一种光电探测器制造技术

本发明专利技术公开一种光电探测器，涉及光电子技术领域，以通过设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部将光信号局域至石墨烯层内，并增强光信号与石墨烯层之间的相互作用，提高光电探测器在工作时的光电探测响应度。所述光电探测器包括：基底、光波导结构、石墨烯层、第一电极和第二电极。光波导结构形成在基底上。光波导结构包括设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部。石墨烯层至少覆盖狭缝波导部。狭缝波导部用于将光信号局域至石墨烯层内。第一电极和第二电极形成在基底的上方。第一电极与光波导结构电连接，用于在外加电场的作用下导出第一类载流子。第二电极与石墨烯层电连接，用于在外加电场的作用下导出第二类载流子。第一类载流子和第二类载流子的电性相反。子的电性相反。子的电性相反。

【技术实现步骤摘要】
一种光电探测器


[0001]本专利技术涉及光电子
，尤其涉及一种光电探测器。

技术介绍

[0002]光电探测器是基于光电效应将光信号转换为电信号，从而实现对光辐射进行测量的器件。其中，因石墨烯材料具有优良的光学特性，使得基于石墨烯的光电探测器具有功耗低、体积小和易于集成等优势，从而使得石墨烯光电探测器在光通信领域得到广泛的应用。
[0003]但是，现有的石墨烯光电探测器在正常工作时的光电探测响应度较低，导致石墨烯光电探测器的工作性能不佳。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种光电探测器，以通过设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部将光信号局域至石墨烯层内，并增强光信号与石墨烯层之间的相互作用，提高光电探测器在工作时的光电探测响应度，提升光电探测器的工作性能。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种光电探测器，该光电探测器包括：基底、光波导结构、石墨烯层、第一电极和第二电极。
[0006]光波导结构形成在基底上。光波导结构包括设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部。石墨烯层至少覆盖狭缝波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光电探测器，其特征在于，包括：基底，形成在所述基底上的光波导结构；所述光波导结构包括设置有布拉格谐振腔的狭缝波导部；至少覆盖所述狭缝波导部的石墨烯层；所述狭缝波导部用于将光信号局域至所述石墨烯层内；以及形成在所述基底的上方的第一电极和第二电极；所述第一电极与所述光波导结构电连接，用于在外加电场的作用下导出第一类载流子；所述第二电极与所述石墨烯层电连接，用于在所述外加电场的作用下导出第二类载流子；所述第一类载流子和所述第二类载流子的电性相反。2.根据权利要求1所述的光电探测器，其特征在于，沿着所述狭缝波导部的延伸方向，所述狭缝波导部上开设有呈周期性分布的多个调节结构；每个所述调节结构包括沿着所述狭缝波导部的厚度方向贯穿所述狭缝波导部、且间隔设置的多个调节槽；所述布拉格谐振腔为所述狭缝波导部具有的狭缝槽位于相邻所述调节结构之间的部分。3.根据权利要求2所述的光电探测器，其特征在于，每个所述调节结构所包括的多个所述调节槽的尺寸、以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨妍，唐波，张鹏，孙富君，欧祥鹏，刘若男，李彬，谢玲，李志华，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：