一种籽晶提升自平衡升装置制造方法及图纸

技术编号:30968851 阅读:49 留言:0更新日期:2021-11-25 20:44
本发明专利技术公开了一种籽晶提升自平衡升装置,包括基座,基座的顶部设有工作台,工作台的顶部设有提升箱,工作台顶部中间位置设有旋转中心,提升箱一端贯穿设有花键轴,花键轴位于提升箱内部的外侧设有卷丝轴,提升箱内的顶部设有导轮机构,工作台一侧设有用于保持动态平衡的配重调节机构,配重调节机构上设有用于进行配重补偿的配重补偿机构,本发明专利技术通过设置配重调节机构,用来为整个设备工作时保持动态平衡,在配重调节机构上设置配重补偿机构,用来对配重块进行重量的改变,通过这几种结构之间的配合解决了卷丝轴移动出现重心偏移导致设备稳定降低和产品质量降低的问题。备稳定降低和产品质量降低的问题。备稳定降低和产品质量降低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶提升自平衡升装置


[0001]本专利技术涉及直拉单晶炉设备
,具体为一种籽晶提升自平衡升装置。

技术介绍

[0002]单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备。主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成,籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的种子,也叫晶种。用不同晶向的籽晶做晶种,会获得不同晶向的单晶。
[0003]现有普遍的籽晶提升装置,在设备长晶过程中,随着晶体的提升,需要卷丝轴持续的旋转缠绕籽晶绳,在转动同时并被导向轮导向向一侧持续偏移。而现有固定式的配重块结构,固定了配重结构。无法补偿由于卷丝轴移动而导致的重心偏移。而叠加大质量的旋转机构,动态旋转过程,会进一步放大重心偏移对整体机构稳定性的影响,进而导致现有设备稳定性降低,产品质量降低。为此,我们提出一种籽晶提升自平衡升装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种籽晶提升自平衡升装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种籽晶提升自平衡升装置,包括基座,所述基座的顶部设有工作台,所述工作台的顶部设有提升箱,所述工作台顶部中间位置设有旋转中心,所述提升箱一端贯穿设有花键轴,所述花键轴位于提升箱内部的外侧设有卷丝轴,所述提升箱内的顶部设有导轮机构,所述工作台一侧设有用于保持动态平衡的配重调节机构,所述配重调节机构上设有用于进行配重补偿的配重补偿机构。
[0006]优选的,所述花键轴包括设置在外侧的限位套,所述限位套的外侧设置有多个等角分布的限位凸块,所述限位套设置在花键轴置于提升箱内部一段的外侧,所述限位套外侧设置卷丝轴。
[0007]优选的,所述卷丝轴包括开设在外侧的螺旋槽,所述螺旋槽用于籽晶绳的缠绕,所述卷丝轴的两端设置有挡板,所述卷丝轴的一端开设有贯穿的轴孔,所述轴承与限位套外侧连接。
[0008]优选的,所述导轮机构包括设置在提升箱内顶部的安装块,所述安装块上开设有方形孔,所述方形孔的内部设置有导向轮,所述导向轮的外侧开设有环绕型的导向槽,所述导向槽用于籽晶绳缠绕时的导向。
[0009]优选的,所述配重调节机构包括设置于工作台一侧的配重盒,所述配重盒的顶部靠近一端的位置开设有方形的配重孔,所述配重盒内部两端之间设置有用于保持设备动态平衡的移动件,所述花键轴与移动件之间设置有动力传动的传动件。
[0010]优选的,所述移动件包括设置于配重盒内部两端的两个对称的固定板,所述固定板上贯穿设置有轴套,两侧所述轴套之间设置有用于转动的丝杠,所述丝杠的外侧设置有保持重心的配重块,所述配重块的顶部设置有两个对称的限位柱,所述丝杠与花键轴之间
设置有传动件。
[0011]优选的,所述传动件包括设置于花键轴外侧的第一链轮,所述丝杠靠近一端的外侧设置有第二链轮,所述第一链轮与第二链轮的外侧设有链条,所述链条用于第一链轮与第二链轮同步转动用。
[0012]优选的,所述配重补偿机构包括设置于配重孔两侧的配重盒顶部的两个对称的导柱,所述导柱的外侧设置有移动块,所述移动块与配重盒顶部之间设置有两个弹簧,两个所述弹簧设置于导柱的外侧,所述移动块的内部设置有轴承,所述轴承内侧设有螺杆,所述螺杆的顶端设置有转块,所述螺杆的外侧设置有多个依次分布的配重补偿块,多个所述配重补偿块上均开设有贯穿的两个对称的限位孔。
[0013]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0014]1、本专利技术通过在提升箱内部设置卷丝轴,用来对籽晶绳进行收卷,在卷丝轴中间连接花键轴,用来使得卷丝轴进行旋转,在提升箱内的顶部设置导轮机构,用来对籽晶绳进行导向作用,在工作台一侧设置配重调节机构,用来对整体装置进行动态补偿,在配重调节机构上设置配重补偿机构,用来对配重块进行重量的补偿,通过这几种结构之间的配合,解决了卷丝轴移动出现重心偏移导致设备稳定定降低和产品质量降低的问题。
[0015]2、本专利技术通过设置移动件,用来使得配重块能够进行移动的补偿,使得设备能够达到重心平衡,在花键轴与移动件之间设置传动件,用来使得移动件上的配重块能够与卷丝轴的移动方向和移动速度保持同步,通过在配重补偿机构上设置多个配重补偿块,来应对不同质量的籽晶产品提升使得重心补偿,在工作台中心位置设置旋转中心,能够使得籽晶产品一直保持中心旋转,并通过导向轮使得籽晶绳一直位于旋转中心。
附图说明
[0016]图1为本专利技术整体结构示意图;
[0017]图2为本专利技术结构示意图;
[0018]图3为本专利技术花键轴结构示意图;
[0019]图4为本专利技术卷丝轴结构示意图;
[0020]图5为本专利技术导轮机构结构示意图;
[0021]图6为本专利技术配重调节机构结构示意图;
[0022]图7为本专利技术移动件配结构示意图;
[0023]图8为本专利技术传动件结构示意图;
[0024]图9为本专利技术重补偿机构结构示意图。
[0025]图中:1

基座;2

工作台;3

提升箱;4

旋转中心;5

花键轴;6

卷丝轴;7

导轮机构;8

配重调节机构;9

配重补偿机构;51

限位套;52

限位凸块;61

螺旋槽;62

挡板;63

轴孔;71

安装块;72

方形孔;73

导向轮;74

导向槽;81

配重盒;82

配重孔;83

移动件;84

传动件;831

固定板;832

轴套;833

丝杠;834

配重块;835

限位柱;841

第一链轮;842

第二链轮;843

链条;91

导柱;92

移动块;93

弹簧;94

轴承;95

螺杆;96

转块;97

配重补偿块;98

限位孔。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0027]请参阅图1

9,本专利技术提供一种技术方案:一种籽晶提升自平衡升装置,通过本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶提升自平衡升装置,包括基座(1),其特征在于:所述基座(1)的顶部设有工作台(2),所述工作台(2)的顶部设有提升箱(3),所述工作台(2)顶部中间位置设有旋转中心(4),所述提升箱(3)一端贯穿设有花键轴(5),所述花键轴(5)位于提升箱(3)内部的外侧设有卷丝轴(6),所述提升箱(3)内的顶部设有导轮机构(7),所述工作台(2)一侧设有用于保持动态平衡的配重调节机构(8),所述配重调节机构(8)上设有用于进行配重补偿的配重补偿机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种籽晶提升自平衡升装置,其特征在于:所述花键轴(5)包括设置在外侧的限位套(51),所述限位套(51)的外侧设置有多个等角分布的限位凸块(52),所述限位套(51)设置在花键轴(5)置于提升箱(3)内部一段的外侧,所述限位套(51)外侧设置卷丝轴(6)。3.根据权利要求2所述的一种籽晶提升自平衡升装置,其特征在于:所述卷丝轴(6)包括开设在外侧的螺旋槽(61),所述螺旋槽(61)用于籽晶绳的缠绕,所述卷丝轴(6)的两端设置有挡板(62),所述卷丝轴(6)的一端开设有贯穿的轴孔(63),所述轴承(94)与限位套(51)外侧连接。4.根据权利要求1所述的一种籽晶提升自平衡升装置,其特征在于:所述导轮机构(7)包括设置在提升箱(3)内顶部的安装块(71),所述安装块(71)上开设有方形孔(72),所述方形孔(72)的内部设置有导向轮(73),所述导向轮(73)的外侧开设有环绕型的导向槽(74),所述导向槽(74)用于籽晶绳缠绕时的导向。5.根据权利要求1所述的一种籽晶提升自平衡升装置,其特征在于:所述配重调节机构(8)包括设置于工作台(2)一侧的配重盒(81),所述配重盒(81)的顶部靠近一端的位置开设...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹玉宝尹嘉琦江佳飞辛珊许梦
申请(专利权)人:连城凯克斯科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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