一种具有耐温节能特性的单晶炉制造技术

本实用新型专利技术提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，包括保温筒、保温毡、外壳和底壳，所述保温筒、外壳分别固定连接与所述底壳上，所述外壳设于所述保温筒外围，所述外壳与所述保温筒之间设有保温间隙，所述保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，所述外壳内表面设有耐高温涂层。本实用新型专利技术中保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，保证保温筒内的温度，且在外壳内部均匀涂覆耐高温涂层，避免外壳受高温后会损伤，不需要通冷却水进行冷却，生产制造能耗大幅下降，降低拉单晶功率，提高生产经济效益。提高生产经济效益。提高生产经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种具有耐温节能特性的单晶炉


[0001]本技术属于单晶硅生产
，尤其涉及一种具有耐温节能特性的单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，在单晶硅的生产中，主流是使用单晶炉利用直拉法来制造，在生产过程中，直拉单晶会产生大量的热量，温度会达到1000℃以上，如果不施加冷却措施的话，单晶炉的炉筒、炉盖和炉底就会受到损伤，因此目前会在单晶炉内通冷却水，通过冷却水带走炉内释放出的热量，保证单晶炉的炉筒、炉盖和炉底不会受到损伤。但是通过冷却水带走热量意味着能耗的增加，即在提高了安全性之后，节能性有所下降，生产经济效益不高。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于克服上述现有技术存在的不足，提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，解决了现有技术中单晶炉内需要通冷却水所导致的能耗高，生产经济效益差，节能性不好的问题。
[0004]本技术提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，包括保温筒、保温毡、外壳和底壳，所述保温筒、外壳分别固定连接与所述底壳上，所述外壳设于所述保温筒外围，所述外壳与所述保温筒之间设有保温间隙，所述保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，所述外壳内表面设有耐高温涂层。
[0005]进一步地，所述耐高温涂层的材料为石墨粉。
[0006]进一步地，所述耐高温涂层的厚度为1～5mm。
[0007]进一步地，所述耐高温涂层的厚度为2mm。
[0008]进一步地，所述外壳由不锈钢材料制成。
[0009]进一步地，所述保温筒包括第一保温筒和第二保温筒，所述第一保温筒的直径大于所述第二保温筒的直径，所述第一保温筒与所述底壳连接，所述第二保温筒连接于所述第一保温筒上部，所述第一保温筒和第二保温筒的连接处形成一台阶。
[0010]进一步地，还包括筒盖，所述筒盖连接于所述第二保温筒顶部。
[0011]进一步地，所述保温毡的厚度为10～50mm。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]本技术提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，保证保温筒内的温度，且在外壳内部均匀涂覆耐高温涂层，避免外壳受高温后会损伤，不需要通冷却水进行冷却，生产制造能耗大幅下降，降低拉单晶功率，提高生产经济效益。
附图说明
[0014]利用附图对本技术作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本技术的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[0015]图1是本实施例1的一种具有耐温节能特性的单晶炉的俯视图。
[0016]图2是在图1中沿A
‑
A剖面线下的剖视图。
具体实施方式
[0017]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0019]实施例1：
[0020]参照图1至图2，实施例1提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，包括保温筒1、保温毡2、外壳3和底壳4，所述保温筒1、外壳3分别固定连接与所述底壳4上，所述外壳3设于所述保温筒1外围，所述外壳3与所述保温筒1之间设有保温间隙5，所述保温毡2紧密连接于所述保温筒1的外壁，所述保温毡2的厚度为10～50mm，所述外壳3内表面设有耐高温涂层6，所述外壳3由不锈钢材料制成。
[0021]需要说明的是，保温毡2对保温筒1进行第一层保温，将高温封锁在保温筒1内，保证保温筒1内的温度，而对于外漏出来的热量，则通过在外壳3内部均匀涂覆的耐高温涂层6，避免由不锈钢材料制成的外壳3受高温后会损伤，耐高温涂层6提高了外壳3的耐高温特性，在不通冷却水进行冷却的情况下，外壳3外表面的温度为60℃；而相对于传统生产方式，在通冷却水进行冷却的情况下，且不锈钢材料的外壳不设有耐高温涂层时，需要通进水温度为30℃的冷却水，其出水温度为35℃，才能将外壳外表面的温度控制在25℃左右，才能达到较好的生产状态，因此通过本耐高温涂层6，实现了不通冷却水，且使得拉单晶功率下降5kW，生产状态稳定可靠，生产制造能耗大幅下降，降低拉单晶功率，提高生产经济效益。
[0022]在本实施例中，所述耐高温涂层6的材料为石墨粉，本石墨粉包括树脂粉和高温胶，按照1:3的质量比例将石墨粉和酒精混合，形成一种粘稠状的液体混合物，将此液体混合物均匀涂抹在外壳3的内表面，待涂抹自然晾干后，形成耐高温涂层6。
[0023]作为一种优选方式，所述耐高温涂层6的厚度为1～5mm。而在本实施例中，耐高温涂层6的厚度为2mm，兼顾保温性和节能型，所达到的经济效果最佳。
[0024]在本实施例中，所述保温筒1包括第一保温筒11和第二保温筒12，所述第一保温筒11的直径大于所述第二保温筒12的直径，所述第一保温筒11与所述底壳4连接，所述第二保温筒12连接于所述第一保温筒11上部，所述第一保温筒11和第二保温筒12的连接处形成一
台阶，从下往上地，呈收缩状，相对应地，在第一保温筒11和第二保温筒12外均紧密连接有保温毡2；保温筒1还包括筒盖13，所述筒盖13连接于所述第二保温筒12顶部，相应地，筒盖13上也贴有保温毡2。
[0025]相对于现有技术，本技术提供一种具有耐温节能特性的单晶炉，保温毡2紧密连接于所述保温筒1的外壁，保证保温筒1内的温度，且在外壳3内部均匀涂覆耐高温涂层6，避免外壳3受高温后会损伤，不需要通冷却水进行冷却，生产制造能耗大幅下降，降低拉单晶功率，提高生产经济效益。
[0026]最后需要强调的是，本技术不限于上述实施方式，以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有耐温节能特性的单晶炉，其特征在于，包括保温筒、保温毡、外壳和底壳，所述保温筒、外壳分别固定连接与所述底壳上，所述外壳设于所述保温筒外围，所述外壳与所述保温筒之间设有保温间隙，所述保温毡紧密连接于所述保温筒的外壁，所述外壳内表面设有耐高温涂层。2.如权利要求1所述的一种具有耐温节能特性的单晶炉，其特征在于，所述耐高温涂层的材料为石墨粉。3.如权利要求2所述的一种具有耐温节能特性的单晶炉，其特征在于，所述耐高温涂层的厚度为1～5mm。4.如权利要求3所述的一种具有耐温节能特性的单晶炉，其特征在于，所述耐高温涂层的厚度为2mm。5.如权利要求1至4任...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：广东金湾高景太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：