一种高密封效果单晶炉副炉室本体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高密封效果单晶炉副炉室本体，包括底座、主炉室、副炉室本体A、副炉室本体B和气泵，所述底座的顶部设置有主炉室，所述主炉室的顶部设置有隔离阀座，所述底座的顶部位于主炉室的两侧均设置有支撑架，所述支撑架内的一侧均设置有滑轨，所述滑轨的顶部一侧设置有推箱，所述推箱通过一侧滑块与滑轨滑动连接，所述推箱的另一侧通过轴承安装安装支架，所述推箱内通过螺栓连接步进电机，所述步进电机通过驱动轴连接安装支架，所述安装支架的一侧分别通过螺栓连接与主炉室对应的副炉室本体A与副炉室本体B。本实用新型专利技术一种高密封效果单晶炉副炉室本体，能够提高生产效率，结构简单易操作，而且便于清洁，适合被广泛推广和使用。推广和使用。推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种高密封效果单晶炉副炉室本体


[0001]本技术涉及单晶炉
，特别涉及一种高密封效果单晶炉副炉室本体。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，传统的直拉硅单晶炉在其炉体上部配有一个副炉室本体，用于在晶体提拉出熔体后上升到副炉室本体内部缓慢冷却。
[0003]目前，现有的单晶炉副炉室本体在使用时有以下缺点：1、由于密封性不稳定，易导致单晶炉的使用效果不佳，影响生产品质，2、单晶冷却时间较长，导致连续生产周期较长，生产效率较低，3、副炉室本体内需要人工进行清洁，较为消耗人力，且不易清洁。为此，我们提出一种高密封效果单晶炉副炉室本体。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种高密封效果单晶炉副炉室本体，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种高密封效果单晶炉副炉室本体，包括底座、主炉室、副炉室本体A、副炉室本体B和气泵，所述底座的顶部设置有主炉室，所述主炉室的顶部设置有隔离阀座，所述底座的顶部位于主炉室的两侧均设置有支撑架，所述支撑架内的一侧均设置有滑轨，所述滑轨的顶部一侧设置有推箱，所述推箱通过一侧滑块与滑轨滑动连接，所述推箱的另一侧通过轴承安装安装支架，所述推箱内通过螺栓连接步进电机，所述步进电机通过驱动轴连接安装支架，所述安装支架的一侧分别通过螺栓连接与主炉室对应的副炉室本体A与副炉室本体B，所述副炉室本体A和副炉室本体B的一端均设置有与隔离阀座对应的副炉室本体闸阀，所述底座的顶部位于主炉室的一侧设置有与副炉室本体A和副炉室本体B对应的废料槽。
[0007]进一步地，所述主炉室的顶部位于隔离阀座的外围设置有密封壳。
[0008]进一步地，所述副炉室本体闸阀的外围均设置有气囊。
[0009]进一步地，所述支撑架内的顶部通过螺栓连接电动液压推杆，所述电动液压推杆的驱动端通过螺栓连接推箱。
[0010]进一步地，所述支撑架内的一侧通过螺栓连接气泵，所述气泵的出气端通过管道连通进气口。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1.通过设置的气泵、气囊与密封壳，能够增加副炉室本体与主炉室之间的密封性，从而提高密封性，避免影响生产质量，还能提高生产效率。
[0013]2.通过设置的电动液压推杆、副炉室本体A与副炉室本体B，能够在晶棒冷却的同时，对副炉室本体进行更换，避免工件的冷却时间影响生产效率，缩短生产周期，从而提高单晶炉的使用效率。
[0014]3.通过设置的安装支架、步进电机和电动液压推杆，能够在进行更换副炉室本体的同时，对副炉室本体进行转动，利用重力作用，将副炉室本体内的废料倒出，操作简单，清洁效果好，还能减少人力消耗。
附图说明
[0015]图1为本技术一种高密封效果单晶炉副炉室本体的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术一种高密封效果单晶炉副炉室本体的密封壳与气囊结构示意图。
[0017]图3为本技术一种高密封效果单晶炉副炉室本体的废料槽结构示意图。
[0018]图中：1、底座；2、支撑架；3、主炉室；4、滑轨；5、推箱；6、步进电机；7、副炉室本体A；8、副炉室本体B；9、隔离阀座；10、副炉室本体闸阀；11、密封壳；12、气囊；13、进气口；14、电动液压推杆；15、安装支架；16、气泵；17、废料槽。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]如图1
‑
3所示，一种高密封效果单晶炉副炉室本体，包括底座1、主炉室3、副炉室本体A7、副炉室本体B8和气泵16，所述底座1的顶部设置有主炉室3，所述主炉室3的顶部设置有隔离阀座9，所述底座1的顶部位于主炉室3的两侧均设置有支撑架2，所述支撑架2内的一侧均设置有滑轨4，所述滑轨4的顶部一侧设置有推箱5，所述推箱5通过一侧滑块与滑轨4滑动连接，所述推箱5的另一侧通过轴承安装安装支架15，所述推箱5内通过螺栓连接步进电机6，所述步进电机6通过驱动轴连接安装支架15，所述安装支架15的一侧分别通过螺栓连接与主炉室3对应的副炉室本体A7与副炉室本体B8，所述副炉室本体A7和副炉室本体B8的一端均设置有与隔离阀座9对应的副炉室本体闸阀10，所述底座1的顶部位于主炉室3的一侧设置有与副炉室本体A7和副炉室本体B8对应的废料槽17。
[0021]其中，所述主炉室3的顶部位于隔离阀座9的外围设置有密封壳11。
[0022]本实施例中如图2所示，通过密封壳11便于提高主炉室3与副炉室本体A7和副炉室本体B8的密封性。
[0023]其中，所述副炉室本体闸阀10进料端的外围均设置有气囊12，所述气囊12的一侧设置有进气口13。
[0024]本实施例中如图2所示，通过气囊12便于提高副炉室本体A7和副炉室本体B8的密封性，减少对生产的影响，通过进气口13便于对气囊12进行充气处理。
[0025]其中，所述支撑架2内的顶部通过螺栓连接电动液压推杆14，所述电动液压推杆14的驱动端通过螺栓连接推箱5。
[0026]本实施例中如图1所示，通过电动液压推杆14驱动推箱5进行垂直运动，便于对副炉室本体A7或副炉室本体B8进行更换，从而提高生产效率。
[0027]其中，所述支撑架2内的一侧通过螺栓连接气泵16，所述气泵16的出气端通过管道连通进气口13。
[0028]本实施例中如图1所示，通过气泵16便于对气囊12内进行充气处理，从而提高密封
效果。
[0029]需要说明的是，本技术为一种高密封效果单晶炉副炉室本体，工作时，首先操作人员将副炉室本体A7的进料端与主炉室3的出料端连接至气囊12位于密封壳11内，接着人工开启气泵16，气泵16通过出气端管道连通进气口13对气囊12内进行充气处理，将副炉室本体A7的进料端和主炉室3的出料端进一步进行密封处理，提高密封性，避免影响生产质量，当晶棒生产后需要冷却时，将晶棒拉入副炉室本体A7内后，关闭副炉室本体闸阀10，人工开启电动液压推杆14，驱动推箱5和安装支架15向上垂直运动，将主炉室3与副炉室本体A7进行分离，同时人工开启步进电机6，驱动副炉室本体A7和副炉室本体B8同时进行转动，至副炉室本体B8的进料端与主炉室3的出料端对应后进行连接，从而连续进行生产处理，避免晶棒的冷却时间影响生产效率，当需要对副炉室本体A7和副炉室本体B8内进行清洁处理时，人工开启步进电机6，驱动副炉室本体A7和副炉室本体B8转动的同时，废料由于自身重力落入废料槽17内进行回收处理，操作简单便捷，清洁效果好。
[0030]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高密封效果单晶炉副炉室本体，包括底座(1)、主炉室(3)、副炉室本体A(7)、副炉室本体B(8)和气泵(16)，其特征在于：所述底座(1)的顶部设置有主炉室(3)，所述主炉室(3)的顶部设置有隔离阀座(9)，所述底座(1)的顶部位于主炉室(3)的两侧均设置有支撑架(2)，所述支撑架(2)内的一侧均设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)的顶部一侧设置有推箱(5)，所述推箱(5)通过一侧滑块与滑轨(4)滑动连接，所述推箱(5)的另一侧通过轴承安装安装支架(15)，所述推箱(5)内通过螺栓连接步进电机(6)，所述步进电机(6)通过驱动轴连接安装支架(15)，所述安装支架(15)的一侧分别通过螺栓连接与主炉室(3)对应的副炉室本体A(7)与副炉室本体B(8)，所述副炉室本体A(7)和副炉室本体B(8)的一端均设置有与隔离阀座(9)对应的副炉室本体闸阀(10)，所述底座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭凌宇，戴永丰，谭明，
申请(专利权)人：浙江德弘机电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：