贴合被加工物的磨削方法和磨削装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供贴合被加工物的磨削方法和磨削装置。该贴合被加工物的磨削方法在利用保持面对贴合被加工物的支承部件进行保持的工序之前包含如下的工序：利用照相机按照包含被加工物的外周和直径比被加工物大的支承部件的外周的方式对贴合被加工物进行拍摄；通过在拍摄图像中彼此相邻的像素的亮度差来识别支承部件的外周和被加工物的外周；以及根据所识别的支承部件的外周来识别支承部件的中心并且根据所识别的被加工物的外周来识别被加工物的中心。在保持工序中，在选择性地实施了使保持面的中心与支承部件的中心一致而进行保持的情况和使保持面的中心与被加工物的中心一致而进行保持的情况之后，对被加工物进行磨削。削。削。

【技术实现步骤摘要】
贴合被加工物的磨削方法和磨削装置


[0001]本专利技术涉及将两个透明部件或半透明部件贴合而得的贴合被加工物的磨削方法以及该贴合被加工物的磨削装置。

技术介绍

[0002]在利用磨具对半导体晶片等被加工物进行磨削的磨削装置中，例如如专利文献1所公开的那样，在将在一个面上粘贴有带的被加工物搬入到卡盘工作台之前，对被加工物的外周进行检测，根据该检测出的外周来识别被加工物的中心，使保持面的中心与被加工物的中心一致，使被加工物保持于保持面而利用磨具进行磨削。
[0003]在利用磨具对作为被加工物的透明部件或半透明部件的钽酸锂(LiTaO3)进行磨削时，当在钽酸锂的一个面上粘贴带而以保持着一个面侧的状态进行磨削时，存在薄化后的钽酸锂弯曲而破裂的问题。因此，为了使薄化后的钽酸锂不弯曲，代替带而在透明或半透明的玻璃等较硬的材质的基质(支承部件)上粘贴钽酸锂，对基质侧进行保持而对钽酸锂进行磨削。
[0004]专利文献1：日本特开2009
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123790号公报
[0005]关于将支承部件和钽酸锂贴合而成的贴合被加工物，支承部件的中心与钽酸锂的中心稍微偏移。因此，为了确保即使彼此的中心稍微偏移地贴合钽酸锂也不从支承部件探出，钽酸锂的直径比支承部件小。
[0006]另外，为了减小通过磨削而薄化的钽酸锂的厚度差，在钽酸锂的外周上不形成表示晶体取向的缺口或定向平面，在支承部件上形成表示晶体取向的标记，使钽酸锂的中心与保持面的中心一致，使贴合被加工物保持于保持面，利用磨具对钽酸锂进行磨削而薄化。即，在磨削时存在保持面与支承部件的中心不一致的情况。另外，为了防止真空泄漏，并且为了能够利用支承部件覆盖保持面，支承部件比保持面大。
[0007]在钽酸锂上形成有表示晶体取向的标记的情况下的支承部件可以比保持面稍大，在磨削中，也可以使支承部件的中心与保持面的中心一致而使贴合被加工物保持于保持面。

技术实现思路

[0008]因此，本专利技术的目的在于，提供一种磨削方法和磨削装置，在使将两个透明部件或半透明部件贴合而得的贴合被加工物保持于卡盘工作台的保持面上的情况下，能够选择性地切换使支承部件的中心与保持面的中心一致的情况和使作为被加工物的钽酸锂的中心与保持面的中心一致的情况。
[0009]根据本专利技术的一个方面，提供一种贴合被加工物的磨削方法，利用磨具对将呈圆板状且透明或半透明的被加工物和呈从该被加工物的外周向外探出的大小的圆板状且透明或半透明的支承部件这至少两个透明部件或半透明部件贴合而得的贴合被加工物的该被加工物进行磨削，其中，该贴合被加工物的磨削方法具有如下的工序：拍摄工序，利用照
相机按照包含该被加工物的外周和该支承部件的外周的方式对该贴合被加工物进行拍摄；外周识别工序，根据在通过该拍摄工序而拍摄的拍摄图像中彼此相邻的像素的亮度差来分别识别该支承部件的外周和该被加工物的外周；中心识别工序，根据通过该外周识别工序而识别的该支承部件的外周来识别该支承部件的中心，并且根据通过该外周识别工序而识别的该被加工物的外周来识别该被加工物的中心；保持工序，在实施了该中心识别工序之后，使该贴合被加工物的该支承部件保持于卡盘工作台的保持面上；以及磨削工序，利用磨具对通过该保持工序而保持的该贴合被加工物的该被加工物进行磨削，在该保持工序中，在选择性地实施了使该保持面的中心与该支承部件的中心一致而进行保持的情况和使该保持面的中心与该被加工物的中心一致而进行保持的情况之后，通过该磨削工序对该被加工物进行磨削。
[0010]优选的是，所述拍摄工序包含如下的暂放工序：使所述被加工物的外周和所述支承部件的外周从暂放工作台探出而将所述贴合被加工物暂放于该暂放工作台上，在所述拍摄工序中，利用配置在暂放于该暂放工作台的该贴合被加工物的下方的照明部从该贴合被加工物的下方向上方照射光，利用与该照明部对置配置的所述照相机按照包含该被加工物的外周和该支承部件的外周的方式对该贴合被加工物进行拍摄。
[0011]优选的是，在所述拍摄工序中，利用所述照相机按照包含由将所述贴合被加工物搬送到所述保持面上的搬送单元所保持的该贴合被加工物的所述被加工物的外周和所述支承部件的外周的方式对该贴合被加工物进行拍摄。
[0012]根据本专利技术的另一方面，提供一种磨削装置，其中，该磨削装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对将呈圆板状且透明或半透明的被加工物和呈从该被加工物的外周向外探出的大小的圆板状且透明或半透明的支承部件这至少两个透明部件或半透明部件贴合而得的贴合被加工物的该支承部件进行保持；磨削单元，其利用磨具对该保持面所保持的该贴合被加工物的该被加工物进行磨削；搬送单元，其将该贴合被加工物搬送到该卡盘工作台的该保持面上并保持；照相机，其对该贴合被加工物进行拍摄；以及控制单元，其至少对该卡盘工作台、该磨削单元、该搬送单元以及该照相机进行控制，所述控制单元包含：外周识别部，其在利用该卡盘工作台的该保持面对该贴合被加工物进行保持之前，根据包含该被加工物的外周和该支承部件的外周在内的该贴合被加工物的拍摄图像来判别而识别该被加工物的外周和该支承部件的外周；中心识别部，其根据该外周识别部所识别的该支承部件的外周来识别该支承部件的中心，根据该外周识别部所识别的该被加工物的外周来识别该被加工物的中心；以及设定部，其设定当使该贴合被加工物保持于该卡盘工作台的该保持面上时是使该保持面的中心与该支承部件的中心一致还是使该保持面的中心与该被加工物的中心一致，该控制单元对该搬送单元进行控制，以使得根据该设定部的设定而使该贴合被加工物保持于该卡盘工作台的该保持面上。
[0013]优选的是，所述支承部件具有表示所述被加工物的晶体取向的标记，所述保持单元的所述保持面与该支承部件为俯视时相同的形状，该保持单元包含使该保持面以该保持面的中心为轴进行旋转的保持面旋转单元，所述控制单元对该保持面旋转单元进行控制，使所述搬送单元所保持的所述贴合被加工物的该支承部件的该标记与该保持面上所形成的对应于该标记的对应标记一致。
[0014]根据本专利技术的磨削方法，在保持工序中，能够选择性地实施使保持面的中心与支
承部件的中心一致而进行保持的情况和使保持面的中心与被加工物的中心一致而进行保持的情况，之后，能够通过磨削工序对被加工物进行磨削。
[0015]拍摄工序包含如下的暂放工序：使被加工物的外周和支承部件的外周从暂放工作台探出而将贴合被加工物暂放于暂放工作台上，在拍摄工序中，利用配置在暂放于暂放工作台的贴合被加工物的下方的照明部从贴合被加工物的下方向上方照射光，利用与照明部对置配置的照相机按照包含被加工物的外周和支承部件的外周的方式对贴合被加工物进行拍摄，由此能够容易地取得在拍摄工序后进行的外周识别工序中所需的拍摄图像。
[0016]在拍摄工序中，利用照相机按照包含由将贴合被加工物搬送到保持面上的搬送单元所保持的贴合被加工物的被加工物的外周和支承部件的外周的方式对贴合被加工物进行拍摄，由此能够容易地取得在拍摄工序后进行的外周识别工序中所需的拍摄图像。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种贴合被加工物的磨削方法，利用磨具对将呈圆板状且透明或半透明的被加工物和呈从该被加工物的外周向外探出的大小的圆板状且透明或半透明的支承部件这至少两个透明部件或半透明部件贴合而得的贴合被加工物的该被加工物进行磨削，其中，该贴合被加工物的磨削方法具有如下的工序：拍摄工序，利用照相机按照包含该被加工物的外周和该支承部件的外周的方式对该贴合被加工物进行拍摄；外周识别工序，根据在通过该拍摄工序而拍摄的拍摄图像中彼此相邻的像素的亮度差来分别识别该支承部件的外周和该被加工物的外周；中心识别工序，根据通过该外周识别工序而识别的该支承部件的外周来识别该支承部件的中心，并且根据通过该外周识别工序而识别的该被加工物的外周来识别该被加工物的中心；保持工序，在实施了该中心识别工序之后，使该贴合被加工物的该支承部件保持于卡盘工作台的保持面上；以及磨削工序，利用磨具对通过该保持工序而保持的该贴合被加工物的该被加工物进行磨削，在该保持工序中，在选择性地实施了使该保持面的中心与该支承部件的中心一致而进行保持的情况和使该保持面的中心与该被加工物的中心一致而进行保持的情况之后，通过该磨削工序对该被加工物进行磨削。2.根据权利要求1所述的贴合被加工物的磨削方法，其中，所述拍摄工序包含如下的暂放工序：使所述被加工物的外周和所述支承部件的外周从暂放工作台探出而将所述贴合被加工物暂放于该暂放工作台上，在所述拍摄工序中，利用配置在暂放于该暂放工作台的该贴合被加工物的下方的照明部从该贴合被加工物的下方向上方照射光，利用与该照明部对置配置的所述照相机按照包含该被加工物的外周和该支承部件的外周的方式对该贴合被加工物进行拍摄。3.根据权利要求1所述的贴合被加工物的磨削方法，其中，在所述拍摄工序中，利用所述照相机按照包含由将所述贴合被加工物搬送到所述保持面上的搬送单元所保持的该贴合被加工物的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：福士畅之，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：