图形绘图装置、信息记录媒体的制造方法及母盘制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术是为了降低信息记录媒体的制造成本。能够绘制构成形成信息记录媒体制造用的凹凸图形用的曝光图形Ｐ，束输出部能够输出其有效绘图宽度比各图形ＰＳＯ１、ＰＳＯ２…的宽度及长度要窄的电子束ＥＢ而构成，控制部通过交替多次进行部分绘图处理及绘图位置改变处理来绘制曝光图形Ｐ，该部分绘图处理是在利用基准信号生成部输出基准信号Ｓ１时，在仅待机预先规定的时间ｔ１ｗ、ｔ１ｗ…之后，使束输出部输出电子束ＥＢ，绘制图形ＰＳＯ１、ＰＳＯ２…的宽度方向的一部分（绘图区域ＰＳＯ１１、ＰＳＯ１２…），该绘图位置改变处理是将利用部分绘图处理进行的一部分绘图位置，向基材的旋转中心侧在有效绘图宽度的范围内改变。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及绘制形成信息记录媒体制造用的凹凸图形用的曝光图形的图形绘图装置、以及利用该图形绘图装置绘制的曝光图形形成的凹凸图形来制造信息记录媒体制造用母盘和信息记录媒体的制造方法。
技术介绍
当前，对HDD等磁记录重放装置的高密度记录的要求越来越高，另一方面作为它的一种实现方法，正研究利用狭窄轨道来提高道密度。但是，在利用该方法以力图实现高密度纪录时，必须在磁记录媒体上形成能够实现正确跟踪伺服的高精度伺服图形。现实情况下，一般是通过磁头对每一道进行磁记录以形成伺服图形。在这种情况下，随着越来越高密度化(道数增加)，在伺服图形记录时因磁头定位精度低而引起伺服图形精度低的情况越来越明显，再加上伺服图形的记录(形成)所需要的时间越来越长。因此磁记录重放装置的制造成本上涨。作为解决这些问题的方法，提出了将预先高精度形成的伺服图形对磁记录媒体的记录膜通过磁的方法一次转印的方法、以及在记录膜上一次形成同样是高精度的作为伺服图形的物理凹凸的方法等。具体来说，作为制造对磁记录媒体的记录膜将伺服图形等通过磁的方法一次转印用的信息载体的方法，有在特开2000-207738号公报所揭示的利用电子束曝光装置绘制形成伺服图形等用的曝光图形来制造信息载体的方法。在该制造方法中，如该公报的图2所示，首先在非磁性基体11上形成的强磁性薄膜12上，利用真空蒸镀法蒸镀Au等重金属，形成重金属膜。然后形成抗蚀剂膜，以覆盖成膜的重金属膜之后，利用光刻法等形成由抗蚀剂膜构成的规定图形(掩模)。然后，用形成的图形利用干法刻蚀法等来腐蚀重金属膜，通过这样在强磁性薄膜12上形成曝光位置参照标记21、21…及图形中心标记22。然后，在强磁性薄膜12上涂布电子束感光性抗蚀剂13，以覆盖形成的曝光位置参照标记21、21…及图形中心标记22。通过这样，制成被绘图试样87。然后，如该公报的图1所示，将被绘图试样87放置在电子束绘图装置81上。这时，一面驱动XY平台88，一面利用电子枪82输出电子束83，并利用电子检测器89检测它的反射电子，通过这样检测出被绘图试样87的图形中心标记22的位置。然后，驱动气动主轴马达80，使被绘图试样87仅旋转规定角度后，再次检测出图形中心标记22的位置，通过这样，计算利用气动主轴马达80的被绘图试样87的旋转中心与图形中心标记22的位置偏移量。然后，利用电子束绘图装置81对电子束感光性抗蚀剂13绘制信息载体(信息记录媒体)制造用的图形。具体来说，一面利用气动主轴马达80使被绘图试样87旋转，一面利用电子枪82输出电子束83，照射被绘图试样87的电子束感光性抗蚀剂13。这时，由于照射的电子束83利用曝光位置参照标记21产生反射，因此通过利用电子检测器89来检测该反射电子，能够检测出电子束83通过曝光位置参照标记21的瞬间(电子束83的照射位置与曝光位置参照标记21重合的瞬间)。另外，在该电子束绘图装置81中，以电子束83通过曝光位置参照标记21的时刻为基准，根据绘图对象的图形形状，对电子束83输出进行照射关闭控制，通过这样绘制图形的一部分。这时，根据被绘图试样87的旋转中心与中心标记22的位置偏移量，利用电子束偏转器85对电子束83的照射位置进行微调。另外，在被绘图试样87旋转一圈之后，驱动XY平台88，使被绘图试样87(气动主轴马达80)仅移动电子束83的光点直径，继续进行上述的绘图处理。通过在遍及被绘图试样87的全部表面上进行这样的绘图工艺，就对电子束感光性抗蚀剂13绘制信息载体制造用的图形。然后，对电子束感光性抗蚀剂13进行显影处理，通过这样除去电子束83的非照射部分，形成凹凸图形，用该凹凸图形作为掩模，对强磁性薄膜12进行腐蚀，通过这样如该公报的图3所示，形成薄膜图形17，完成母信息载体。特开2000-207738号公报(第8-10页、图1-3)但是，专利技术者研究了以往的电子束绘图装置81，结果发现了以下那样的问题。即，在该以往的电子束绘图装置81中，是利用电子检测器89检测出电子束83的照射位置与曝光位置参照标记21重合的瞬间，以该检测的瞬间为基准，对电子束83的输出进行照射关闭控制，通过这样在电子束感光性抗蚀剂13上的所希望的位置绘制所希望的图形。因而，必须在图形绘图对象的被绘图试样87上预先形成曝光位置参照标记21、21…。为此，对于以往的电子束绘图装置81存在的问题是，由于采用在被绘图试样87上形成曝光位置参照标记21、21…的工序，因此母信息载体(信息记录媒体)的制造成本上涨。本专利技术正是鉴于有关的问题而提出的，主要目的在于提供能够降低信息记录媒体制造成本的图形绘图装置、信息记录媒体制造用母盘的制造方法及信息记录媒体的制造方法。
技术实现思路
能达到上述目的的本专利技术有关的图形绘图装置，包括能够放置在其表面形成为了形成信息记录媒体制造用的凹凸图形的树脂层的基材并使该基材旋转而构成的旋转机构、沿着利用该旋转机构形成的所述基材的旋转面使该旋转机构移动的移动机构、根据在所述旋转机构内部生成的内部信号及对该旋转机构的旋转驱动信号的某一个信号生成与所述基材的旋转同步的基准信号的基准信号生成部、向所述树脂层输出绘图用束的束输出部、以及控制所述旋转机构和所述移动机构同时控制利用所述束输出部的所述绘图用束的输出及输出停止时刻的控制部，能够在所述树脂层上绘制构成形成所述凹凸图形用的同心圆状图形，所述束输出部能够输出其有效绘图宽度比构成所述曝光图形的各图形的宽度及长度要窄的所述绘图用束而构成，所述控制部通过交替多次进行部分绘图处理及绘图位置改变处理，在所述树脂层上绘制所述曝光图形，所述部分绘图处理是在利用所述基准信号生产部输出所述基准信号时，在仅待机了预先规定的待机时间之后，控制所述束输出部，使所述绘图用束输出，在所述树脂层上绘制所述图形的宽度方向的一部分，所述绘图位置改变处理是将利用该部分绘图处理进行的所述一部分绘图位置，向接近利用所述旋转机构产生的所述基材旋转中心的方向及从该规定中心离开的方向的某一个规定的方向一侧在所述有效绘图宽度的范围内改变。另外，本专利技术中的所谓“图形的宽度”意思是指沿相对基材的旋转中心的接近或离开方向的图形的尺寸，所谓“图形的长度”，意思是指沿基材的旋转方向的图形的尺寸。另外，本专利技术有关的图形绘图装置，包括能够放置在其表面形成为了形成信息记录媒体制造用的凹凸图形的树脂层的基材并使该基材旋转而构成的旋转机构、沿着利用该旋转机构形成的所述基材的旋转面使该旋转机构移动的移动机构、根据在所述旋转机构内部生成的内部信号及对该旋转机构的旋转驱动信号的某一个信号生成与所述基材的旋转同步的基准信号的基准信号生成部、向所述树脂层输出绘图用输导束输出部、以及控制所述旋转机构及所述移动机构同时控制所述束偏转部产生的所述绘图用束的偏转方向而且控制利用所述束输出部的所述绘图用束的输出及输出停止时刻的控制部，能够在所述树脂层上绘制构成形成所述凹凸图形用的同心圆状曝光图形，所述束输出部能够输出其有效绘图宽度比构成所述曝光图形的各图形的宽度及长度要窄的所述绘图用束而构成，所述控制部通过进行绘图处理，在所述树脂层上绘制所述曝光图形，所述绘图处理是在利用所述基准信号生成部输出所述基准信号时，在仅待机了预先规定的待机时间之后，控制所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图形绘图装置，其特征在于，包括能够放置在其表面形成为了形成信息记录媒体制造用的凹凸图形的树脂层的基材并使该基材旋转而构成的旋转机构、沿着利用该旋转机构形成的所述基材的旋转面使该旋转机构移动的移动机构、根据在所述旋转机构内部生成的 内部信号及对该旋转机构的旋转驱动信号的某一个信号生成与所述基材的旋转同步的基准信号的基准信号生成部、向所述树脂层输出绘图用束的束输出部、以及控制所述旋转机构和所述移动机构同时控制利用所述束输出部的所述绘图用束的输出及输出停止时刻的控制部，能够在所述树脂层上绘制构成形成所述凹凸图形用的同心圆状曝光图形，所述束输出部能够输出其有效绘图宽度比构成所述曝光图形的各图形的宽度及长度要窄的所述绘图用束而构成，所述控制部通过交替多次进行部分绘图处理及绘图位置改变处理，在所述 树脂层上绘制所述曝光图形，所述部分绘图处理是在利用所述基准信号生成部输出所述基准信号时，在仅待机了预先规定的待机时间之后，控制所述束输出部，使所述绘图用束输出，在所述树脂层上绘制所述图形的宽度方向的一部分，所述绘图位置改变处理是将利用该部分绘图处理进行的所述一部分绘图位置，向接近利用所述旋转机构产生的所述基材旋转中心的方向及从该旋转中心离开的方向的某一个规定的方向一侧在所述有效绘图宽度的范围内改变。...

【技术特征摘要】
JP 2004-1-13 2004-0049111.一种图形绘图装置，其特征在于，包括能够放置在其表面形成为了形成信息记录媒体制造用的凹凸图形的树脂层的基材并使该基材旋转而构成的旋转机构、沿着利用该旋转机构形成的所述基材的旋转面使该旋转机构移动的移动机构、根据在所述旋转机构内部生成的内部信号及对该旋转机构的旋转驱动信号的某一个信号生成与所述基材的旋转同步的基准信号的基准信号生成部、向所述树脂层输出绘图用束的束输出部、以及控制所述旋转机构和所述移动机构同时控制利用所述束输出部的所述绘图用束的输出及输出停止时刻的控制部，能够在所述树脂层上绘制构成形成所述凹凸图形用的同心圆状曝光图形，所述束输出部能够输出其有效绘图宽度比构成所述曝光图形的各图形的宽度及长度要窄的所述绘图用束而构成，所述控制部通过交替多次进行部分绘图处理及绘图位置改变处理，在所述树脂层上绘制所述曝光图形，所述部分绘图处理是在利用所述基准信号生成部输出所述基准信号时，在仅待机了预先规定的待机时间之后，控制所述束输出部，使所述绘图用束输出，在所述树脂层上绘制所述图形的宽度方向的一部分，所述绘图位置改变处理是将利用该部分绘图处理进行的所述一部分绘图位置，向接近利用所述旋转机构产生的所述基材旋转中心的方向及从该旋转中心离开的方向的某一个规定的方向一侧在所述有效绘图宽度的范围内改变。2.一种图形绘图装置，其特征在于，包括能够放置在其表面形成为了形成信息记录媒体制造用的凹凸图形的树脂层的基材并使该基材旋转而构成的旋转机构、沿着利用该旋转机构形成的所述基材的旋转面使该旋转机构移动的移动机构、根据在所述旋转机构内部生成的内部信号及对该旋转机构的旋转驱动信号的某一个信号生成与所述基材的旋转同步的基准信号的基准信号生成部、向所述树脂层输出绘图用束的束输出部、使该束输出部输出的所述绘图用束偏转的束偏转部、以及控制所述旋转机构及所述移动机构同时控制所述束偏转部产生的所述绘图用束的偏振方向而且控制利用所述束输出部的所述绘图用束的输出及输出停止时刻的控制部，能够在所述树脂层上绘制构成形成所述凹凸图形用的同心圆状曝光图形，所述束输出部能够使其有效绘图宽度比构成所述曝光图形的各图形的宽度及长度要窄的所述绘图用束而构成，所述控制部通过进行绘图处理，在所述树脂层上绘制所述曝光图形，所述绘图处理是在利用所述基准信号生成部输出所述基准信号时，在仅待机了预先规定的待机时间之后，控制所述束输出部，使所述绘图用束输出，同时控制所述束偏转部，沿要绘图的所述图形的宽度方向使所述绘图用束往复运动，来绘制该图形。3.如权利要求1所述的图形绘图装置，其特征在于，能够绘制构成包含跟踪伺服用的伺服图形及数据记录用的数据道图形的至少一种图形的所述曝光图形。4.如权利要求2所述的图形绘图装置，其特征在于，能够...

【专利技术属性】
技术研发人员：添野佳一，
申请(专利权)人：TDK股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]