一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备制造技术

本技术涉及等离子蚀刻的技术领域，具体公开了一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，包括水平运输轨道、第一运输机构和第二运输机构，第一运输机构和第二运输机构滑动连接于水平运输轨道上；水平运输轨道的一端侧面上设置有自动上下料设备，水平运输轨道的中间位置侧面上设置有等离子清洗机构，自动上下料设备的一侧设置有控制柜；等离子清洗机构包括多个腔体和多个真空泵，多个腔体之间为相通联动，多个腔体之间采用同一控制器进行控制。本技术能够使得生产效率变得更高；结构更为紧凑，所以占用空间更少；使用轨道式运输进行传送，成本更低占地更少；多腔体使用同一个控制器控制，集成度更高，操作更为方便。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及等离子蚀刻的，具体涉及一种用于pcb板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备。

技术介绍

1、随着集成电路和微波组件向微型化方向发展，工作频率越来越高，集成电路的线宽不断减小，对印刷电路板的要求也就越来越高，复杂的高密度多层板结构出现频率也大大增加，随之而来的则是为了追求更高的厚径比和更多的层数带来的孔中除污困难的问题。同时，不同频率不同场合的使用，对pcb板材的种类也提出了各种新型的要求，陶瓷基板、聚四氟乙烯基板等特殊基板的使用量越来越大；然而这类特殊板材使用传统的除胶渣和化学铜工艺难以形成良好的孔内金属导电层。因此，一般会在传统除胶渣前进行等离子体清洗来保证后续孔中除污的品质。

2、等离子体清洗是利用电离产生的多种粒子与被清洗表面发生反应，从而有效清除被清洗表面污染物的技术手段。由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易与固体表面发生反应，依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污溃的目的。比起传统湿法清洗，等离子体清洗可以处理的基材更全面，适用性更广。

3、目前现有技术仍存在以下待改进的地方：目前在行业内大量使用的都是单体式的真空等离子处理技术。这种真空等离子蚀刻技术每次工序都需要经历抽真空-加热-等离子处理-破真空的复杂流程，一个完整的处理周期耗时较长，通常要30-60分钟处理一个批次。因此使用单体真空等离子设备存在着产能低，需要人工安装工件，拆卸加工完成的工件等问题，劳动强度大，效率低。现有的pcb板运输通常使用agv小车，运行轨迹需要复杂的编程支撑，成本较高且效率较低。

技术实现思路

1、为解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种用于pcb板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，能够以多腔联动的方式运行，一次就可以产出数倍于单腔体等离子蚀刻机的产出，使得生产效率变得更高；结构更为紧凑，所以占用空间更少；使用轨道式运输进行传送，成本更低占地更少；多腔体使用同一个控制器控制，集成度更高，操作更为方便；多腔体共用模温机和水冷系统，使用成本降低，占用空间也更少。

2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种用于pcb板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，包括水平运输轨道、第一运输机构和第二运输机构，所述第一运输机构和所述第二运输机构滑动连接于所述水平运输轨道上；

4、所述水平运输轨道的一端侧面上设置有自动上下料设备，所述水平运输轨道的中间位置侧面上设置有等离子清洗机构，所述自动上下料设备的一侧设置有控制柜；

5、所述等离子清洗机构包括多个腔体和多个真空泵，多个所述腔体联动，多个所述腔体之间采用同一控制器进行控制。

6、进一步的，所述控制柜位于所述水平运输轨道靠近所述自动上下料设备的一端，用于控制所述自动上下料设备运输pcb板。

7、进一步的，每个腔体上固定连接有一个真空泵。

8、进一步的，所述自动上下料设备和所述等离子清洗机构位于所述水平运输轨道的同一侧。

9、进一步的，所述第一运输机构和所述第二运输机构上均设置有板框托架输入输出机构，用于运输pcb板。

10、进一步的，多个所述腔体靠近所述水平运输轨道的一侧均设置有滑轨。

11、本技术的有益效果为：

12、(1)通过设置等离子清洗机构，可以达到的技术效果是能够以多腔联动的方式运行，一次就可以产出数倍于单腔体等离子蚀刻机的产出，使得生产效率变得更高；结构更为紧凑，所以占用空间更少；多腔体使用同一个控制器控制，集成度更高，操作更为方便；多腔体共用模温机和水冷系统，使用成本降低，占用空间也更少。

13、(2)通过设置水平运输轨道、第一运输机构和第二运输机构，可以达到的技术效果是通过第一运输机构和第二运输机构在水平运输轨道上滑动，实现轨道式运输进行传送，替代agv运输，可以在不影响生产的基础上大大节约成本，占地更少。

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【技术保护点】

1.一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：包括水平运输轨道、第一运输机构和第二运输机构，所述第一运输机构和所述第二运输机构滑动连接于所述水平运输轨道上；

2.根据权利要求1所述的一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：所述控制柜位于所述水平运输轨道靠近所述自动上下料设备的一端，用于控制所述自动上下料设备运输PCB板。

3.根据权利要求1所述的一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：每个腔体上固定连接有一个真空泵。

4.根据权利要求1所述的一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：所述自动上下料设备和所述等离子清洗机构位于所述水平运输轨道的同一侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：所述第一运输机构和所述第二运输机构上均设置有板框托架输入输出机构，用于运输PCB板。

6.根据权利要求1所述的一种用于PCB板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：多个所述腔体靠近所述水平运输轨道的一侧均设置有滑轨。

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【技术特征摘要】

1.一种用于pcb板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：包括水平运输轨道、第一运输机构和第二运输机构，所述第一运输机构和所述第二运输机构滑动连接于所述水平运输轨道上；

2.根据权利要求1所述的一种用于pcb板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：所述控制柜位于所述水平运输轨道靠近所述自动上下料设备的一端，用于控制所述自动上下料设备运输pcb板。

3.根据权利要求1所述的一种用于pcb板生产的多工位自动化等离子蚀刻设备，其特征在于：每个腔体上固定连接有一个真空泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈培峰，靳赵阳，刘庆峰，程凡雄，
申请(专利权)人：扬州国兴技术有限公司，
类型：新型
国别省市：