【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硬磁盘驱动器制造。更具体地说,本专利技术涉及用于在诸如电测试的操作过程中处理(例如抛光以便去除缺陷)诸如硬磁盘的媒体表面的系统。
技术介绍
在不停的改善硬磁盘的特性、效率和可靠性的努力过程中,人们采用了多种方法去改良其质量控制。该
中的一种方法包括在淀积薄膜层之后对硬盘进行清洗和磨光以便去除表面的碎屑和粗糙。为了支持日益增长的面密度要求,诸如浮动间隙、磁盘粗糙度和碳层厚度等参数不断在减小,要成功地制造符合这些参数的磁盘就需要改进磁盘的制备过程。在本领域中,代替诸如头弹簧片组件(HGA)的硬盘驱动器悬架的磁头滑块的抛光头用来在动态电测试(DET)过程中在线地擦拭磁盘表面。通常通过金刚石磨削装置来产生这种抛光头,所述金刚石磨削装置提供这样的抛光表面它会导致不希望有的头颗粒的扩散和破裂倾向。而且,所述典型的抛光头设计会导致突然的移出(abrupttakeoff)以及很大的动态俯仰角,不能象对最佳抛光所要求的那样,提供基本上平行于媒体(硬磁盘)表面的抛光表面。当前几种不同的抛光头设计用于媒体制造过程中(例如美国专利US6267645,US6249945,US5782680)。有些抛光头具有抛光刃,所述抛光刃形成与抛光头表面全宽度等宽的抛光缘。另外一些头设计仅仅在抛光面上的某些点上具有抛光垫(burnishing pad),但两个构件之间具有纵向沟道。无效的抛光头可能导致低的滑动率,同时,过度滑动的抛光头可能导致划痕和损坏磁盘表面,这会导致整个磁盘损坏。大多数常用的抛光头为多边形设计,例如矩形和三角形,并具有磨轮切割格状图案。图1为本领域中典 ...
【技术保护点】
一种用于改变媒体表面状态的系统,所述系统包括: 具有多个椭圆衬垫的部件,其中, 所述部件用来随着所述媒体和所述部件彼此相对运动、借助于所述椭圆衬垫与所述媒体表面之间的物理干扰而改变所述媒体表面的状态。
【技术特征摘要】
1.一种用于改变媒体表面状态的系统,所述系统包括具有多个椭圆衬垫的部件,其中,所述部件用来随着所述媒体和所述部件彼此相对运动、借助于所述椭圆衬垫与所述媒体表面之间的物理干扰而改变所述媒体表面的状态。2.如权利要求1所述的系统,其特征在于所述各椭圆衬垫以基本上对称于所述部件的轴的形式设置在所述部件上,所述轴一般地平行于所述部件的运动矢量,以及所述衬垫分布在所述多个衬垫之间形成多个气流通道。3.如权利要求2所述的系统,其特征在于所述各椭圆衬垫以这样的尺寸和分布设置在所述部件上、以便当所述部件经过所述媒体表面时,提供一般地等于所述磁头滑块的宽度、基本上连续的物理干扰区。4.如权利要求3所述的系统,其特征在于所述部件用于抛光所述媒体表面,而所述多个椭圆衬垫构成抛光表面。5.如权利要求3所述的系统,其特征在于所述抛光表面在所有平面方向上基本上是平坦的,以及这样设计和布置所述抛光垫、使得在所述多个通道中由所述衬垫之间的气流产生至少一个低压区域。6.如权利要求5所述的系统,其特征在于所述部件是废晶片材料的陶瓷空磁头滑块。7.如权利要求5所述的系统,其特征在于所述部件是抛光头,而所述媒体是硬磁盘。8.如权利要求7所述的系统,其特征在于所述抛光头用来抛光所述硬盘,其方法是当所述盘旋转时,所述抛光头从所述盘的内径移动到所述盘的外径,所述硬盘具有这样的角速度额定值并且所述磁头滑块具有这样的径向速度额定值、使得所述磁头滑块形成总体上覆盖所述硬盘的所述整个表面的螺旋形路径。9.如权利要求8所述的系统,其特征在于所述抛光头在略高于所述盘表面飞行的同时抛光所述盘的所述表面。10.如权利要求9所述的系统,其特征在于所述抛光头在所述盘表面之上基本上平坦地飞行的同时抛光所述盘的所述表面。11.如权利要求8所述的系统,其特征在于每一个所述椭圆衬垫具有前缘,所述前缘为第一弧线,所述第一弧线的轴垂至于所述盘表面;以及后缘,所述后缘为第二弧线,所述第二弧线的轴垂至于所述盘表面并且其直径大于所述第一弧线的直径。12.如权利要求11所述的系统,其特征在于每一个所述椭圆衬垫是泪滴形的。13.如权利要求8所述的系统,其特征在于采用离子刻蚀和润滑剂涂敷的方法在所述抛光头中形成所述多个椭圆衬垫。14.如权利要求13所述的系统,其特征在于每一个椭圆衬垫通过圆形衬垫表面接触所述盘,并且所述润滑剂涂敷包括涂敷硅和类金刚石碳(DLC)。15.如权利要求13所述的系统,其特征在于所述抛光头包括16个椭圆衬垫的基本上均匀的分布,其中,具有以下衬垫数目的各衬垫行按次序从前缘排列到后缘具有3个衬垫的前缘行;具有4个衬垫的第二行;具有3个衬垫的第三行;具有4个衬垫的第四行;以及具有2个衬垫的后缘行;所述衬垫分布形成各椭圆衬垫的总体上十字形图案。16.一种改变媒体表面状态的方法,所述方法包括当媒体与部件彼此相对运动时,在所述部件的多个椭圆衬垫与所述媒体表面之间形成物理干涉。17.如权利要求16所述的方法,其特征在于所述各椭圆衬垫以基本上对称于所述部件的轴的分布设置在所述部件上,所述轴一般地平行于所述部件的运动矢量,以及所述衬垫分布在所述多个衬垫之间形成多个气流...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑国强,申加兵,李宇,田宏,
申请(专利权)人:新科实业有限公司,
类型:发明
国别省市:HK[中国|香港]
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