本实用新型专利技术提供一种增强型静电驻极过滤装置，包括风源、高压驻极组件、绝缘过滤组件和均流接地板，所述高压驻极组件、绝缘过滤组件和均流接地板按照气流方向依次设置在风源的出风口上，其中，风源用于提供空气流动的动力；高压驻极组件用于调整绝缘过滤组件对空气中异物的拦截效率；绝缘过滤组件用于对空气中异物实现物理拦截；均流接地板用于为高压驻极组件提供电压基准以及对过滤后的空气净化性能进行检测及气流搅匀。该过滤装置在过滤制程上集成了绝缘过滤组件和高压驻极组件，通过高压驻极组件可以对绝缘过滤组件进行静电驻极，使绝缘过滤组件可重复使用，提高了绝缘过滤组件的使用寿命、过滤效率以及可控性。过滤效率以及可控性。过滤效率以及可控性。
【技术实现步骤摘要】
增强型静电驻极过滤装置
[0001]本技术涉及静电防护与电子制程用设备
，特别是涉及一种增强型静电驻极过滤装置。
技术介绍
[0002]在电子行业精密制程中，对空间环境的洁净度有较高要求。目前环境的洁净度管控通过两种方式来实现，第一种是单纯使用放置于顶部的玻纤材质的空气过滤单元进行物理拦截来完成，第二种是在第一种基础上对玻纤材质的空气过滤单元进行静电驻极，使过滤材料带电，从而形成物理拦截和静电吸引力的双重除尘作用。
[0003]针对第一种情况，要达到这样的洁净度要求，就必须将内部过滤单元孔径做小做密来实现。但是这种需要增大过滤单元顶部的风扇功率来实现，同时也会带来噪音、震动和气流扰动流等因素影响洁净室的管控要求。
[0004]针对第二种情况，在过滤单元上做的静电驻极一般是一次性的，容易受到空气的湿气、水气等外界因素影响而失效，随着使用时间的延长会逐渐衰减。
技术实现思路
[0005]本技术所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中单纯物理过滤和一次性驻极过滤的不足，本技术提供一种增强型静电驻极过滤装置。
[0006]本技术解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种增强型静电驻极过滤装置，包括风源、高压驻极组件、绝缘过滤组件和均流接地板，优选采用风机作为风源；高压驻极组件、绝缘过滤组件和均流接地板按照气流方向依次设置在风源的出风口上，其中，风源用于提供空气流动的动力；高压驻极组件用于调整绝缘过滤组件对空气中异物的拦截能力；绝缘过滤组件用于对空气中异物实现物理拦截；均流接地板用于为高压驻极组件提供电压基准以及对过滤后的空气净化性能进行检测及气流搅匀的作用。该过滤装置在过滤制程上集成了绝缘过滤组件的物理过滤与可重复使用的静电驻极过滤，当绝缘过滤组件由于带电离子的流失导致过滤效果下降时，可以采用高压驻极组件对绝缘过滤组件上的电荷进行补充，从而恢复其过滤能力。该过滤装置由单纯滤材的物理拦截变成滤材物理拦截和可重复使用的静电驻极技术相结合来实现过滤功能，提高了过滤的效率以及过滤的可控性。
[0007]具体的，所述高压驻极组件包括与高压电源连接的放电网，所述放电网的边缘设有绝缘框架，所述绝缘框架上设有安装孔。其中，与放电网连接的高压电源可以是正高压电源也可以是负高压电源，通过与均流接地板之间形成电压差而产生放电电晕，从而恢复绝缘过滤组件的过滤能力，实现重复使用。
[0008]具体的，所述均流接地板为网格状结构，包括均流网，所述均流网的边缘设置绝缘框，所述绝缘框上设置有安装孔。均流接地板与整个过滤装置的地连接。
[0009]过滤器根据过滤粒径的大小可以分为：
[0010]初效过滤器：主要用于过滤5μm以上尘埃粒子。
[0011]中效过滤器：主要用于过滤1
‑
5um以上尘埃粒子。
[0012]高效过滤器：主要用于捕集0.5um以下的颗粒灰尘及各种悬浮物，过滤效率高回、阻力低、容尘量大。
[0013]作为优选，所述绝缘过滤组件采用中/低效过滤器。
[0014]进一步，所述过滤装置能够吸附的异物粒径范围为：0.1～5um。可以有效降低过滤材的厚度，从而降低风阻，降低使用功率，节能降耗。
[0015]改进之前是单纯使用放置于顶部的空气过滤单元这种物理拦截来完成，或者使用过滤单元+一次性静电驻极来完成。改进之后是使用过滤单元+可重复使用的静电驻极来共同完成吸附异物的功能。在此情况下，过滤单元可以使用中低过滤器，相比之前使用的高效过滤器厚度降低。
[0016]进一步，为了同时实现节能和洁净度的要求，还包括粒子检测单元，所述粒子检测单元的粒子检测点设置在均流接地板的下游位置，用于检测经过过滤后的出风口处的空气是否符合洁净度管控要求。发现过滤效果不符合现场洁净度管控要求，启动静电驻极装置对过滤层进行驻极，直到满足管控要求后自动停止。启动方式可以通过自动启动、手动按钮启动、遥控器启动这三种方式来启动静电驻极。
[0017]进一步，为了提高安全性，还包括漏电流检测单元，所述漏电流检测单元包括检测电阻和电流表，检测电阻和电流表串联在高压驻极组件与均流接地板之间，用于检测高压驻极装置对地漏电流。在电流超过预设值以后自动断电并报警提示检查。
[0018]进一步，还包括限流电阻，所述限流电阻设置在高压电源和高压驻极组件之间，确保驻极电路安全和可靠性。
[0019]本技术的有益效果是：
[0020](1)该过滤装置在过滤制程上集成了绝缘过滤组件的物理过滤与可重复使用的静电驻极过滤，由单纯滤材的物理拦截变成滤材物理拦截和可重复使用的静电驻极技术相结合来实现过滤功能，提高了过滤的效率以及过滤的可控性；
[0021](2)通过调整和控制静电驻极的参数，可以使电晕放电集尘有效吸附小粒径的异物，有效降低过滤材的厚度，降低风阻以及功率；
[0022](3)通过增加粒子检测单元监控过滤效果，以满足洁净度管控要求；
[0023](4)通过增加限流电阻和漏电流检测单元提高过滤装置的安全性能。
附图说明
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。
[0025]图1是本技术过滤装置的装配结构示意图。
[0026]图2是本技术过滤装置的爆炸结构示意图。
[0027]图3是高压驻极组件的结构示意图。
[0028]图4是均流接地板的结构示意图。
[0029]图5是粒子检测单元和漏电流检测单元的原理示意图。
[0030]图中：1、风源，11、安装框架，2、高压驻极组件，21、放电网，22、绝缘框架，23、安装孔，3、绝缘过滤组件，4、均流接地板，41、均流网，42、绝缘框，43、安装孔，5、粒子检测点，6、漏电流检测单元，61、检测电阻， 62、电流表，7、高压电源的正极，8、高压电源的负极。
具体实施方式
[0031]现在结合附图对本技术作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0032]如图1和图2所示，本技术的一种增强型静电驻极过滤装置，该过滤装置在过滤制程上集成了绝缘过滤组件3的物理过滤与可重复使用的静电驻极过滤，其具体结构包括风源1、高压驻极组件2、绝缘过滤组件3和均流接地板 4，其中，风源1用于提供空气流动的动力，作为风源1的设备包括但不限于风机，风机的出风口的边缘设置安装框架11用于安装固定其他组件；高压驻极组件2、绝缘过滤组件3和均流接地板4按照气流方向依次设置在风源1的出风口上；高压驻极组件2用于调整绝缘过滤组件3对空气中异物的拦截效率；绝缘过滤组件3用于对空气中异物实现物理拦截，绝缘过滤组件3采用中/低效过滤器；均流接地板4用于为高压驻极组件2提供电压基准以及对过滤后的空气净化性能进行检测及气流搅匀的作用。
[0033]由单纯滤材的物理拦截变成滤材物理拦截和可重复使用的静电驻极技术相结合来实现本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种增强型静电驻极过滤装置，其特征在于：包括风源、高压驻极组件、绝缘过滤组件和均流接地板，所述高压驻极组件、绝缘过滤组件和均流接地板按照气流方向依次设置在风源的出风口上，其中，风源用于提供空气流动的动力；高压驻极组件用于调整绝缘过滤组件对空气中异物的拦截能力；绝缘过滤组件用于对空气中异物实现物理拦截；均流接地板用于为高压驻极组件提供电压基准以及对过滤后的空气净化性能进行检测及气流搅匀。2.如权利要求1所述的增强型静电驻极过滤装置，其特征在于：所述高压驻极组件包括与高压电源连接的放电网，所述放电网的边缘设有绝缘框架，所述绝缘框架上设有安装孔。3.如权利要求1所述的增强型静电驻极过滤装置，其特征在于：所述均流接地板为网格状结构，包括均流网，所述均流网的边缘设置绝缘框，所述绝缘框上设置有安装孔。4.如权利要求1所述的增强型静电驻极过滤装置，其特征在于：所述绝缘过滤组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：王荣刚，成玉磊，王洪万，邱吉文，
申请(专利权)人：苏州天华超净科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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