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本申请公开了一种多孔气体分流板镀膜系统，包括进样机构、镀膜机构和退火机构，进样机构能够将多孔气体分流板逐个输送至镀膜机构，镀膜机构对多孔气体分流板进行镀膜，退火机构对镀好膜的多孔气体分流板进行退火。由此，进样机构能够将多孔气体分流板连续的一...
该专利属于江苏鹏举半导体设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鹏举半导体设备技术有限公司授权不得商用。

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