半导体装置制造方法及图纸

半导体装置具备：半导体元件(40)，在一面侧具有第1主电极(41C)，在背面侧具有第2主电极(41E)；与一面侧的第1主电极连接的第1散热部件(50C)及背面侧的第2散热部件(50E)；以及引线框(60)，包括与第1散热部件连接的第1主端子(61C)以及与第2主电极连接的第2主端子(61E)。第2主端子具有与第2主电极连接的连接部(62E)、从连接部延伸设置且与第1散热部件对置的对置部(64E)、以及与连接部相反地与对置部相连且与第1主端子在正交于厚度方向的一个方向上排列的非对置部(65E)。第2散热部件经由第2主端子而与半导体元件连接。引线框中第1主端子以及第2主端子的非对置部的至少一方具有多个。非对置部以侧面相互对置的方式交替地排列，对置的侧面的组形成有多个。对置的侧面的组形成有多个。对置的侧面的组形成有多个。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体装置
[0001]关联申请的相互参照
[0002]本申请基于2019年3月11日提出的日本专利申请第2019－43884号，这里通过参照而引用其记载内容。


[0003]本专利技术涉及半导体装置。

技术介绍

[0004]在专利文献1中提出了一种半导体装置。半导体装置具备具有第1主电极及第2主电极的半导体元件、以夹着半导体元件的方式配置的散热部件、以及与对应的主电极电连接的主端子。
[0005]半导体装置中，作为散热部件，具备配置在第1主电极侧的第1散热部件和配置在第2主电极侧的第2散热部件。半导体装置中，作为主端子，具备与第1主电极电连接的第1主端子以及与第2主电极电连接的第2主端子。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：JP 2015－82614A

技术实现思路

[0009]在专利文献1的半导体装置中，第1主端子从第1散热部件延伸设置，第2主端子从第2散热部件延伸设置。并且，第1散热部件与第1主电极连接，第2散热部件经由接线端(terminal)而与第2主电极连接。半导体元件及接线端介于第1散热部件与第2散热部件之间。此外，半导体装置具有各1个第1主端子及第2主端子。要求电感的进一步的减小。
[0010]本专利技术的目的在于提供能够减小电感的半导体装置。
[0011]根据本专利技术的一技术方案，半导体装置具备：至少一个半导体元件，作为主电极而在一面侧具有第1主电极、在背面侧具有第2主电极，背面是在厚度方向上与一面相反的面；第1散热部件及第2散热部件，是以夹着半导体元件的方式配置的散热部件，第1散热部件配置在一面侧并与第1主电极连接，第2散热部件配置在背面侧；以及引线框，包括与对应的主电极电连接的作为主端子的第1主端子及第2主端子，第1主端子与第1散热部件连接，第2主端子与第2主电极连接。
[0012]在该半导体装置中，第2主端子具有：连接部，与第2主电极连接；对置部，是从连接部延伸设置的部分，与连接部相连且与第1散热部件对置；以及非对置部，与连接部相反地与对置部相连，与第1主端子在与厚度方向正交的一个方向上排列配置。第2散热部件经由第2主端子而与半导体元件连接。引线框中，第1主端子以及第2主端子的非对置部的至少一方具有多个。第1主端子以及第2主端子的非对置部以侧面相互对置的方式交替地排列配置，相互对置的侧面的组形成有多个。
[0013]根据本专利技术的一技术方案，在半导体装置中，包含主端子的引线框作为与散热部件不同的部件而设置。第2主端子配置在第2散热部件与半导体元件之间，与第2电极连接。第1散热部件是电位与第1主电极相同的部分。作为对置于第1散热部件的电位与第2主电极相同的部分，第2主端子的对置部变得最近。此外，第1主端子和第2主端子的非对置部以侧面相互对置的方式交替地配置。第1主端子和第2主端子(非对置部)形成有多组对置的侧面的组。结果，能够提供能够减小电感的半导体装置。
附图说明
[0014]关于本专利技术的上述及其他目的、特征及优点，根据参照附图的下述详细说明会更加明确。
[0015]图1是表示应用第1实施方式的半导体装置的电力变换装置的概略结构的图。
[0016]图2是表示半导体装置的立体图。
[0017]图3是表示封固树脂体内的要素的立体图。
[0018]图4是将图2从A方向观察的平面图。
[0019]图5是将图3从B方向观察的平面图。
[0020]图6是沿着图2的VI－VI线的剖视图。
[0021]图7是沿着图2的VII－VII线的剖视图。
[0022]图8是表示引线框的连接状态的立体图。
[0023]图9是表示各热沉及引线框的位置关系的立体图。
[0024]图10是表示比较例的剖视图。
[0025]图11是表示电感降低的图。
[0026]图12是表示电感降低的图。
[0027]图13是表示变形例的平面图。
[0028]图14是表示变形例的示意性平面图。
[0029]图15是表示热阻降低的图。
[0030]图16是表示第2实施方式的半导体装置的平面图，与图5对应。
[0031]图17是在第3实施方式的半导体装置中表示半导体元件周边的剖视图。
[0032]图18是表示变形例的剖视图。
具体实施方式
[0033]参照附图说明多个实施方式。在多个实施方式中，对在功能上及/或构造上对应的部分赋予同一参照标记。以下，将半导体元件的厚度方向表示为Z方向，将与Z方向正交的一个方向表示为X方向。此外，将与Z方向及X方向这两个方向正交的方向表示为Y方向。只要没有特别声明，就将沿着由上述的X方向及Y方向规定的XY面的形状作为平面形状。
[0034](第1实施方式)
[0035]首先，基于图1对应用半导体装置的电力变换装置进行说明。
[0036]<电力变换装置的概略结构>
[0037]图1所示的电力变换装置1例如搭载在电动汽车或混合动力汽车中。电力变换装置1将从搭载在车辆中的直流电源2供给的直流电压变换为三相交流，向三相交流方式的马达
3输出。马达3作为车辆的行驶驱动源发挥功能。电力变换装置1还能够将由马达3发出的电力变换为直流并向直流电源2充电。具有发电功能的马达3有时被称作电动发电机。电力变换装置1能够进行双向的电力变换。
[0038]电力变换装置1具有平滑电容器4和作为电力变换器的逆变器5。平滑电容器4的正极侧端子与直流电源2的高电位侧的电极即正极连接，负极侧端子与直流电源2的低电位侧的电极即负极连接。逆变器5将所输入的直流电力变换为规定频率的三相交流，向马达3输出。逆变器5将由马达3发出的交流电变换为直流电。逆变器5是DC－AC变换部。
[0039]逆变器5具备三相的上下臂电路6。在正极侧的电源线即高电位电源线7与负极侧的电源线即低电位电源线8之间串联连接着两个臂而构成各相的上下臂电路6。在各相的上下臂电路6中，上臂与下臂的连接点被连接到对于马达3的输出线9。
[0040]在本实施方式中，作为构成各臂的开关元件，采用n沟道型的绝缘栅双极型晶体管6i(以下表示为IGBT6i)。各个IGBT6i与作为续流用二极管的FWD6d反并联地连接。一相的上下臂电路6具有两个IGBT6i。在上臂中，IGBT6i的集电极电极与高电位电源线7连接。在下臂中，IGBT6i的发射极电极与低电位电源线8连接。并且，上臂中的IGBT6i的发射极电极与下臂中的IGBT6i的集电极电极相互连接。
[0041]电力变换装置1除了上述的平滑电容器4及逆变器5以外，可以还具备作为逆变器5以外的电力变换器的变换器、构成逆变器5及变换器的开关元件的驱动电路等。变换器是将直流电压变换为不同值的直流电压的DC－DC变换部。
[0042]<半导体装置>
[0043]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体装置，其特征在于，具备：至少一个半导体元件(40)，作为主电极(41)而在一面侧具有第1主电极(41C)、在背面侧具有第2主电极(41E)，上述背面是在厚度方向上与上述一面相反的面；第1散热部件(50C)及第2散热部件(50E)，是以夹着上述半导体元件的方式配置的散热部件(50)，上述第1散热部件配置在上述一面侧并与上述第1主电极连接，上述第2散热部件配置在上述背面侧；以及引线框(60)，包括与对应的上述主电极电连接的作为主端子(61)的第1主端子(61C)及第2主端子(61E)，上述第1主端子与上述第1散热部件连接，上述第2主端子与上述第2主电极连接；上述第2主端子具有：连接部(62E)，与上述第2主电极连接；对置部(64E)，是从上述连接部延伸设置的部分，与上述连接部相连且与上述第1散热部件对置；以及非对置部(65E)，与上述连接部相反地与上述对置部相连，与上述第1主端子在与上述厚度方向正交的一个方向上排列配置；上述第2散热部件经由上述第2主端子而与上述半导体元件连接；上述引线框中，上述第1主端子以及上述第2主端子的上述非对置部的至少一方具有多个；上述第1主端子以及上述第2主端子的上述非对置部以侧面相互对置的方式交替地排列配置，相互对置的上述侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：大前翔一朗，石野宽，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：