。
[0024]在该技术方案中，运送驱动装置为动力装置，能够为运送装置提供动力，从而确保运送装置能够正常地工作，进而确保上下料机构能够正常地工作。伸缩驱动装置为动力装置，能够为伸缩平台提供动力，从而确保伸缩平台能够正常地工作，进而确保上下料机构能够正常地工作。
[0025]在上述任一技术方案中，上下料机构还包括检测装置，检测装置设置在伸缩平台和/或支撑框架的后支撑架和/或上下料机构的固定平台上。
[0026]在该技术方案中，设置在伸缩平台和固定平台上的检测装置用于检测伸平台上是否放置硅片，设置在后支撑架上的检测装置用于检测伸缩平台是否收缩到初始位置，从而确保硅片的下一道工序能够正常地开展。
[0027]本技术第二方面的技术方案提供了一种烘干固化炉装置，烘干固化炉装置包括：机架，包括主容纳腔和设置在主容纳腔至少一侧的侧腔炉体装置；炉体装置，设置在主容纳腔内；如第一方面技术方案中任一项的上下料机构，上下料机构设置在侧腔内，以炉体装置为中心对称设置。
[0028]本技术第二方面的技术方案提供的烘干固化炉装置，因包括第一方面技术方
案中任一项的上下料机构，因而具有上述任一技术方案所具有的一切有益效果，在此不再赘述。
[0029]在上述方案中，由于烘干固化炉装置集成了机架、炉体装置、升降机构、花篮和上下料机构。这样提高了烘干固化炉装置的工作效率，从而确保烘干固化炉装置能够适用于大产能硅片制造要求。
[0030]本技术的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0031]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0032]图1示出了根据本技术实施例的上下料机构的立体结构示意图(伸缩平台处于缩回状态，未示出花篮)；
[0033]图2示出了图1中的上下料机构立体结构示意图(伸缩平台处于伸出状态，未示出花篮)；
[0034]图3示出了图1中的上下料机构的另一个角度的立体结构示意图(伸缩平台处于缩回状态，未示出花篮)；
[0035]图4示出了根据本技术实施例中的烘干固化炉装置的结构示意图。
[0036]其中，图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
[0037]10、花篮；100本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种上下料机构(500)，其特征在于，所述上下料机构(500)包括：支撑框架(502)；伸缩平台(504)，设置在所述支撑框架(502)上，所述伸缩平台(504)能够在所述支撑框架(502)上伸缩滑动；运送装置(508)，部分设置在所述伸缩平台(504)上。2.根据权利要求1所述的上下料机构(500)，其特征在于，所述上下料机构(500)还包括：花篮(10)，用于承载工件；驱动装置，用于驱动所述花篮(10)沿第一方向运动，所述运送装置(508)用于将所述工件运送至所述花篮(10)中。3.根据权利要求2所述的上下料机构(500)，其特征在于，所述上下料机构(500)还包括固定平台(506)，所述固定平台(506)设置在所述支撑框架(502)上，且与所述伸缩平台(504)对应设置。4.根据权利要求3所述的上下料机构(500)，其特征在于，所述运送装置(508)包括传动轮组(5082)和传动皮带(5084)，所述传动皮带(5084)设置在所述传动轮组(5082)上。5.根据权利要求4所述的上下料机构(500)，其特征在于，所述支撑框架(502)包括前支撑架(5022)和后支撑架(5024)，所述运送装置(508)包括两组所述传动轮组(5082)，两组所述传动轮组(5082)分别设置在所述前支撑架(5022)和所述后支撑架(5024)上。6.根据权利要求5所述的上下料机构(500)，其特征在于，所述传动皮带(5084)部分设置在所述伸缩平台(504)和所述固定平台(506)上，所述传动皮带(5084)能够在所述伸缩平台(504)和所述固定平台(506)上滑动。7.根据权利要求6所述的上下料机构(500)，其特征在于，所述前支撑架(5022...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，吴勇茂，钟文魁，罗搏飞，冼志军，
申请(专利权)人：常州捷佳创智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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