一种吸头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种吸头，包括基板、安装在基板底端的至少一个吸头本体以及开设在基板上的容纳孔，每个吸头本体与基板之间连通有通道组件，通道组件包括至少一个第一通孔、与至少一个第一通孔相连通的第二通孔以及与第二通孔相连通的第三通孔，第一通孔、第三通孔均沿竖直方向设置，第二通孔沿水平方向设置。本实用新型专利技术通过吸头本体上四个第一通孔的设置使得对MEMS器件吸附稳定，提高搬运效率，使得封装质量好，适用范围广，容纳孔的设置能够便于其它吸头设置，与其它吸头进行配合，吸头本体的底部设置有通槽，能够避让待吸附器件上的结构，同时能够减小与待吸附器件的接触面积，从而减少加工平面的难度，提高加工效率和加工质量。加工质量。加工质量。

【技术实现步骤摘要】
一种吸头


[0001]本技术属于MEMS摩阻传感器封装
，尤其涉及一种吸头。

技术介绍

[0002]传统的飞行器表面摩擦阻力测试器件主要是微量应变式摩阻天平，但其受灵敏度、温度、体积和成本等因素限制，难以在飞行器设计领域广泛应用。以微机电系统技术为基础的MEMS(Micro Electromechanical System)摩阻传感器具有体积小、成本低、可靠性高等突出优点，用于测量飞行器表面的摩擦阻力，进而确定飞行器表面摩擦阻力的大小和分布情况，对飞行器设计具有重要意义，能够广泛应用于飞行器设计等领域。
[0003]MEMS摩阻传感器依托多轴精密运动模组、高精度视觉显微镜、自动点胶机、精密机械定位与气动吸附、伺服与工业运动控制等仪器与技术实现自动封装。但是现有封装设备的吸头安装结构复杂，且吸附不稳固，另外，无法适用其它类型的MEMS器件的封装过程，适用范围窄。
[0004]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种吸头。

技术实现思路

[0005]针对现有技术不足，本技术的目的在于提供一种吸头。
[0006]为了实现上述目的，本技术一实施例提供的技术方案如下：
[0007]一种吸头，包括基板、安装在所述基板底端的至少一个吸头本体以及开设在所述基板上的容纳孔，每个所述吸头本体与所述基板之间连通有通道组件，所述通道组件包括至少一个第一通孔、与所述至少一个第一通孔相连通的第二通孔以及与所述第二通孔相连通的第三通孔，所述第一通孔、第三通孔均沿竖直方向设置，所述第二通孔沿水平方向设置。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述第二通孔贯穿所述基板的一侧端，所述第二通孔的一端内设置有封堵块。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述第二通孔的一端孔径大、另一端孔径小。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述吸头本体的底端设置有通槽。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述容纳孔贯穿所述基板。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述吸头本体的数量为两个，每个所述通道组件的第一通孔的数量为两个，四个所述第一通孔的中心连线形成矩形。
[0013]作为本技术的进一步改进，所述基板上开设有至少一个安装孔。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述基板呈矩形。
[0015]本技术的有益效果是：
[0016]本技术结构简单、使用方便，通过吸头本体上四个第一通孔的设置使得对MEMS器件吸附稳定，提高搬运效率，使得封装质量好，同时能够实现对不同类型的MEMS器件的搬运，适用范围广，容纳孔的设置能够便于其它吸头设置，与其它吸头进行配合，吸头本
体的底部设置有通槽，能够避让待吸附器件上的结构，同时能够减小与待吸附器件的接触面积，从而减少加工平面的难度，提高加工效率和加工质量。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术的优选实施例的立体图；
[0019]图2为本技术的优选实施例的主视图；
[0020]图3为图2的A
‑
A向剖视图；
[0021]图4为本技术的优选实施例的右视图；
[0022]图5为图4的B
‑
B向剖视图；
[0023]图6为本技术的优选实施例的仰视图；
[0024]图中：10、基板，12、吸头本体，14、容纳孔，16、第一通孔，18、第二通孔，20、第三通孔，22、封堵块，24、通槽，26、安装孔。
具体实施方式
[0025]为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0026]如图1
‑
图3所示，一种吸头，包括基板10、安装在基板10底端的至少一个吸头本体12以及开设在基板10上的容纳孔14，每个吸头本体12与基板10之间连通有通道组件，通道组件包括至少一个第一通孔16、与至少一个第一通孔16相连通的第二通孔18以及与第二通孔18相连通的第三通孔20，第一通孔16、第三通孔20均沿竖直方向设置，第二通孔18沿水平方向设置。
[0027]为了便于加工气通路，提高加工效率和加工质量，本技术优选第二通孔18贯穿基板10的一侧端，第二通孔18的一端内设置有封堵块22。
[0028]本技术优选第二通孔18的一端孔径大、另一端孔径小，提高流速，便于快速扩散气体，提高吸附效率。
[0029]如图4所示，本技术优选吸头本体12的底端设置有通槽24，能够避让待吸附器件上的结构，同时能够减小与待吸附器件的接触面积，从而减少加工平面的难度，提高加工效率和加工质量。
[0030]为了避免对其它吸头复合在该吸头上进行吸附器件的干涉，本技术容纳孔14贯穿基板10。
[0031]如图6所示，本技术优选吸头本体12的数量为两个，每个通道组件的第一通孔16的数量为两个，四个第一通孔16的中心连线形成矩形，便于与待吸附器件的对称结构相
配合，提高吸附稳定性。
[0032]如图5所示，为了便于安装在其它移动机构上，本技术优选基板10上开设有至少一个安装孔26。进一步优选安装孔26为沉头安装孔，避免对其它部件造成干涉。
[0033]本技术优选基板10呈矩形，提高安装的稳固性。
[0034]本专利技术在使用时，通过四个安装孔26将基板10固定在通道机构上，两个第三通孔20与通道机构相连通，通道机构再与外部阀类相连通，控制外部阀类导通，两个吸头本体12与待吸附器件接触，形成负压，将待吸附器件吸住，实现搬运。
[0035]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0036]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸头，其特征在于，包括基板、安装在所述基板底端的至少一个吸头本体以及开设在所述基板上的容纳孔，每个所述吸头本体与所述基板之间连通有通道组件，所述通道组件包括至少一个第一通孔、与所述至少一个第一通孔相连通的第二通孔以及与所述第二通孔相连通的第三通孔，所述第一通孔、第三通孔均沿竖直方向设置，所述第二通孔沿水平方向设置。2.根据权利要求1所述的一种吸头，其特征在于，所述第二通孔贯穿所述基板的一侧端，所述第二通孔的一端内设置有封堵块。3.根据权利要求2所述的一种吸头，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立国，薛立伟，贾玉蝶，王雄，王南天，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：新型
国别省市：