【技术实现步骤摘要】
能够独立地移送多个模块的气体供应装置
[0001]本专利技术涉及一种能够独立地移送多个模块的气体供应装置，更加详细地涉及一种如下的气体供应装置：能够独立地移送多个模块，从而当对准容器时能够实现细微调整，并且能够实现小型化。
技术介绍
[0002]通常，对于向利用气体的装置(尤其，向诸如半导体设备的执行精密作业的气体需求处)供应气体的装置而言，要求适合各种目的的种类的气体满足预定的浓度和压力等。
[0003]为了有效地提供气体，许多种类的气体在高压状态下保管，尤其，具有易燃性、毒性、腐蚀性等有害特性的气体在与人类隔离的单独的空间进行严格管理。
[0004]保管气体的气体储存容器(以下，简称为“容器”)连接于气体需求处，若保管在容器的气体被全部消耗，则将连接于气体需求处的连接配管从气体容器的阀分离并替换容器，之后将连接于气体需求处的连接配管连接器结合到替换后的容器的阀连接器并再次供应气体。
[0005]在这样替换容器的情况下，操作者必须将容器放置在容器装载部的正常位置，但是若没有配备用于将容器放置到正常位...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体供应装置，其特征在于，包括：上部模块，包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；下部模块，配备有盖分离部和连接器紧固部，其中，所述盖分离部将覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖分离，所述连接器紧固部用于将连接于气体需求处的连接配管连接器连接于所述阀连接器；阀开闭模块，用于开闭所述阀部的阀；第一垂直移送部，配备为使所述下部模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送；以及第二垂直移送部，配备为独立于所述下部模块的垂直方向移送，而使所述阀开闭模块相对于所述上部模块能够沿垂直方向移送。2.如权利要求1所述的气体供应装置，其特征在于，第一垂直移送部包括配备于所述上部模块而用于引导所述下部模块的垂直方向移送的第一垂直移送引导件，所述第二垂直移送部包括配备于所述上部模块而用于引导所述阀开闭模块相对于所述上部模块沿垂直方向移送的第二垂直移送引导件。3.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，还包括：阀开闭模块移送机构，产生用于使所述阀开闭模块相对于所述上部模块沿垂直方向移送的驱动力。4.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，所述上部模块包括：下部板，在上部结合有用于使所述下部模块相对于所述上部模块沿水平方向移送的水平移送引导件；以及第二垂直移送引导件结合板，在所述下部板的底面以具有垂直方向的长度的方式结合，所述阀开闭模块包括：第二垂直移送引导件支撑部件，以在与所述第二垂直移送引导件结合板之间配备所述第二垂直移送引导件的方式设置为与所述第二垂直移送引导件结合板对向，从而与所述发开闭模块一同沿垂直方向移送。5.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，所述阀开闭模块包括：第二垂直移送引导件支撑部件，结合有所述第二垂直移送引导件，并具有垂直方向的长度；第一水平板，垂直地结合于所述第二垂直移送引导件支撑部件，并具有垂直方向的长度；以及阀开闭模块主体，结合于所述第一水平板的下部，并包括手柄结合部，所述手柄结合部使开闭所述阀部的阀的手柄插入。6.如权利要求2所述的气体供应装置，其特征在于，所述阀开闭模块包括：阀开闭模块主体，包括手柄结合部，所述手柄结合部使开闭所述阀部的阀的手柄插入；以及
第一水平板，配备为与所述阀开闭模块主体一同借由所述第二垂直移送引导件沿垂直方向移送，并实现所述阀开闭模块主体的相对旋转。7.如权利要求6所述的气体供应装置，其特征在于，所述阀开闭模块包括：第二水平板，配备于所述第一水平板的下部；以及结合强度调节部，将所述第一水平板和第二水平板结合，并且能够调节所述结合的强度，其中，若在所述结合强度调节部使结合强度变强，则所述阀开闭模块主体相对于所述第一水平板不进行相对旋转，若在结合强度调节部使所述结合强度变弱，则所述阀开闭模块主体相对于所述第一水平板进行相对旋转。8.如权利要求7所述的气体供应装置，其特征在于，所述结合强度调节部包括：轴部件，形成有螺栓结合于所述第一水平板的螺栓部，并沿上下贯通所述第二水平板；以及手把部，形成为在所述轴部件的下端部与所述轴部件形成为一体，以能够旋转所述轴部件。9....
【专利技术属性】
技术研发人员：朴用建，李祥煜，金容澈，徐彻教，金相镇，
申请(专利权)人：KC股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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