气体容器紧固连接装置制造方法及图纸

公开了一种气体容器紧固连接装置。根据一个实施例的气体容器紧固连接装置可包括：紧固连接模块，其配置于气体容器的上侧，在相对于所述气体容器对齐的状态下，紧固连接于所述气体容器的阀门，从而用于获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，对所述紧固连接模块相对于所述气体容器的位置进行对齐；以及位置检测部，其用于感知所述紧固连接模块相对于所述气体容器的对齐状态。模块相对于所述气体容器的对齐状态。模块相对于所述气体容器的对齐状态。

【技术实现步骤摘要】
气体容器紧固连接装置


[0001]下面的说明涉及一种气体容器紧固连接装置，尤其，涉及一种用于紧固连接大容量气体容器的装置。

技术介绍

[0002]通常，利用气体的工艺，例如，如半导体制造工艺一样，进行精密作业的工艺的情况，要求适合各个工艺目的的种类的气体在满足一定浓度及压力后供给。
[0003]在工艺过程中，为了有效的气体供给，各种种类的气体以高压的状态保管在气体容器中，在严格的管理下，在无人状态下对用于保管含有对人体有害的成分的气体的气体容器进行保管。
[0004]保管气体的气体容器与气体供给装置相连接，如果气体容器内部的气体全部消耗掉，则将与气体供给装置相连接的连接配管从气体容器的阀门分离出来并去除气体容器，进行将新的气体容器紧固连接于气体供给装置的替换过程。
[0005]为了使得气体容器连接于气体供给装置，需要将气体容器的阀门连接器连接于气体供给装置的连接器，为了这样的连接过程，气体容器的阀门连接器和气体供给装置的连接器需要以对齐的状态设置。在现有技术中，作业者通过手动进行了气体容器的位置对齐，但是气体容器的情况，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体容器紧固连接装置，其特征在于，包括：紧固连接模块，其包括连接器紧固连接部，连接器紧固连接部紧固连接于气体容器的阀门连接器，用于获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，调节所述紧固连接模块的位置，从而相对于所述阀门连接器进行对齐；以及位置检测部，其用于引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐。2.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块调节所述连接器紧固连接部的中心轴相对于所述阀门连接器的中心轴所形成的角度及所述连接器紧固连接部相对于所述阀门连接器的中心轴的距离，从而使得所述紧固连接模块对齐。3.根据权利要求2所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，在所述紧固连接模块与所述阀门连接器对齐的状态下，所述对齐模块使得所述紧固连接模块沿着所述阀门连接器的中心轴方向移动，以便使得所述连接器紧固连接部紧固连接于所述阀门连接器。4.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块包括：倾摆部，其使得所述紧固连接模块以与地面平行的旋转轴为中心旋转；水平移动部，其使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述旋转轴的第一方向移动；以及竖直移动部，其使得所述紧固连接模块沿着垂直于所述旋转轴及第一方向的第二方向移动。5.根据权利要求4所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述倾摆部对所述紧固连接模块的旋转角度进行对齐，以便使得所述阀门连接器的中心轴及连接器紧固连接部的中心轴相互平行。6.根据权利要求5所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，以所述紧固连接模块的旋转角度对齐的状态为基准，所述第一方向垂直于所述阀门连接器的中心轴，所述第二方向与所述阀门连接器的中心轴平行。7.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块包括：固定板，其在与所述阀门连接器的中心轴平行的平面上配置；水平移动部，其相对于所述固定板沿着第一方向可移动地连接；以及竖直移动部，其连接所述水平移动部及所述紧固连接模块，相对于所述水平移动部沿着垂直于所述第一方向的第二方向可移动地连接。8.根据权利要求7所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块还包括：倾摆部，其连接所述固定板及水平移动部，使得所述水平移动部以垂直于所述第一方向及第二方向的旋转轴为中心旋转。9.根据权利要求8所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块还包括：一个以上的致动器，其用于使得所述倾摆部、水平移动部及竖直移动部移动。10.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述紧固连接模块还包括：端盖分离部，其与所述阀门连接器相连接，用于分离端盖；以及
紧固连接致动器，其用于使得所述端盖分离部或者连接器紧固连接部运转。11.根据权利要求10所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的中心轴的角度对齐的状态下，所述对齐模块调节所述紧固连接模块的位置，以便使得所述端盖分离部或者连接器紧固连接部选择性地紧固连接于所述阀门连接器。12.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述位置检测部包括：传感器，其对所述阀门连接器及所述紧固连接模块的相对位置信息进行检测。13.根据权利要求12所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，还包括：控制部，其控制所述对齐模块的运转，所述控制部基于通过所述位置检测部检测到的信息对所述对齐模块的运转进行控制，以便使得所述紧固连接模块位于相对于所述阀门连接器设定的对齐位置。14.根据权利要求1所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述位置检测部包括：对准部件，其与所述气体容器相连接的同时，引导所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的位置对齐，在所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器对齐的状态下，固定于所述气体容器。15.一种气体容器紧固连接装置，其特征在于，包括：滑行架，其以安放的状态支撑气体容器；移送模块，其使得所述滑行架沿着与地面平行的前后方向移动，对所述气体容器的阀门连接器的前后方向上的位置进行对齐；紧固连接模块，其紧固连接于所述阀门连接器，用于获得气体的供给；对齐模块，其与所述紧固连接模块相连接，对所述紧固连接模块相对于所述阀门连接器的相对位置进行对齐；以及位置检测部，其用于对所述阀门连接器及所述紧固连接模块的对齐状态进行检测。16.根据权利要求15所述的气体容器紧固连接装置，其特征在于，所述对齐模块包括：倾摆部，其用于使得所述紧固连接模块以与所述前后方向平行的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴用建，李祥煜，金容澈，徐彻教，金相镇，
申请(专利权)人：KC股份有限公司，
类型：发明
国别省市：