圆盘状基板用溅射装置、该装置中的基板卡夹方法,及用该装置的圆盘状记录介质的制造方制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种溅射装置中的基板卡夹方法，用于在牢固地使没有中心孔的圆盘状基板与保持件紧贴而保持基板。具体地，所使用的该圆盘状基板在其背面侧具有一基本圆柱形的突起部，并且在该溅射装置中，该突起部插入一设置在基板支承部上的具有一圆筒形内表面的凹陷部中。通过一设置在该凹陷部中的固定结构将该突起部固定，该基板的背面在与一形成在该凹陷部周围用作基板支承部的平坦表面保持紧贴的同时而被支承。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在圆盘状基板上形成薄膜的溅射装置，更具体地，涉及一种在使用该装置形成薄膜时卡夹在该装置中所使用的该圆盘状基板的卡夹机构或卡夹方法。此外，本专利技术还涉及一种使用该溅射装置制造光盘等的圆盘状记录介质的圆盘状记录介质的制造方法。
技术介绍
已公知各种通过在圆盘状的基板上形成各种薄膜而制造的记录介质，特别是具有圆盘状形状的介质，例如，CD、CD-R、CD-RW等CD盘、DVD-ROM、DVD-R等DVD盘等的光盘、以及MO、MD等的光磁盘等。这些盘通过对例如由聚碳酸酯等的原材料所制成的基板上进行溅射处理、旋转涂布处理等各种处理而层积薄膜而制成。作为所述盘的原材料的基板通常在其被供给时已在其中央部位形成有贯通孔。在以后进行的薄膜形成工序中，通过使用该中央孔而进行搬入或搬出成膜装置、或成膜装置等中基板的定位等操纵。但是，由于存在该中央孔，往往会在成膜时造成例如在基板上的薄膜的厚度或品质的分布变差。因此，通过使用盖等盖住该中央孔，从而在其存在对成膜工序影响尽量小的状态下进行成膜。例如，在制造DVD盘时，利用旋转涂布处理将紫外线(UV)硬化树脂等构成的薄膜作为其构成层之一而形成。具体地，首先，将基板安装在可转动的回转台上使其中心与该回转台的旋转中心一致。如此，通过使用贯穿该中央孔的旋转轴，或者将固定成与该回转台的旋转中心同心的盖配置在该盘的中央孔处等操作，来进行基板相对回转台的定位与固定。然后，随着该回转台旋转，从所述中央孔附近或者盖边缘部朝向盘外周边侧移动的同时连续地滴下树脂。所滴下的树脂通过随着回转台的回转所产生的离心力扩散而在基板表面上形成树脂薄膜。在该情况下，由于除了在一离开旋转中心的位置处滴下树脂之外没有其它办法，所以由此而造成膜厚度的分布。但是，在现有技术中通常用于记录和读取等的红色激光光束因为波长较长而使得该分布在容许范围内。而在今后为了提高光盘的记录密度，在使用波长较短的例如蓝色激光光束时，需要形成均匀性更高的薄膜。此外，使用溅射法而形成用作反射膜等的金属薄膜等。在该方法中，圆盘状基板通过中央孔部分及其外周部分由夹具覆盖而固定并保持在真空容器中与一目标(target)相对。一般地，在该目标上施加一定的电压，并由此在目标与基板之间放电而产生等离子体。该目标表面的目标构成原子/元素通过该等离子体中的离子而被溅射，并通过该溅射粒子附着在基板表面上而形成薄膜。此时，当用于固定基板的夹具与基板表面接触时，会在形成薄膜时在该薄膜与夹具之间产生异常放电。这里因为在薄膜或夹具表面上蓄聚的电荷通过放电而从夹具与该膜表面之间的接触点释放出来。而且，当夹具向放电空间伸出时，由于其存在会使得电场畸变，从而会对薄膜厚度分布产生影响。因此，优选地在基板表面与夹具之间通常保持一定量的微小间隔，或优选地尽可能地不使用该夹具。本申请人提出解决上述问题的方案，即作为使用旋转涂布法工序中可以改善薄膜厚度的方法的使用在中央部位不设置孔的基板的制造工序。在使用该种基板时，可以减少在溅射时用于固定基板的夹具，并可以容易地在基板表面与夹具之间保持一定量的间隔、并可以容易地减少异常放电。
技术实现思路
在该溅射法中，为了使得保持在目标与基板之间是稳定的且均匀的放电，优选的是将大地电位的相对电极配置成平行于该目标表面。因此将大地电位的基板保持件与目标表面相对配置。而且为了使得放电空间中的电场不受扰动，而优选地使基板背面与基板保持件的表面相紧贴。在该溅射法中时由于离子等的入射或等离子体的放射热而使得基板温度升高。由于用作基板材料的聚碳酸酯不耐热，所以需要抑制溅射时基板温度的升高。通常是通过使用经水冷却等的基板保持件与基板背面紧贴而抑制基板温度的升高。但是，在基板中央不存在中央孔时，单靠在基板外周边进行固定难以使得基板紧贴基板保持件。本专利技术针对该问题提出一种使得即使是不存在中央孔的圆盘状基板可相对于基板保持件稳定地紧贴的卡夹方法。并且还提出具体实施该卡夹方法的溅射装置，以及使用该溅射装置的圆盘状记录介质的制造方法。为了实现上述目的，本专利技术提出一种用于在真空容器中在基板表面上形成膜的溅射装置，其中所使用的基板为在其背面中央具有突起部的圆盘状基板。该溅射装置包括由待与所述基板的背面紧贴的平坦面构成的基板支承部，和形成在所述基板支承部中央部位用于接收所述突起部的凹陷部，其中，在所述凹陷部中配置有用于牢固地保持所述突起部的固定结构。在该溅射装置中，优选地，在所述基板背面中央的突起部具有构成其直径随着远离基板而变大的部分圆锥形的基本圆柱形形状，并且所述固定结构包括一球塞。此外，优选地，该溅射装置还包括用于支承一覆盖该基板表面的外周边部的罩的罩支承部，并且，所述罩支承部通过磁力保持所述罩。为了实现上述目的，本专利技术提出一种用于在真空容器中在基极表面上形成膜的溅射装置中卡夹基板的卡夹方法，其中，所使用的基板为在其背面中央具有突起部的圆盘状基板。该方法包括以下步骤将所述突起部插入具有圆筒状内表面的凹陷部中的步骤；通过配置在所述凹陷部中的固定结构固定所述突起部的步骤，以使得所述突起部的轴线与所述凹陷部的轴线重合，并将所述突起部沿插入方向偏压到所述凹陷部中；和使所述基板背面紧贴在形成在所述凹陷部周围的平坦面上的步骤。在该卡夹方法中，优选地，在所述基板背面中央的突起部具有构成其直径随着远离基板而变大的部分圆锥形的基本圆柱形形状，并且所述固定结构包括一球塞。此外，优选地，该方法还包括在所述基板的背面与所述平坦面紧贴后，通过磁力将一用于覆盖该基板表面的外周边部的罩固定在所述平坦面的外周边的步骤。为了实现上述目的，本专利技术提出一种圆盘状记录介质的制造方法，它包括制备在其背面中央具有基本上为圆柱状的突起部的圆盘状基板的步骤；将所述突起部插入设置在用于保持所述基板的基板支承部上的具有圆筒状内表面的凹陷部中的步骤；通过配置在所述凹陷部中的固定结构固定所述突起部的轴线的步骤，以使得所述突起部的轴线与所述凹陷部的轴线重合，并将所述突起部沿插入方向偏压到所述凹陷部中；使所述基板背面紧贴在形成在所述凹陷部周围、用作所述基板支承部的平坦面上的步骤；使所述基板和罩与一目标相对的步骤；和通过在基板表面与所述目标之间产生等离子体而对所述目标进行溅射，从而在所述基板表面上形成以所述目标的构成元素为主要成分的薄膜的步骤。在该制造方法中，优选地，在所述基板背面中央的突起部具有构成其直径随着远离基板而变大的部分圆锥形的基本圆柱形形状，并且所述固定结构包括一球塞。此外，优选地，该方法还包括在所述基板的背面与所述平坦面紧贴后，通过磁力将一用于覆盖该基板表面的外周边部的罩固定在所述平坦面的外周边的步骤。附图说明图1为在真空侧搬送臂和大气侧搬送臂基本上呈相对状态下二者的剖面示意图；图2为示出真空侧搬送臂和大气侧搬送臂在进行基板的交付/转移时的状态的视图；图3为图2中a部分的放大视图；图4为图2中b部分的放大视图；图5为图4中从基板侧观察沿线5-5的剖面时的视图。具体实施例方式以下就根据本专利技术的基板的卡夹方法进行说明。对于可实施该卡夹方法的溅射装置，在图1中示出了具有基板保持件的真空侧搬送臂的大致剖视图，和与真空侧搬送臂基本上呈正对状态下用于交付基板至该基板保持件的大气侧搬送臂的大致剖面图。此外，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在真空容器中在基板表面上形成膜的溅射装置，所使用的基板为在其背面中央具有突起部的圆盘状基板，该溅射装置包括：由待与所述基板的背面紧贴的平坦面构成的基板支承部，和形成在所述基板支承部中央部位用于接收所述突起部的凹陷部，其中，在所述凹陷部中配置有用于牢固地保持所述突起部的固定结构。

【技术特征摘要】
JP 2002-3-8 062866/20021.一种用于在真空容器中在基板表面上形成膜的溅射装置，所使用的基板为在其背面中央具有突起部的圆盘状基板，该溅射装置包括由待与所述基板的背面紧贴的平坦面构成的基板支承部，和形成在所述基板支承部中央部位用于接收所述突起部的凹陷部，其中，在所述凹陷部中配置有用于牢固地保持所述突起部的固定结构。2.一种根据权利要求1所述的溅射装置，其特征在于，在所述基板背面中央的突起部具有构成其直径随着远离基板而变大的部分圆锥形的基本圆柱形形状。3.一种根据权利要求1所述的溅射装置，其特征在于，所述固定结构包括一球塞。4.一种根据权利要求1至3中任一项所述的溅射装置，还包括用于支承一覆盖该基板表面的外周边部的罩的罩支承部，其中，所述罩支承部通过磁力保持所述罩。5.一种用于在真空容器中在基板表面上形成膜的溅射装置中卡夹基板的卡夹方法，所使用的基板为在其背面中央具有突起部的圆盘状基板，该方法包括以下步骤将所述突起部插入具有圆筒状内表面的凹陷部中，通过配置在所述凹陷部中的固定结构固定所述突起部，以使得所述突起部的轴线与所述凹陷部的轴线重合，并将所述突起部沿插入方向偏压到所述凹陷部中，和使所述基板背面紧贴在形成在所述凹陷部周围的平坦面上。6.一种根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述基板背面中央的突起部具有构成其直径随着远离基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：越川政人，江本淳，松井敏，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]