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本发明的能够独立地移送多个模块的气体供应装置包括：包括在从配备于容器上端的阀部向上侧隔开的位置固定设置的上部板；下部模块，配备有盖分离部和连接器紧固部，其中，所述盖分离部将覆盖配备于所述阀部的阀连接器的盖分离，所述连接器紧固部用于将连接于气...
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