【技术实现步骤摘要】
一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置及使用方法
[0001]本专利技术涉及无机非金属材料装备领域，具体是涉及一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置及使用方法。
技术介绍
[0002]碳化硅涂层是指采用物理或化学气相沉积、喷涂等方法在零件表面制备SIC涂层的方法SIC涂层具有优异的物理化学性能，如高熔点、高硬度、耐腐蚀、抗氧化等，特别是在1800
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2000℃范围，具有良好的抗烧蚀性能，因此，在航空航天、兵器装备等领域具有广阔的应用前景。但SIC涂层本身不能作为结构材料使用，所以通常采用制备涂层的方法，以利用其耐磨性以及抗烧蚀性。
[0003]为提高石墨件的表面性能，通常会在石墨件表面通过化学气相沉积形成一层碳化硅薄层，可有效提高石墨组件的表面性能，从而降低客户的整体运营成本。该涂层延长了石墨组件的使用寿命，并实现了生产硅单晶所需的高纯度表面结构。
[0004]现有的碳化硅薄层化学气相沉积炉整个沉积流程中，冷却时间占总周期的约2/3，导致碳化硅薄层化学气相沉积工艺存在生产周期长、产能低的问题，因此提供一...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置，其特征在于，包括：炉体(1)；保温层(2)，所述保温层(2)设置于炉体(1)内部，所述保温层(2)包括侧保温板(202)、顶部保温板(201)和底部保温板(203)，所述顶部保温板(201)设置于侧保温板(202)顶部，所述底部保温板(203)设置于侧保温板(202)底部；顶部保温板升降装置(3)，所述顶部保温板升降装置(3)设置于炉体(1)顶部，所述顶部保温板升降装置(3)输出端与顶部保温板(201)上端固定连接；底部保温板升降装置(4)，所述底部保温板升降装置(4)设置于炉体(1)底部，所述底部保温板升降装置(4)输出端与底部保温板(203)下端固定连接；反应室(5)，所述反应室(5)设置于保温层(2)内部。2.根据权利要求1所述的一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置，其特征在于，所述顶部保温板升降装置(3)包括顶部升降模组(301)、顶部升降驱动装置、顶部传动结构(304)、顶部升降轴(305)和顶部吊板(306)，所述顶部升降模组(301)设置有多个，多个所述顶部升降模组(301)呈圆周均匀等距的设置在炉体(1)上端，多个所述顶部升降模组(301)之间通过顶部传动结构(304)传动连接，最右端所述顶部升降模组(301)一侧设置有顶部升降驱动装置。3.根据权利要求2所述的一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置，其特征在于，所述顶部升降驱动装置包括顶部升降驱动电机(302)和顶部升降减速器(303)，所述顶部升降驱动电机(302)输出端与顶部升降减速器(303)输入端固定连接，所述顶部升降减速器(303)输出端与顶部升降模组(301)驱动部固定连接。4.根据权利要求3所述的一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置，其特征在于，所述顶部升降模组(301)输出端通过螺栓固定连接有顶部升降轴(305)，所述顶部升降轴(305)下端通过铆钉固定连接有顶部吊板(306)，所述顶部吊板(306)下端固定与顶部保温板(201)固定连接。5.根据权利要求4所述的一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置，其特征在于，所述顶部升降模组(301)包括顶部升降安装板(3101)，所述顶部升降安装板(3101)下端两侧固定连接有顶部升降侧板(3102)，所述顶部升降安装板(3101)前侧上端固定连接有滑轨安装板(3103)，所述滑轨安装板(3103)前端两侧固定连接有顶部升降滑轨(3104)，所述顶部升降滑轨(3104)上滑动连接有顶部升降滑块(3105)，所述顶部升降滑块(3105)前端固定连接有顶部升降板(3106)，所述顶部升降板(3106)上通过螺栓固定连接有顶部升降轴(305)，所述顶部升降轴(305)贯穿顶部升降板(3106)和顶部升降安装板(3101)底面并延伸至顶部升降安装板(3101)下端，所述顶部升降轴(305)外侧套设有防护波纹管(3108)，所述防护波纹管(3108)下端与顶部升降安装板(3101)底面固定连接，所述防护波纹管(3108)上端通过卡波扣(3109)与顶部升降板(3106)固定连接。6.根据权利要求5所述的一种快速冷却的碳化硅涂层沉积装置，其特征在于，所述顶部升降安装板(3101)前端下侧设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩科选，薛赓，
申请(专利权)人：苏州步科斯新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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