一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材及其制备方法，包括以下步骤：S1、将氧化锡、氧化锑加入到球磨机中，再加入分散剂、溶剂进行第一次球磨，再加入烧结助剂，第二次球磨混合，得到浆料；S2、将浆料进行喷雾造粒，过筛，得到粉体；S3、将粉体置于模具中进行压制成型，得到素坯；S4、将素坯烧结，得到应用于太阳能电池的陶瓷靶材。本发明专利技术所述的陶瓷靶材具有良好的致密度、电阻率，由该陶瓷靶材制备的薄膜具有优异的光电性能和耐湿耐蚀性能，能够提高太阳能电池的稳定性和耐久性。阳能电池的稳定性和耐久性。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材及其制备方法


[0001]本专利技术涉及溅射靶材
，具体涉及一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材及其制备方法。

技术介绍

[0002]近些年来，随着光伏产业和光电子信息产业的飞速发展，导电薄膜的研发及生产规模也在逐步扩大。
[0003]CN103739282A公开了一种微量元素复合掺杂改性氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法，并具体公开了先称取氧化锑质量百分含量为0.1～1.0%的ATO粉体，然后按ATO粉体总质量的0.5～1.0%分别称取氧化锰和氧化铜粉体作为复合掺杂改性剂；再将上述粉体与有机溶剂和混料球一起球磨，三者质量比=1：1：1～1：2：1，所得浆体放入烘箱低温烘烤至有机溶剂挥发完毕，然后研磨、过开口筛获得混合粉末；该混合粉末经模具中冷等静压成型后，采用无压烧结的方式将坯体在空气气氛下烧结，升温速率为0.5～5℃/分钟，烧结温度1200～1450℃，保温时间1～10小时，即得到一种改性ATO陶瓷靶材，其采用氧化锰和氧化铜作为烧结助剂，其致密度和电阻率仍待提高。

技术实现思路
/>[0004]本专本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于太阳能电池的陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将氧化锡、氧化锑加入到球磨机中，再加入分散剂、溶剂进行第一次球磨，再加入烧结助剂，第二次球磨混合，得到浆料；S2、将浆料进行喷雾造粒，过筛，得到粉体；S3、将粉体置于模具中进行压制成型，得到素坯；S4、将素坯烧结，得到应用于太阳能电池的陶瓷靶材。2.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化锡、氧化锑、分散剂、溶剂、烧结助剂的重量比为10：0.8~2：0.05~0.5：2~5：0.08~2。3.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述氧化锡、氧化锑、分散剂、溶剂、烧结助剂的重量比为10：1.8：0.3：4：0.12。4.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结助剂由二氧化钛、硝酸钡按照重量比1：0.5~2组成。5.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结助剂由二氧化钛、硝酸钡按照重量比1：0.6组成。6.根据权利要求1所述的应用于太阳能电池的陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述第一次球磨转速为200~500rpm，球磨时间为4~10h，所述第二次球磨转速为100~400rpm，所述第二次球磨时间为2~6h。7.根据权利要求1所述的应用于太阳能电...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志宏，肖世洪，雷雨，刘芳，
申请(专利权)人：广州市尤特新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：