转动机构及其真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及转动机构及其真空镀膜机。真空镀膜机的转动机构，用于带动待镀膜件相对靶面运动，待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，第一边的长度大于第二边的长度；转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，驱动件连接于传动单元；主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，第一转轴与传动单元配合，第一椭圆形齿轮固定于第一转轴，第二椭圆形齿轮固定于第二转轴并用于承载待镀膜件，第二椭圆形齿轮和第一椭圆形齿轮啮合。一种真空镀膜机包括上述转动机构。本实用新型专利技术的优点在于：待镀膜件外表面的沉积膜层均匀且无色差、性能一致性好。性能一致性好。性能一致性好。

【技术实现步骤摘要】
转动机构及其真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别是涉及一种转动机构及其真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是指在高真空的条件下通过加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。在真空镀膜行业中，一般采用公自传的结构带动产品(待镀膜件)相对靶面运动，即由大盘带动自转轴运动，其线速度恒定不变，然而产品在公转过程中，由于产品的形状复杂多变，导致产品在不同位置与靶面的距离不相等，从而出现所镀产品的不同位置，所镀膜的膜厚不一致的问题，致使产品在不同位置出现色差和性能差异。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，有必要提供一种能够使镀膜产品在不同位置色差均匀、性能一致转动机构及其真空镀膜机。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种真空镀膜机的转动机构，设于真空腔内，用于带动待镀膜件相对靶面运动，所述待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，所述第一边的长度大于所述第二边的长度；
[0006]所述转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，所述驱动件连接于所述传动单元；所述主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，所述从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，所述第一转轴与所述传动单元配合，并在所述传动单元的带动下转动，所述第一椭圆形齿轮固定于所述第一转轴的一端并随所述第一转轴转动，所述第二椭圆形齿轮固定于所述第二转轴的一端且用于承载所述待镀膜件，所述第二椭圆形齿轮和所述第一椭圆形齿轮啮合，且与所述第二椭圆形齿轮位于同一平面，并且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴。
[0007]可以理解的是，在本申请中，通过设置第一椭圆形齿轮以及第二椭圆形齿轮，且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴，同时将所述待镀膜件的第一边与所述第二椭圆形齿轮的长轴平行设置，所述待镀膜件的第二边与所述第二椭圆形齿轮的短轴平行设置；从而，可以使待镀膜件的第一边自转速度慢，待镀膜件的第二边自转速度快，以使待镀膜件在镀膜过程中其表面沉积膜厚形成第一边较厚，第二边较薄的情况，进而弥补了因待镀膜件与靶面之间距离变换差异所带来的第一边、第二边膜厚的差异，以减少待镀膜件不同位置的色差及性能差异。
[0008]在其中一个实施例中，所述第一椭圆形的短轴的长度与所述第一椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)；及/或，所述第二椭圆形的短轴的长度与所述第二椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)。
[0009]可以理解的是，如此设置，可以使得待镀膜件运动时的最佳速度，进一步弥补因待镀膜件与靶面之间距离变换差异，减少待镀膜件不同位置的色差及性能差异。
[0010]在其中一个实施例中，所述转动机构还包括转盘，所述主动自转单元还包括第一轴承以及第一轴承座，所述转盘设于所述传动单元的一侧，且所述传动单元能够相对所述转盘转动，所述第一轴承套设于所述第一转轴上，所述第一轴承座套设于所述第一轴承并承载所述第一轴承，且所述第一轴承座固定于所述转盘。
[0011]在其中一个实施例中，所述传动单元包括第一圆形齿轮和第二圆形齿轮，所述第一圆形齿轮与所述驱动件连接，所述第二圆形齿轮固定于所述第一转轴靠近所述第一椭圆形齿轮的一端，且与所述第一圆形齿轮啮合。
[0012]可以理解的是，采用圆形齿轮的方式传动，不仅传动效率高且传动输出稳定可靠，有利于待镀膜件的平稳运行，提高镀膜时膜层的均匀性。
[0013]在其中一个实施例中，所述传动单元还包括转动件，所述第一圆形齿轮朝向所述转盘的一侧面上开设有安装槽，所述转动件安装于所述安装槽，且部分凸出所述第一圆形齿轮朝向所述转盘的一侧面，并抵靠于所述转盘。
[0014]在其中一个实施例中，所述转动机构还包括底板，锁紧件以及绝缘单元，所述第一圆形齿轮通过所述锁紧件安装于所述底板上，所述绝缘单元套设于所述锁紧件，并将所述底板与所述第一圆形齿轮之间阻隔且绝缘。
[0015]可以理解的是，真空炉(底板)接地，偏压的负极接到第一圆形齿轮等部件上，正极接真空炉的炉体。因此，在真空腔内设置绝缘单元，使得第一圆形齿轮以及与其配合的部件绝缘，可提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高镀膜过程中靶材与待镀膜件的结合力。
[0016]在其中一个实施例中，所述绝缘单元包括绝缘座、绝缘套以及绝缘帽，所述第一圆形齿轮上开设有贯穿的安装孔，所述绝缘座设于所述第一圆形齿轮和所述底板之间，所述绝缘套安装于所述安装孔内，所述锁紧件的一端从所述安装孔穿出并穿设所述绝缘座，且连接于所述底板，所述绝缘帽盖设于所述第一圆形齿轮靠近所述转盘的一侧面上并将所述安装孔封堵。
[0017]在其中一个实施例中，所述绝缘套的一端具有第一沉槽，另一端具有凸台，所述锁紧件的一端具有头部，所述头部在所述锁紧件与所述底板连接后，收容于所述第一沉槽内；所述绝缘座靠近所述第一圆形齿轮的一端具有第二沉槽，所述凸台从所述安装孔伸出并嵌入所述第二沉槽内。
[0018]在其中一个实施例中，所述绝缘单元还包括防护罩，所述防护罩设于所述第一圆形齿轮和所述底板之间，并包裹所述绝缘座。
[0019]在其中一个实施例中，所述从动自转单元包括第二轴承及第二轴承座，所述第二轴承套设于所述第二转轴上，所述第二轴承座套设于所述第二轴承并承载所述第二轴承。
[0020]本技术还提供如下技术方案：
[0021]一种真空镀膜机，用于对待镀膜件进行镀膜，包括上述所述转动机构，所述待镀膜件安装于所述转动机构，并在所述转动机构的带动下相对靶面运动。
[0022]与现有技术相比，所述转动机构通过设置第一椭圆形齿轮以及第二椭圆形齿轮，且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿
轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴，同时将所述待镀膜件的第一边与所述第二椭圆形齿轮的长轴平行设置，所述待镀膜件的第二边与所述第二椭圆形齿轮的短轴平行设置；从而，可以使待镀膜件的第一边自转速度慢，待镀膜件的第二边自转速度快，以使待镀膜件在镀膜过程中其表面沉积膜厚形成第一边较厚，第二边较薄的情况，进而弥补了因待镀膜件与靶面之间距离变换差异所带来的第一边、第二边膜厚的差异，以减少待镀膜件不同位置的色差及性能差异。
附图说明
[0023]图1为本技术提供的转动机构的结构剖示图。
[0024]图2为本技术提供的第一圆形齿轮与第二圆形齿轮啮合的局部示意图。
[0025]图3为本技术提供的第一椭圆形齿轮和第二椭圆形齿轮啮合的一视角结构示意图。
[0026]图4为本技术提供的在图3位置时待镀膜件与靶面之间距离的结构示意图。
[0027]图5为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的转动机构，设于真空炉内的真空腔中，用于带动待镀膜件相对靶面运动，所述待镀膜件具有相邻设置的第一边和第二边，所述第一边的长度大于所述第二边的长度；所述转动机构包括驱动件、传动单元、主动自转单元以及从动自转单元，所述驱动件连接于所述传动单元；其特征在于，所述主动自转单元包括第一转轴及第一椭圆形齿轮，所述从动自转单元包括第二转轴及第二椭圆形齿轮，所述第一转轴与所述传动单元配合，并在所述传动单元的带动下转动，所述第一椭圆形齿轮固定于所述第一转轴的一端并随所述第一转轴转动，所述第二椭圆形齿轮固定于所述第二转轴的一端且用于承载所述待镀膜件，所述第二椭圆形齿轮和所述第一椭圆形齿轮啮合，且与所述第二椭圆形齿轮位于同一平面，并且所述第二椭圆形齿轮的长轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的短轴或者所述第二椭圆形齿轮的短轴垂直于所述第一椭圆形齿轮的长轴。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述第一椭圆形的短轴的长度与所述第一椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)；及/或，所述第二椭圆形的短轴的长度与所述第二椭圆形的长轴的长度之比为1:(1.1
‑
1.7)。3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述转动机构还包括转盘，所述主动自转单元还包括第一轴承以及第一轴承座，所述转盘设于所述传动单元的一侧，且所述传动单元能够相对所述转盘转动，所述第一轴承套设于所述第一转轴上，所述第一轴承座套设于所述第一轴承并承载所述第一轴承，且所述第一轴承座固定于所述转盘。4.根据权利要求3所述的真空镀膜机的转动机构，其特征在于，所述传动单元包括第一圆形齿轮和第二圆形齿轮，所述第一圆形齿轮与所述驱动件连接，所述第二圆形齿轮固定于所述第一转轴靠近所述第一椭圆形齿轮的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾妩，徐鹏，马敬忠，
申请(专利权)人：深圳市鼎信表面处理科技有限公司，
类型：新型
国别省市：