一种多孔气体分流板镀膜系统技术方案

本申请公开了一种多孔气体分流板镀膜系统，包括进样机构、镀膜机构和退火机构，进样机构能够将多孔气体分流板逐个输送至镀膜机构，镀膜机构对多孔气体分流板进行镀膜，退火机构对镀好膜的多孔气体分流板进行退火。由此，进样机构能够将多孔气体分流板连续的一个一个推送出去，进行进样，镀膜机构可以对多孔气体分流板进行均匀的镀膜，镀好膜的多孔气体分流板最后通过退火机构进行退火冷却，最终完成多孔气体分流板的镀膜。制备得到的多孔气体分流板可以广泛用于ALD,CVD,PECVD,MOCVD等半导体工艺设备中，不仅可以延长多孔气体分流板的使用寿命，而且可以改善所生长薄膜的质量，如均匀性，致密度等，降低制造商的生产成本。降低制造商的生产成本。降低制造商的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种多孔气体分流板镀膜系统


[0001]本专利技术涉及多孔气体分流板镀膜领域，尤其涉及一种多孔气体分流板镀膜系统。

技术介绍

[0002]多孔气体分流板是可以广泛用于ALD,CVD,PECVD,MOCVD等半导体工艺设备中，对前驱体进行均匀分散的部件，由于多孔气体分流板要与不同的前驱体进行接触，因此需要提高防腐蚀等性能，延长使用寿命，现有的一般通过对多孔气体分流板进行镀膜，以提高防腐蚀性能，在镀膜时，通常将多孔气体分流板浸润在镀膜剂槽中，让镀膜剂覆盖在多孔气体分流板表面，实现镀膜，但是多孔气体分流板表面均布有较多的通气孔，在浸润镀膜时，由于镀膜剂较为浓稠，因为表面张力过大，镀膜剂难以对通气孔内壁进行均匀镀膜，而导致通气孔内抗腐蚀能力较弱，容易被腐蚀，导致通气孔尺寸变化，会使多孔气体分流板无法均匀分散前驱体。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是在于提供一种多孔气体分流板镀膜系统，解决上述现有技术问题中的一个或者多个。
[0004]根据本专利技术的一个方面，提供一种多孔气体分流板镀膜系统，包括进样机构、镀膜机构和退火机构，进样机构能够将多孔气体分流板逐个输送至镀膜机构，镀膜机构对多孔气体分流板进行镀膜，退火机构对镀好膜的多孔气体分流板进行退火。
[0005]由此，进样机构能够将多孔气体分流板连续的一个一个推送出去，进行进样，镀膜机构可以对多孔气体分流板进行均匀的镀膜，镀好膜的多孔气体分流板最后通过退火机构进行退火冷却，最终完成多孔气体分流板的镀膜，制备得到的多孔气体分流板可以广泛用于ALD,CVD,PECVD,MOCVD等半导体工艺设备中，不仅可以延长孔气体分流板的使用寿命，而且可以改善所生长薄膜的质量，如均匀性，致密度等，进而降低制造商的生产成本。
[0006]在一些实施方式中：进样机构包括样盒、送样台和推送装置，样盒底部通过支撑脚设置于送样台，样盒底部设有出料口，出料口距离送样台台面的距离大于一块多孔气体分流板的厚度，且小于两块多孔气体分流板的厚度，推送装置将样盒内最下面一块多孔气体分流板推出。由此，样盒内可以储存较多的多孔气体分流板原料，推送装置将样盒内最下面一块多孔气体分流板推送到镀膜机构中，推送结束后，多孔气体分流板通过自身重力落下，原先最下面第二块落到最下面第一块的位置，如此反复，可以将样盒内的多孔气体分流板一个一个的进行送样，实现连续送样工作。
[0007]在一些实施方式中：推送装置包括电机、转盘、连杆和推送杆，电机驱动转盘旋转，连杆一端铰接转盘边缘处，另一端铰接推送杆一端，送样台设有滑槽，推送杆在滑槽内往复移动，推送杆的厚度小于等于一块多孔气体分流板的厚度。由此，电机驱动转盘旋转，转盘通过连杆带动推送杆前后往复移动，推送杆向前移动时将样盒内最下面一块多孔气体分流板推送出去，向后移动时，样盒内的多孔气体分流板向下落，实现将样盒内的多孔气体分流
板一个一个的推送到镀膜机构。
[0008]在一些实施方式中：镀膜机构包括镀膜输送带、升降平台、主轴、镀头安装座、镀头、镀膜剂输送旋转接头和第一驱动电机,升降平台设置于镀膜输送带正上方，主轴和第一驱动电机设置于升降平台，第一驱动电机驱动主轴旋转，镀头安装座设置于主轴下端，镀头设置于镀头安装座，镀膜剂输送旋转接头设置于主轴，主轴内设有镀膜剂输送管，镀膜剂输送管上端与镀膜剂输送旋转接头连通，下端与镀头连通。由此，通过升降平台能够对镀头进行上下移动，第一驱动电机驱动主轴旋转，进而带动镀头旋转，能够对多孔气体分流板进行均匀镀膜，镀膜输送带用于输送多孔气体分流板，且输送至镀头下方时，暂时停止，进行镀膜，镀膜完成时，镀膜输送带继续前进，镀膜剂输送旋转接头可以将镀膜剂输送至镀头上。
[0009]在一些实施方式中：多孔气体分流板上沿径向均布有出气孔，镀头内设有与出气孔对应设置的活动镀头，还包括驱动装置，驱动装置驱动活动镀头从镀头内旋转伸出。由此，活动镀头能够对多孔气体分流板的出气孔内壁进行均匀镀膜。
[0010]在一些实施方式中：镀头安装座设有与活动镀头对应设置的活动块，活动镀头对应设置于活动块，镀头安装座内设有供活动块上下移动的活动槽，活动槽上下具有开口，活动槽上下开口对活动块进行限位，活动镀头能够从下开口伸出，活动槽上开口设有能够吸住活动块的第一磁铁。由此，活动块能够带动活动镀头活动，使活动镀头从镀头内伸出，进入多孔气体分流板的出气孔内进行镀膜。
[0011]在一些实施方式中：驱动装置包括驱动平台、驱动杆组件、第二驱动电机，驱动杆组件为多个，与活动块对应设置，第二驱动电机设置于驱动平台，第二驱动电机驱动驱动杆组件，驱动杆组件包括驱动齿轮、升降杆、转杆和导向管，驱动齿轮可转动设置于驱动平台，在驱动平台上同一半径的驱动齿轮之间相互啮合，第二驱动电机驱动驱动齿轮转动，驱动齿轮中心设有螺纹孔，驱动平台设有与螺纹孔对应设置的穿孔，升降杆穿设于螺纹孔，并穿过驱动平台穿孔，升降杆设有与螺纹孔配合的螺纹，导向管设置于驱动平台下方，且对应驱动平台穿孔设置，升降杆下部伸入导向管内，转杆上端设置于升降杆下端，转杆相对于升降杆可转动设置，转杆上部位于导向管内，导向管内设有竖直导向块和螺纹导向槽，竖直导向块位于螺纹导向槽上方，升降杆下部侧面设有与竖直导向块配合的竖直导向槽，转杆上部侧面设有与螺纹导向槽配合的滑块；转杆下端设有第二磁铁，第二磁铁能够吸住活动块，转杆下端与第二磁铁之间设有缓冲橡胶垫。由此，第二驱动电机驱动驱动齿轮转动，驱动齿轮通过螺纹孔和螺纹配合，驱动升降杆上下移动，竖直导向块和竖直导向槽对升降杆起导向作用，升降杆带动转杆上下移动，通过滑块与螺纹导向槽的配合，转杆在上下移动的同时旋转，转杆通过第二磁铁与活动块之间形成可拆卸的固定连接，进而带动活动镀头在上下移动的过程中旋转，活动镀头能够对多孔气体分流板的出气孔进行均匀镀膜。
[0012]在一些实施方式中：镀头和活动镀头材质相同，均为海绵橡胶材质。由此，能够对多孔气体分流板进行均匀镀膜。
[0013]在一些实施方式中：退火机构包括退火输送带、退火通道、加热装置和热风风扇，退火输送带设置于退火通道内，退火输送带一端靠近镀膜机构设置，加热装置包括进风通道和加热陶瓷片，进风通道设置于退火通道内，加热陶瓷片设置于进风通道内，热风风扇设置于进风通道的出风口。由此，热风风机将经过加热陶瓷片加热的热空气送入到退火通道内，对镀好膜的载波片进行烘干。
[0014]在一些实施方式中：还包括散热通道、散热输送带、冷风风扇和散热风扇，散热通道与退火通道连通，散热输送带设置于散热通道内，散热输送带与退火输送带连接，冷风风扇设置于散热通道底部，且位于散热输送带下方，冷风风扇将冷风吹入散热通道内，散热风扇设置于散热通道顶部，将散热通道内的热量排出。由此，通过冷风风扇将冷空气从散热输送带底部送入，能够将温度较高的多孔气体分流板进行冷却，方便包装，散热风扇将与多孔气体分流板换热后的空气排出，提高冷却效果。
附图说明
[0015]图1是本专利技术一种多孔气体分流板镀膜系统的结构示意图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：包括进样机构(1)、镀膜机构(2)和退火机构(3)，所述进样机构(1)能够将多孔气体分流板逐个输送至所述镀膜机构(2)，所述镀膜机构(2)对所述多孔气体分流板进行镀膜，所述退火机构(3)对镀好膜的多孔气体分流板进行退火。2.根据权利要求1所述的一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：所述进样机构(1)包括样盒(101)、送样台(102)和推送装置(103)，所述样盒(101)底部通过支撑脚(104)设置于所述送样台(102)，所述样盒(101)底部设有出料口(105)，所述出料口(105)距离所述送样台(102)台面的距离大于一块多孔气体分流板的厚度，且小于两块多孔气体分流板的厚度，所述推送装置(103)将所述样盒(101)内最下面一块多孔气体分流板推出。3.根据权利要求2所述的一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：所述推送装置(103)包括电机(106)、转盘(107)、连杆(108)和推送杆(109)，所述电机(106)驱动所述转盘旋转(107)，所述连杆(108)一端铰接所述转盘(107)边缘处，另一端铰接所述推送杆(109)一端，所述送样台(102)设有滑槽，所述推送杆(109)在所述滑槽内往复移动，所述推送杆(109)的厚度小于等于一块多孔气体分流板的厚度。4.根据权利要求1所述的一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：所述镀膜机构(2)包括镀膜输送带(201)、升降平台(202)、主轴(203)、镀头安装座(204)、镀头(205)、镀膜剂输送旋转接头(206)和第一驱动电机(207),所述升降平台(202)设置于所述镀膜输送带(201)正上方，所述主轴(203)和第一驱动电机(207)设置于所述升降平台(202)，所述第一驱动电机(207)驱动所述主轴(203)旋转，所述镀头安装座(204)设置于所述主轴(203)下端，所述镀头(205)设置于所述镀头安装座(204)，所述镀膜剂输送旋转接头(206)设置于所述主轴(203)，所述主轴(203)内设有镀膜剂输送管(208)，所述镀膜剂输送管(208)上端与所述镀膜剂输送旋转接头(206)连通，下端与所述镀头(205)连通。5.根据权利要求4所述的一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：所述多孔气体分流板上沿径向均布有出气孔，所述镀头(205)内设有与所述出气孔对应设置的活动镀头(209)，还包括驱动装置，所述驱动装置驱动所述活动镀头(209)从所述镀头(205)内旋转伸出。6.根据权利要求5所述的一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：所述镀头安装座(204)设有与所述活动镀头(209)对应设置的活动块(210)，所述活动镀头(209)对应设置于所述活动块(210)，所述镀头安装座(204)内设有供所述活动块(210)上下移动的活动槽(211)，所述活动槽(211)上下具有开口，所述活动槽(211)上下开口对所述活动块(210)进行限位，所述活动镀头(209)能够从所述下开口伸出，所述活动槽(211)上开口设有能够吸住所述活动块(210)的第一磁铁(212)。7.根据权利要求6所述的一种多孔气体分流板镀膜系统，其特征在于：所述驱动装置包括驱动平台(213)、驱动杆组件(227...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海飞，张洪国，王浩增，焦恒刚，
申请(专利权)人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：