一种高精度真空镀膜腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度真空镀膜腔体，属于真空镀膜技术领域，包括主体和通过转轴连接的侧盖板，所述主体的两端分别焊接有进气管和排气管，所述进气管内安装有进气风机，所述排气管内安装有排气风机，所述进气风机和排气风机的风向相同，所述进气管内腔远离主体的一侧焊接有内缩管和嵌板，其中所述嵌板设置于内缩管与进气风机之间，所述内缩管的开口朝向嵌板内侧，所述嵌板的中心端背向内缩管延伸，所述嵌板的中心端内壁安装有三个活性炭板，所述嵌板的两端均开设有通气孔。该高精度真空镀膜腔体，形成一侧进另一侧出的风道快速排热，避免工件盘上的基片上残留的热量不能及时除去，降低了基片因热量不能及时除去而受损的概率。的概率。的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度真空镀膜腔体


[0001]本技术属于真空镀膜
，尤其涉及一种高精度真空镀膜腔体。

技术介绍

[0002]高精度真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等，后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。
[0003]在实现本技术过程中，专利技术人发现该技术中至少存在如下问题：现有的高精度真空镀膜通常在腔体内完成，在镀膜完成后，工件盘上的受膜基片上会残留一些热量，这些热量如果不及时排出，而是一直残留，则可能损坏基片。
[0004]为此，我们提出来一种高精度真空镀膜腔体解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种高精度真空镀膜腔体，形成一侧进另一侧出的风道快速排热，避免工件盘上的基片上残留的热量不能及时除去，降低了基片因热量不能及时除去而受损的概率，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种高精度真空镀膜腔体，包括主体和通过转轴连接的侧盖板，所述主体的两端分别焊接有进气管和排气管，所述进气管内安装有进气风机，所述排气管内安装有排气风机，所述进气风机和排气风机的风向相同；
[0008]所述进气管内腔远离主体的一侧焊接有内缩管和嵌板，其中所述嵌板设置于内缩管与进气风机之间，所述嵌板呈U形，所述内缩管的开口朝向嵌板内侧，所述嵌板的中心端背向内缩管延伸，所述嵌板的中心端内壁安装有三个活性炭板，所述嵌板的两端均开设有通气孔。
[0009]作为优选的实施方案，所述进气管和排气管朝向主体内腔的一侧均固定焊接有防尘网；通过设置的两个防尘网进一步减少了对主体内腔的污染。
[0010]作为优选的实施方案，所述侧盖板朝向主体内腔的一侧四边均安装有温度传感器，四个所述温度传感器的监测端均朝向主体内腔中；从而在镀膜时进行实时的温度监测。
[0011]作为优选的实施方案，所述侧盖板背向四个温度传感器的一侧安装有控制器和液晶屏，其中所述液晶屏和四个温度传感器均与控制器电性连接；使得四个温度传感器监测到的温度值可通过控制器显示在液晶屏上。
[0012]作为优选的实施方案，所述进气管和排气管均呈L形且背向侧盖板延伸；从而使得进风和出风的方向均背向侧盖板，即背向人员所在一侧。
[0013]综上所述，本技术的技术效果和优点：
[0014]该高精度真空镀膜腔体，通过进气风机运行将外界的空气吸入进气管中，空气穿
过内缩管进入嵌板内侧后，其上的灰尘会被吸附在活性炭板上，而空气本身会从两侧的通气孔中排出，从而进入主体内形成空气循环，最终空气带着热量从排气管中排出，即可形成一侧进另一侧出的风道快速排热，避免工件盘上的基片上残留的热量不能及时除去，降低了基片因热量不能及时除去而受损的概率；
[0015]该高精度真空镀膜腔体，通过侧盖板上四个温度传感器的设置，可实时监测主体内腔的温度，并通过控制器传输电信号将温度值显示在液晶屏上，使得人员可实时查看主体内腔的温度并进行镀膜反应的控制。
附图说明
[0016]图1为本技术一侧的结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中部分结构沿A
‑
A处的剖视图；
[0018]图3为本技术图2中B处结构放大图；
[0019]图4为本技术另一侧的结构示意图。
[0020]图中：1、主体；2、侧盖板；3、进气管；4、排气管；5、进气风机；6、排气风机；7、内缩管；8、嵌板；9、活性炭板；10、通气孔；11、温度传感器；12、控制器；13、液晶屏；14、防尘网。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]参照图1
‑
图4，一种高精度真空镀膜腔体，包括主体1和通过转轴连接的侧盖板2，其中侧盖板2用于封闭主体1的内腔；
[0023]在主体1的两端分别焊接有进气管3和排气管4，进气管3和排气管4均呈L形且背向侧盖板2延伸，从而使得进风和出风的方向均背向侧盖板2，即背向人员所在一侧，在进气管3内安装有进气风机5，在排气管4内安装有排气风机6，进气风机5和排气风机6的风向相同，其中进气风机5和排气风机6均需要与外界电源电性连接，使其可以正常工作，在进气管3和排气管4朝向主体1内腔的一侧均固定焊接有防尘网14，通过设置的两个防尘网14进一步减少了对主体1内腔的污染；
[0024]在进气管3内腔远离主体1的一侧焊接有内缩管7和嵌板8，其中嵌板8设置于内缩管7与进气风机5之间，嵌板8呈U形，且内缩管7的开口朝向嵌板8内侧，嵌板8的中心端背向内缩管7延伸，从而使从内缩管7进入的空气可以深入嵌板8内侧，在嵌板8的中心端内壁安装有三个活性炭板9，用于吸收深入嵌板8内侧的空气中的灰尘，在嵌板8的两端均开设有通气孔10，空气经过吸尘处理后通过两个通气孔10进入主体1内；
[0025]在侧盖板2朝向主体1内腔的一侧四边均安装有温度传感器11，四个温度传感器11的监测端均朝向主体1内腔中，从而在镀膜时进行实时的温度监测，在侧盖板2背向四个温度传感器11的一侧安装有控制器12和液晶屏13，其中液晶屏13和四个温度传感器11均与控制器12电性连接，使得四个温度传感器11监测到的温度值可通过控制器12显示在液晶屏13上。
[0026]工作原理：首先使基片置于主体1内腔中的工件盘上(工件盘的位置和设置方式为
现有技术，在此不做赘述)，并使侧盖板2沿着转轴转动封闭主体1内腔的开口，在主体1内腔完成基片的镀膜；
[0027]在镀膜后，主体1内腔中残留许多热量，基片上也有热量需要散发，此时使进气风机5和排气风机6通电运行，其中进气风机5通电将外界冷空气通过进气管3吸入内缩管7再进入嵌板8内侧，空气中含有的灰尘会被三个活性炭板9吸收，最终空气在嵌板8内经过回流后从两个通气孔10进入主体1内腔中，冷空气会在主体1内腔中吸收热量，并在排气风机6作用下带着热量从排气管4排出，从而形成一侧进，另一侧出的风道，实现热量的快速排放；
[0028]在镀膜过程中，四个温度传感器11实时监测主体1内腔的温度，且传输电信号至控制器12，由控制器12传输电信号至液晶屏13，显示温度的数值，使得人员可实时查看主体1内腔的温度并进行镀膜反应的控制。
[0029]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度真空镀膜腔体，包括主体(1)和通过转轴连接的侧盖板(2)，其特征在于，所述主体(1)的两端分别焊接有进气管(3)和排气管(4)，所述进气管(3)内安装有进气风机(5)，所述排气管(4)内安装有排气风机(6)，所述进气风机(5)和排气风机(6)的风向相同；所述进气管(3)内腔远离主体(1)的一侧焊接有内缩管(7)和嵌板(8)，其中所述嵌板(8)设置于内缩管(7)与进气风机(5)之间，所述嵌板(8)呈U形，所述内缩管(7)的开口朝向嵌板(8)内侧，所述嵌板(8)的中心端背向内缩管(7)延伸，所述嵌板(8)的中心端内壁安装有三个活性炭板(9)，所述嵌板(8)的两端均开设有通气孔(10)。2.根据权利要求1所述的一种高精度真空镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭凌宇，戴永丰，谭明，
申请(专利权)人：浙江德弘机电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：