化学品混合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种化学品混合装置，涉及半导体制程技术领域。化学品混合装置包括混合腔室、加热保温箱、化学瓶和气体输送管，其中，加热保温箱安装在混合腔室上；化学瓶设置在加热保温箱的内部，化学瓶用于盛放化学品；气体输送管设置在加热保温箱的内部，气体输送管的一端与化学瓶连通，气体输送管的另一端与混合腔室连通。该装置不仅可以隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果，而且，气体输送管的长度可以大大减短，减少了对化学瓶中化学品可能产生影响的不安定因素，也不会因为气体输送管的材质以及使用年限过久对工艺造成影响。年限过久对工艺造成影响。年限过久对工艺造成影响。

【技术实现步骤摘要】
化学品混合装置


[0001]本技术涉及半导体制程
，具体而言，涉及一种化学品混合装置。

技术介绍

[0002]半导体进入高阶工艺制程后，镀膜技术的条件越来越严格，并且对温度掌控的要求也越来越高，不管是对加热器的温度，还是化学瓶(ampoule)的化学品或气体的温度，都有着极严格的管控。
[0003]目前镀膜过程中使用的化学瓶是安装在腔室外部，化学瓶中的反应物经过升温后，再经过气体输送管(gas line)进入腔室，化学瓶和气体输送管容易受到外在环境的影响，无法精准控制化学瓶和气体输送管的温度，导致反应物会因为温度起伏过大，甚至在气体生产线中进行还原反应而产生大量颗粒，降低良率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种化学品混合装置，其能够隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种化学品混合装置，应用于半导体制程，化学品混合装置包括：
[0007]混合腔室；
[0008]加热保温箱，安装在混合腔室上；
[0009]化学瓶，设置在加热保温箱的内部，化学瓶用于盛放化学品；
[0010]气体输送管，设置在加热保温箱的内部，气体输送管的一端与化学瓶连通，气体输送管的另一端与混合腔室连通。
[0011]在可选的实施方式中，加热保温箱安装在混合腔室的顶部。
[0012]在可选的实施方式中，气体输送管呈竖直方向延伸，气体输送管的一端连接到化学瓶的底部，气体输送管的另一端连接到混合腔室的顶部。
[0013]在可选的实施方式中，加热保温箱安装在混合腔室的一侧。
[0014]在可选的实施方式中，气体输送管呈水平方向延伸，气体输送管的一端连接到化学瓶的一侧，气体输送管的另一端连接到混合腔室的一侧。
[0015]在可选的实施方式中，加热保温箱包括：
[0016]保温箱体，采用保温材料制成；
[0017]加热丝，布置在保温箱体的侧壁上；
[0018]控制器，与加热丝电连接，控制器用于控制加热丝对保温箱体进行加热。
[0019]在可选的实施方式中，加热保温箱还包括：
[0020]冷却管，布置在保温箱体的侧壁上；
[0021]冷却泵，安装在冷却管上、且与控制器电连接，控制器用于控制冷却泵运作，以使
冷却管对保温箱体进行冷却。
[0022]在可选的实施方式中，化学品混合装置还包括节流阀和真空泵，混合腔室、节流阀和真空泵依次通过连接管连通。
[0023]在可选的实施方式中，化学品混合装置还包括涡轮增压器，涡轮增压器通过连接管与节流阀并联。
[0024]在可选的实施方式中，化学品混合装置还包括流量控制泵，流量控制泵安装在气体输送管上，流量控制泵用于控制化学品进入混合腔室的流量。
[0025]本技术实施例提供的化学品混合装置的有益效果包括：
[0026]相较于现有的镀膜过程对温度控制不稳定，并且气体输送管暴露在大气环境中，导致经过气体输送管进入化学瓶的化学品容易因为温度控制不稳定而发生变质。本技术实施例直接将化学瓶安装在混合腔室的顶盖上，并使用一套可控制温度的加热保温箱将化学瓶和气体输送管整体覆盖，不仅可以隔绝大气环境对化学瓶和气体输送管的温度影响，还能够改善温度控制效果，而且，气体输送管的长度可以大大减短，减少了对化学瓶中化学品可能产生影响的不安定因素，也不会因为气体输送管的材质以及使用年限过久对工艺造成影响。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]图1为本技术第一实施例提供的化学品混合装置的结构示意图；
[0029]图2为本技术第二实施例提供的化学品混合装置的结构示意图。
[0030]图标：10
‑
化学品混合装置；11
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混合腔室；12
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加热保温箱；13
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化学瓶；14
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气体输送管；15
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节流阀；16
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真空泵；17
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涡轮增压器；18
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连接管。
具体实施方式
[0031]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0032]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0034]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者
是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0035]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]第一实施例
[0037]请参照图1，本实施例提供一种化学品混合装置10，应用于半导体制程中的镀膜过程。化学品混合装置10包括混合腔室11、加热保温箱12、化学瓶13、气体输送管14、节流阀15、真空泵16和涡轮增压器17。
[0038]加热保温箱12安装在混合腔室11的顶部，也就是说本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学品混合装置，应用于半导体制程，其特征在于，所述化学品混合装置包括：混合腔室(11)；加热保温箱(12)，安装在所述混合腔室(11)上；化学瓶(13)，设置在所述加热保温箱(12)的内部，所述化学瓶(13)用于盛放化学品；气体输送管(14)，设置在所述加热保温箱(12)的内部，所述气体输送管(14)的一端与所述化学瓶(13)连通，所述气体输送管(14)的另一端与所述混合腔室(11)连通。2.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)安装在所述混合腔室(11)的顶部。3.根据权利要求2所述的化学品混合装置，其特征在于，所述气体输送管(14)呈竖直方向延伸，所述气体输送管(14)的一端连接到所述化学瓶(13)的底部，所述气体输送管(14)的另一端连接到所述混合腔室(11)的顶部。4.根据权利要求1所述的化学品混合装置，其特征在于，所述加热保温箱(12)安装在所述混合腔室(11)的一侧。5.根据权利要求4所述的化学品混合装置，其特征在于，所述气体输送管(14)呈水平方向延伸，所述气体输送管(14)的一端连接到所述化学瓶(13)的一侧，所述气体输送管(14)的另一端连接到所述混合腔室(11)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林钧翔，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：