空气支承滑动器及生产该滑动器的方法技术

一种空气支承滑动器，能够极度地减小其浮动高度的变化，而与其沿存储盘的径向移动无关。在存储盘旋转期间，当空气支承表面接收沿前起表面和前壁流动的空气流时，能在空气支承表面上产生较大的正压（或升力）。即使空气流从不同方向接近，它仍通过前起表面和前壁的恒定面积达到空气支承表面。因此，空气流方向的变化不会引起空气支承表面上正压的变化，结果能极度地减小滑动器浮动高度的变化，而与其沿存储盘的径向移动无关。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于存储盘驱动器，例如磁盘驱动器的空气支承滑动器或浮动滑动器。例如，空气支承滑动器经常用于磁盘驱动器。在磁盘旋转期间，当滑动器接收沿盘表面产生的空气流时，它能够在磁盘的盘表面上方浮动。空气支承滑动器使一个换能器元件(它嵌入与盘表面相对的滑动体中)可以在不和盘表面接触情况下，实现对磁盘的读/写操作。空气支承滑动器通常支持在一个托架臂的尖端。当托架臂绕其支持轴摆动时，使空气支承滑动器可以沿磁盘的径向越过盘表面上的记录轨道。滑动器的这种移动使换能器元件可以安排在盘表面上的目标记录轨道的上方。当使用托架臂的摆动来安排换能器元件时，不可能使空气支承滑动器相对记录轨道的切向保持恒定取向。在滑动器沿磁盘的径向移动时，滑动器相对记录轨道改变它的取向。因此，在它沿径向移动时，滑动器从稍微不同的方向接收空气流。空气流方向的这种变化引起盘表面上方滑动器浮动高度的变化。应该注意，在本说明书整个范围内，滑动器与盘表面之间的距离将称为盘表面上方的浮动高度。然而，这样的“浮动高度”也称为滑动器在盘表面下方浮动时，滑动器与盘表面之间的距离。如果滑动器的浮动高度引起较大变化，就必须增加在滑动器最低浮动水平面之上的高度增量。特别是，在其中嵌入换能器元件的后轨处，这样增加增量则使换能器元件与盘表面分开更远，并且降低了换能器元件在读/写操作中的敏感性。这样，对试图改进磁盘的记录密度来说带来不利。因此，本专利技术的一个目的是提供一种空气支承滑动器，它能够极度地减小滑动器的浮动高度的变化，而与其沿存储盘的径向移动无关。简短地说，本专利技术涉及一种改进型空气支承滑动器，其中即使在它沿径向越过盘移动时，也减小其浮动高度的变化。本专利技术还涉及一种使用这样滑动器的盘设备，以及制造这样滑动器的方法。更具体地说，本专利技术涉及一种空气支承滑动器，它包括一个在滑动体的底部靠近其上游端形成的前空气支承表面，一个在滑动体的底部靠近其下游端形成的后空气支承表面，以及一个在后空气支承表面的上游形成的前起表面。前起表面比后空气支承表面具有较高的水平面。该滑动器还包括一个前壁，它在后空气支承表面的上游端与前起表面的下游端之间延伸，以及至少一个侧壁，它在后空气支承表面的侧边与滑动体的底部之间延伸，而不被一个台阶所断续。注意术语“台阶”在本说明书和权利要求书整个范围内，定义为排除在空气支承滑动器接收空气流时，不能达到足够高的水平面，以促使在空气支承表面处产生的正压增加的台阶。应用上述结构，在存储盘旋转期间，当后空气支承表面接收沿前起表面和前壁流动的空气流时，能在后空气支承表面产生较大的正压或升力。由于在侧壁上邻近后空气支承表面无升起表面形成，所以可能沿不同方向流动的空气流将总是通过前起表面和前壁的恒定面积，到达后空气支承表面。因此，空气流方向的变化不能引起后空气支承表面处的正压变化，从而能极度地减小滑动器浮动高度的变化，而与滑动器沿存储盘径向的移动无关。本专利技术的空气支承滑动器可以还包括一个第二后空气支承表面，它在与上述后空气支承表面结合时，形成一对后空气支承表面，它们两者都靠近滑动体的下游端安排。这对后空气支承表面在靠近滑动体的下游端产生一对正压，这对正压有助于稳定空气支承滑动器在浮动期间的特性。本专利技术的一个优选实施例还包括一个第二前起表面，它在第二后空气支承表面的上游形成，且该第二前起表面比第二后空气支承表面具有较高的水平面，以及一个第二前壁，它在第二后空气支承表面的上游端与第二前起表面的下游端之间延伸。本实施例还可以包括在第二后空气支承表面的两侧形成的侧起表面，其中侧起表面在比第二后空气支承表面高的水平面下沿相对横向延伸，以及一组第二侧壁，它们在侧起表面的横边与第二后空气支承表面之间延伸。应用这种结构，在存储盘旋转期间，当第二后空气支承表面接收沿第二前起表面和第二前壁流动的空气流时，能在第二后空气支承表面及上述第一空气支承表面处产生较大正压或升力。该空气支承滑动器还可以包括一个在前空气支承表面的上游形成的第三前起表面，它比前空气支承表面具有较高的水平面，以及一个在第三前起表面上形成的突起，它具有一个比前空气支承表面的水平面低的尖端。该突起在滑动体安放在盘表面上时，用来防止前空气支承表面与存储盘的盘表面之间的直接接触，以便使分布在盘表面上的润滑剂或润滑油与滑动体之间的粘着力较小。因此，在存储盘开始旋转时，能使滑动体更容易地离开盘表面。该空气支承滑动器还可以包括一个前轨，在滑动体的底部上游位置处形成，以便沿横向延伸，并且在其顶面上限定第三升起表面和前空气支承表面，第一和第二侧轨，分别从前轨的相对横端向第一和第二后空气支承表面延伸，以便在和前轨的第三升起表面相同的平面上限定顶面，一个第一后突起，在第一侧壁的顶面上形成，它具有一个水平面比第一后空气支承表面低的尖端，以及一个第二后突起，它在侧底面上形成，并且具有一个水平面比第二后空气支承表面低的尖端。应用这种结构，能在前轨和后轨所包围的面积之内产生较大负压。该较大负压能与第一和第二后空气支承表面处的较大正压平衡，以便更好地稳定空气支承滑动器在浮动期间的特性。此外，第一和第二后突起在滑动体安放在盘表面上时，用来防止第一和第二后空气支承表面与存储盘的盘表面直接接触，以便使分布在盘表面上的润滑剂或润滑油与滑动体之间的粘着力较小。因此，在存储盘开始旋转时，能使滑动体更容易地离开盘表面。在第二实施例中，可以不同地构成第二后空气支承表面，以便它缺少一组侧起表面。在本实施例中，第二组侧壁在第二后空气支承表面的横端与滑动体的底部之间直接延伸，而不被台阶所断续。应用这种结构，也有可能和上述第一后空气支承表面非常相同的方式，减小滑动体浮动高度的变化，而与滑动体沿存储盘径向的移动无关。当生产上述空气支承滑动器时，方法优选地包括如下步骤，在一个薄片上形成第一图形的抗蚀剂，以限定空气支承表面的轮廓，在滑动体横向邻近空气支承表面的轮廓留有边缘；移去第一图形的抗蚀剂周围的薄片部分；在薄片上形成第二图形的抗蚀剂，以限定空气支承表面的轮廓，使另外面积覆盖空气支承表面的上游；以及移去第二图形的抗蚀剂周围的薄片部分，以便形成空气支承表面。当按照第二图形形成空气支承表面时，邻近空气支承表面移去由第一图形限定的与边缘对应的部分。结果，沿滑动体横向邻近空气支承表面无台阶形成。另一方面，覆盖的附加面积用来在滑动体中空气支承表面的上游形成台阶。应用这种方法，即使第二图形相对第一图形偏移，也无台阶在滑动体横向邻近空气支承表面处形成。能使上述空气支承表面可靠地形成。该方法可以还包括如下步骤，在形成第一图形的抗蚀剂之前，在薄片上形成一个垫图形的抗蚀剂，以限定防粘垫的轮廓，在垫轮廓周围留有边缘；移去垫图形的抗蚀剂周围的薄片部分，以便形成第一材料；在形成所述第一图形的抗蚀剂时，在第一材料上的垫的轮廓周围限定一个边缘；在移去第一图形的抗蚀剂周围的薄片部分时，在第一材料范围之外成型第二材料；在形成所述第二图形的抗蚀剂时，限定第二材料上的垫的轮廓；以及在移去第二图形的抗蚀剂周围的薄片部分时，形成垫的轮廓。当从第一材料形成第二材料时，并且当从第二材料形成垫的轮廓时，移去垫的轮廓周围与垫图形和第一图形所限定的边缘相对应的部分。结果，在垫周围无台阶形成。应该注意，本专利技术的空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空气支承滑动器，包括：一个滑动体；一个前空气支承表面，在滑动体的底部靠近其上游端形成；一个后空气支承表面，在所述滑动体的所述底部靠近其下游端形成；一个前起表面，在所述后空气支承表面的上游形成，所述前起表面比所述后空气支承 表面具有较高的水平面；一个前壁，在所述后空气支承表面的上游端与所述前起表面的下游端之间延伸；以及至少一个侧壁，在所述后空气支承表面的侧边与所述滑动体的所述底部之间延伸，而不被台阶所断续。

【技术特征摘要】
JP 1999-1-12 4934/991.一种空气支承滑动器，包括一个滑动体；一个前空气支承表面，在滑动体的底部靠近其上游端形成；一个后空气支承表面，在所述滑动体的所述底部靠近其下游端形成；一个前起表面，在所述后空气支承表面的上游形成，所述前起表面比所述后空气支承表面具有较高的水平面；一个前壁，在所述后空气支承表面的上游端与所述前起表面的下游端之间延伸；以及至少一个侧壁，在所述后空气支承表面的侧边与所述滑动体的所述底部之间延伸，而不被台阶所断续。2.根据权利要求1的空气支承滑动器，其中所述至少一个侧壁包括一个内侧壁和一个外侧壁，并且其中所述内侧壁在所述滑动体的所述底部与所述前起表面、所述前壁和所述后空气支承表面的所述内周沿所限定的内沿之间延伸，并且所述外侧壁在所述滑动体的所述底部与所述前起表面、所述前壁和所述后空气支承表面的所述外周沿所限定的外沿之间延伸。3.一种空气支承滑动器，包括一个滑动体；一个前空气支承表面，在滑动体的底部靠近其上游端形成；第一和第二后空气支承表面，在所述滑动体的所述底部靠近其下游端形成；一个换能器元件，嵌在所述第一后空气支承表面中；一个前起表面，在所述第一后空气支承表面的上游形成，所述前起表面比所述第一后空气支承表面具有较高的水平面；一个前壁，在所述第一后空气支承表面的上游端与所述前起表面的下游端之间延伸；以及至少一个侧壁，在所述第一后空气支承表面的边沿与所述滑动体的所述底部之间延伸，而不被台阶所断续。4.根据权利要求3的空气支承滑动器，还包括一个第二前起表面，在所述第二后空气支承表面的上游形成，所述第二前起表面比所述第二后空气支承表面具有较高的水平面；一个第二前壁，在所述第二后空气支承表面的上游端与所述第二前起表面的下游端之间延伸；侧起表面，在所述第二后空气支承表面的两侧形成，其中所述侧起表面在比所述第二后空气支承表面高的水平面下，沿相对横向延伸；以及一组第二侧壁，在所述侧起表面的横沿与所述第二后空气支承表面之间延伸。5.根据权利要求4的空气支承滑动器，其中所述第二前起表面和所述侧起表面相互之间大体上持平。6.根据权利要求4的空气支承滑动器，还包括一个第三前起表面，在所述前空气支承表面的上游形成，所述第三前起表面比所述前空气支承表面具有较高的水平面；以及至少一个前突起，在所述第三前起表面上形成，所述前突起伸过所述前空气支承表面的水平面。7.根据权利要求6的空气支承滑动器，还包括一个前轨，在滑动体的底部靠近其上游端形成，以便沿横向延伸，所述前轨包括所述第三前起表面，使所述前空气支承表面安排在所述前轨的顶面上；第一和第二侧轨，分别从所述前轨的相对横端向所述第一和第二后空气支承表面延伸，以便相对所述前轨的所述第三前起表面限定大体上持平的顶面；一个第一后突起，在所述第一侧轨的顶面上形成，所述第一后突起伸过所述第一后空气支承表面的水平面；以及一个第二后突起，在与所述第二后空气支承表面相关的所述侧起表面中的一个上形成，所述第二后突起伸过所述第二后空气支承表面的水平面。8.根据权利要求3的空气支承滑动器，还包括一个第二前起表面，在所述第二后空气支承表面的上游形成，所述第二前起表面比所述第二空气支承表面具有较高的水平面；一个第二前壁，在所述第二后空气支承表面的上游端与所述第二前起表面的下游端之间延伸；以及一组第二侧壁，分别在所述第二后空气支承表面的相对横沿与所述滑动体的所述底部之间延伸，而不被台阶所断续。9.根据权利要求8的空气支承滑动器，还包括一个第三前起表面，在所述前空气支承表面的上游形成，所述第三前起表面比所述前空气支承表面具有较高的水平面；...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟山正毅，
申请(专利权)人：富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]