熔丝切断测试电路、熔丝切断测试方法以及半导体电路技术

本发明专利技术涉及一种测试熔丝状态的熔丝切断测试方法，包括测量流过熔丝的电流并根据该测量结果确定熔丝是处于断开、未断开、还是两者之间的状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及熔丝切断测试电路、熔丝切断测试方法和半导体电路，特别涉及对包括冗余存储单元的半导体存储器中的熔丝切断状态进行详细确认的测试电路和测试方法。
技术介绍
在半导体存储器制造工艺中，用冗余存储单元替代已经发生故障的存储单元的技术已经成为主流。作为替代方法，通常断开熔丝以进行替代。存在激光束熔融型熔丝和电压施加型熔丝两种，在激光束熔融型熔丝中，通过来自外部的激光束辐射熔丝以断开连线；在电压施加型熔丝中，施加高电压以断开连线或破坏绝缘膜。由于工艺微型化的进展和半导体存储器容量的提高，这种技术正变得日益重要，并且不仅将熔丝用在半导体存储器中，而且将其用于进行各种电路状态的切换或调整。在上述技术中，当切断要被断开的熔丝时，会引起不需被断开的其他熔丝被错误断开的情况发生，以及要被断开的熔丝没有完全断开的情况。鉴于此，用于进行如下测试的技术与上述技术一起变得日益重要确定要被断开的熔丝是否已经通过切断处理而被正确地断开、以及确定不需要被断开的熔丝是否正确地存在。例如，在日本未审专利申请公开第5-242691号中公开了常规的熔丝电路和用于这种电路的测试方法。如上述文献所述，在熔丝切断故障本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试熔丝状态的熔丝切断测试方法，包括：测量流过熔丝的电流；和根据所测电流值，确定熔丝是处于断开、未断开、还是两者之间的状态。

【技术特征摘要】
JP 2005-5-31 2005-1601841.一种测试熔丝状态的熔丝切断测试方法，包括测量流过熔丝的电流；和根据所测电流值，确定熔丝是处于断开、未断开、还是两者之间的状态。2.根据权利要求1的熔丝切断测试方法，还包括当熔丝中没有电流流动时，确定熔丝处于切换状态；当流过熔丝的电流值等于或大于表示熔丝处于未切换状态的第一电流值时，确定熔丝处于未切换状态；和当流过熔丝的电流值不是以上任一种情况时，确定熔丝处于不完全状态。3.根据权利要求1的熔丝切断测试方法，还包括步骤当流过熔丝的电流值等于或大于表示熔丝处于未切换状态的第一电流值时，确定熔丝处于未切换状态；当流过熔丝的电流值等于或小于表示熔丝处于切换状态的第二电流值时，确定熔丝处于切换状态；和当流过熔丝的电流值不是以上任一种情况时，确定熔丝处于不完全状态。4.根据权利要求2的熔丝切断测试方法，其中第一电流值基本等于当熔丝处于未切换状态、并对熔丝两端施加规定电压时流过熔丝的电流值。5.根据权利要求3的熔丝切断测试方法，其中第一电流值基本等于当熔丝处于未切换状态、并对熔丝两端施加规定电压时流过熔丝的电流值。6.根据权利要求3的熔丝切断测试方法，其中第二电流值基本等于当熔丝处于切换状态、并对熔丝两端施加规定电压时流过熔丝的电流值。7.一种测试熔丝状态的熔丝切断测...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳田崇雄，
申请(专利权)人：恩益禧电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]