光盘的制造方法技术

本发明专利技术的目的是提供一种防止用于操作盖罩的支杆的污染的光盘制造方法。本发明专利技术具有：对具有一个面是凸面的圆形伞部（４１）、和从伞部（４１）的凸面中心突出设置的操作用突起（４３）的盖罩（４０）的操作用突起（４３）进行操作，将盖罩（４０）载置在成膜基片（１０’）中心部的载置工序；在盖罩（４０）的伞部（４１）的凸面滴下液状物质的滴下工序；一体地旋转成膜基片（１０’）和盖罩（４０）使液状物质涂敷在成膜基片（１０’）表面的旋转涂敷工序。这样，应涂敷的液状物质就不会附着在用于操作盖罩（４０）的支杆上。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光盘的制造方法和光盘制造装置，更详细地说，本专利技术涉及包含用旋转涂敷法涂敷液状物质的工序的光盘制造方法、和采用这种方法的光盘制造装置。附图说明图14是表示作为最一般的再生专用光盘的CD-ROM的层构成的剖面图。如图14所示，CD-ROM由厚度约1.2mm的光透过层1、厚度约50nm的反射聚碳酸酯构成，反射层2由铝构成，保护层3由紫外线硬化性树脂构成。在具有这种构成的CD-ROM制作中，首先，使用原模注射模型成型具有与应记录的数字数据对应的凹坑的光透过层1，然后，在光透过层1中，在形成凹坑的面上用溅射法使铝成膜，形成反射层2。接着，在反射层2的表面用旋转敷层法形成紫外线硬化性树脂，制成保护层3。这样，即制成了由光透过层1、反射层2和保护层3构成的CD-ROM。形成保护层3的旋转涂敷法，作为涂敷液状物质的方法不仅是光盘的制造方法，也是一种在半导体装置制造中广泛使用的方法。但是，用旋转涂敷法形成的膜的膜厚，在远离滴下紫外线硬化性树脂部分(滴下点)的外侧部分大致是均匀的，在滴下点附近，越接近滴下点则有急速变薄的倾向，为了在光盘记录面上形成凹坑的区域(记录区域)尽可能均匀地形成保护层3，理想的情况是将光盘的中心部作为滴下点。然而，在光盘的中心部，由于一般是形成用于驱动用卡紧的孔，因此不可能就那样将光盘的中心部作为滴下点。为此，在日本特开平10-320850号公报、特开平10-249264号公报、特开平10-289489号公报、特开平11-195250号公报、特开平11-195251号公报、特开平11-203724号公报、特开平11-213459号公报中，都提出了用盖罩塞住光盘中心部的孔，在盖罩的中心部分滴下紫外线硬化性树脂的方案。但是，在上述各公报记载的方法中，由于用紫外线硬化性树脂覆盖了整个盖罩上面，则在盖罩的操作中将产生各种问题。例如，在该公报记录的方法中，紫外线硬化性树脂将不可避免地附着在用于操作盖罩的支杆上，不仅支杆被紫外线硬化性树脂污染，而且担心在制造装置的其他部分和其他制造装置也将附着紫外线硬化性树脂，因此将使整个制造工序的可靠性变坏。附着在支杆上的紫外线硬化性树脂，可考虑由设置支杆洗净工序除去，然而，整个制造工序复杂化了。上述各公报记载的方法，也存在在形成的膜中容易卷入具有该膜厚以下直径的气泡的问题。这个问题在形成CD-ROM的保护层3时还不是很大问题，但对于下个世代型的光记录媒体来说，在形成通过从与基片的反面照射激光进行数据的记录和/或再生类型的光记录媒体的光透过层时，则是重大问题。例如，对于记录磁道间距为0.3μm、光透过层厚度约100μm的下个世代型的光记录媒体，在光透过层中存在10μm×10μm大小的气泡的情况下，当设定位长为0.130μm进行记录/再生时，则在记录/再生时将产生连续76位的大规模误差，并且，在以磁盘1周为1磁道时，将产生跨越33磁道的大规模误差。比50μm大的气泡，将对光拾波器的跟踪随动系统和聚焦随动系统产生不良影响，是不能订正的误差的原因，也是造成跟踪失误和聚焦失误的主要原因。本专利技术的另一个目的是提供改进的、包含用旋转涂敷法涂敷液状物质的工序的光盘制造方法和光盘制造装置。本专利技术的进一步目的是提供防止污染用于操作盖罩的支杆的光盘制造方法和光盘制造装置。本专利技术的进一步目的是提供可以防止向光透过层混入气泡的光盘制造方法。本专利技术的目的由具有以下工序的光盘制造方法来达到，即对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作，将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部的载置工序；在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下液状物质的滴下工序；通过一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩，将上述液状物质涂敷在上述成膜基片的表面的旋转敷层工序。本专利技术中，由于在盖罩上具有用于操作的突起，并将应涂敷的液状物质的滴下点作为盖罩的伞部，则在用于操作盖罩的支杆上不会附着应涂敷的液状物质。因此，大大地减少了在制造装置等上附着应涂敷的液状物质而造成污染的危险，可以提高整个制造工序的可靠性，不必再设置支杆的洗净工序。本专利技术的理想实施例中，上述盖罩还具有在上述伞部的上述凸面的反面设置的位置决定部，根据上述位置决定部的位置确定，进行上述载置工序的上述盖罩的载置。按照本专利技术的理想实施例，由于在盖罩设置了位置决定部，则能够容易地进行载置工序。本专利技术的另一个理想实施例中，上述盖罩的上述伞部具有越向外周部厚度越薄的形状，上述盖罩的上述位置决定部由从上述伞部的上述反面的中心突出设置的位置决定用突起构成。本专利技术的另一个理想实施例中，还具有在上述载置工序之后，通过吸引上述盖罩的上述位置决定用突起，在上述成膜基片的表面按压上述盖罩的上述伞部的最外周部的吸引工序。按照本专利技术的该理想实施例，可以提高伞部表面和成膜基片表面的平坦性，从而可使在旋转涂敷工序中涂敷的液状物质的膜厚更为均匀。本专利技术的另一个理想实施例中，上述液状物质是紫外线硬化性树脂。本专利技术的再一个理想实施例中，还具有一边用第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，一边在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使其硬化的第一紫外线照射工序；上述第一紫外线掩模的直径大于上述盖罩的上述伞部的直径。本专利技术的再一个理想实施例中，还具有操作上述盖罩的上述操作用突起，从上述成膜基片的表面除去上述盖罩的除去工序；上述除去工序之后，在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使其硬化的第二紫外线照射工序。本专利技术的另一个理想实施例中，上述盖罩由塑料构成。本专利技术的另一个理想实施例中，上述盖罩由聚烯烃构成。按照本专利技术的理想实施例，由于盖罩和紫外线硬化性树脂的亲和性比较低，则比较容易进行作为盖罩材料的聚烯烃和紫外线硬化性树脂的分离。本专利技术的光盘制造装置具有对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作的部件；在成膜基片大致中心部载置的上述盖罩的上述伞部的上述凸面上滴下液状物质的部件；一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩的部件。本专利技术的光盘制造装置是采用旋转涂敷法在成膜基片表面涂敷液状物质的光盘制造装置，其特征是具有载置上述成膜基片的可旋转工作台；将上述成膜基片固定在上述工作台的第一吸引部件；搬送盖罩并将其载置在上述工作台上的上述成膜基片中央部分的支杆；将上述盖罩固定在上述成膜基片的第二吸引部件。上述第二吸引部件最好包含对上述盖罩进行位置确定的吸引口。本专利技术的上述目的由光信息媒体制造方法完成，其光信息媒体是在具有中心孔的盘状支持基体上，顺次具有信息记录层和含有树脂的光透过层，用于记录或再生的激光射束通过上述光透过层入射到上述信息记录层；该制造方法具有在上述支持基体上设置上述信息记录层后，用具有圆板部的闭塞部件的上述圆板部覆盖上述支持基体的中心孔，接着，将含有放射线硬化型树脂的涂敷液供给上述圆板部，然后，通过一体地旋转上述闭塞部件和上述支持基体，使上述涂敷液在上述支持基体上延展、形成环状树脂层的树脂延展工序，和通过放射线照射使上述树脂层硬化形成上述光透过层的硬化工序，在上述涂敷液接触的上述圆板部表面的至少一部分，使用满足至少以下条件之一的闭塞部件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光盘制造方法，其特征是具有：对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作，将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部的载置工序；在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下液状物质的滴下工序；通过一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩，将上述液状物质涂敷在上述成膜基片的表面的旋转涂敷工序。

【技术特征摘要】
JP 2001-8-8 240913/2001;JP 2001-9-14 280838/20011.一种光盘制造方法，其特征是具有对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作，将上述盖罩载置在成膜基片的大致中心部的载置工序；在上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下液状物质的滴下工序；通过一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩，将上述液状物质涂敷在上述成膜基片的表面的旋转涂敷工序。2.如权利要求1记载的光盘制造方法，其特征是，上述盖罩还具有在上述伞部的上述凸面的反面设置的位置决定部，根据用上述位置决定部的位置确定，进行上述载置工序的上述盖罩的载置。3.如权利要求2记载的光盘制造方法，其特征是上述盖罩的上述伞部具有越向外周部厚度越薄的形状，上述盖罩的上述位置决定部由从上述伞部的上述反面的中心突出设置的位置决定用突起构成。4.如权利要求3记载的光盘制造方法，其特征是还具有在上述载置工序之后，通过吸引上述盖罩的上述位置决定用突起，将上述盖罩的上述伞部的最外周部按压在上述成膜基片的表面的吸引工序。5.如权利要求1至4的任一项记载的光盘制造方法，其特征是上述液状物质是紫外线硬化性树脂。6.如权利要求5记载的光盘制造方法，其特征是还具有一边用第一紫外线掩模覆盖上述成膜基片的中央部，一边在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使其硬化的第一紫外线照射工序；上述第一紫外线掩模的直径大于上述盖罩的上述伞部的直径。7.如权利要求6记载的光盘制造方法，其特征是还具有操作上述盖罩的上述操作用突起，从上述成膜基片的表面除去上述盖罩的除去工序；在上述除去工序之后，在上述成膜基片表面形成的上述紫外线硬化性树脂上照射紫外线、使其硬化的第二紫外线照射工序。8.如权利要求1至7的任一项记载的光盘制造方法，其特征是上述盖罩由塑料构成。9.如权利要求8记载的光盘制造方法，其特征是上述盖罩由聚烯烃构成。10.一种光盘制造装置，其特征是具有对具有一个面是凸面的圆形伞部、和从上述伞部的上述凸面的中心突出设置的操作用突起的盖罩的上述操作用突起进行操作的部件；在成膜基片大致中心部载置的上述盖罩的上述伞部的上述凸面滴下液状物质的部件；一体地旋转上述成膜基片和上述盖罩的部件。11.一种光盘制造装置，借助旋转涂敷法在成膜基片表面涂敷液状物质，其特征是具有载置上述成膜基片的可旋转工作台；将上述成膜基片固定在上述工作台的第一吸引部件；搬送盖罩并将其载置在上述工作台上的上述成膜基片中...

【专利技术属性】
技术研发人员：宇佐美守，小卷壮，丑田智树，山家研二，
申请(专利权)人：TDK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]