静电消除器用放电针部署结构及其静电消除器制造技术

本实用新型专利技术提供一种静电消除器，包括进风口、出风口以及放电针部署结构，放电针部署结构包括正极放电针和负极放电针，正极放电针和负极放电针设置在进风口和出风口之间，且正极放电针部署在靠近进风口位置一侧，负极放电针部署在靠近出风口位置一侧；所述负极放电针到出风口的距离a为10~60mm；所述正极放电针和负极放电针之间在风向上的距离b为5~30mm；所述正极放电针到进风口的距离c为5~30mm。通过合理部署好正负放电针的结构，使正负放电针能够均衡放电，以解决正离子放电针烧蚀严重的问题，保证静电消除器性能。保证静电消除器性能。保证静电消除器性能。

【技术实现步骤摘要】
静电消除器用放电针部署结构及其静电消除器


[0001]本技术涉及静电防护与电子制程用设备
，特别是涉及一种静电消除器用放电针部署结构及其静电消除器。

技术介绍

[0002]随着制程精密化程度的提升，产品对于静电放电(esd)事件耐受等级持续降低。静电消除器得到越来越广泛的应用。对于静电消除器而言，除了按照标准进行的离子平衡电压和衰减事件的测试外，其长期耐用性和耐候特性是非常重要的两个性能指标。直流静电消除器采用双电源方式供电，而正负离子产生的机理是不同，电子的产生是采用空气击穿电子雪崩方式产生，而正离子的产生是靠正极放电针产生的强场强诱导电子向其冲撞，进而让正离子留在原地向反方向运行的方式，这样就会造成正离子放电针烧蚀严重，进而影响离子平衡电压参数。同样的，由于正负离子产生机制的不同，也会造成同样的湿度变化对其造成不同影响，进而影响静电消除器性能。
[0003]以上特性为基础物理特性，无法彻底避免，目前主流的手段为通过采用调节电路来实现正负放电电压的调整，进而达成一个平衡状态。但这个方式的问题非常明显：
[0004](1)因为是后期补偿的方式，会存在失调的情况；
[0005](2)对于高度依赖采集电路的精度，但作为一个非接触式和非稳定定量测量方式，其精度很难确保，且反应速度也很难确保；
[0006](3)在失调情况下，需要人员介入调整；如调整不及时，会有成为静电危险源的可能。
[0007]由于正负电晕放电的机制不同，随着放电时间的延长，造成正负放电针的烧蚀差异越来越大。<br/>
技术实现思路

[0008]本技术所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中的不足，本技术提供一种静电消除器用放电针部署结构及其静电消除器，从放电针的放置位置考虑解决放电针烧蚀的问题。
[0009]本技术解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种静电消除器用放电针部署结构，所述静电消除器包括进风口和出风口，所述放电针部署结构包括正极放电针和负极放电针，所述正极放电针和负极放电针设置在进风口和出风口之间，且所述正极放电针部署在靠近进风口位置一侧，所述负极放电针部署在靠近出风口位置一侧；所述负极放电针到出风口的距离a为10～60mm；所述正极放电针和负极放电针之间在风向上的距离b为5～30mm；所述正极放电针到进风口的距离c为5～30mm。
[0010]进一步，所述距离a与距离b的比值为2:1～4:1之间，距离c与距离b之间比值为1.5:1～3:1之间。
[0011]进一步，所述正极放电针和负极放电针上施加的电压差为300
‑
1500V。
[0012]进一步，所述正极放电针和负极放电针错层放置。错层放置指的是正极放电针所处的平面和负极放电针所处的平面之间的距离大于0。
[0013]一种静电消除器，包括上述的放电针部署结构。
[0014]进一步，还包括发射针架，所述正极放电针和负极放电针均设置在发射针架上，且所述正极放电针沿周向分布在发射针架的第一轴截面上，所述负极放电针沿周向分布在发射针架的第二轴截面上，所述第一轴截面和第二轴截面之间的距离为b。
[0015]进一步，还包括外壳，所述进风口和出风口设置在外壳相对的两侧面上，所述发射针架设置在外壳内，且位于进风口和出风口之间。
[0016]进一步，所述进风口上设有进风口防护网罩，所述出风口上从外到内依次设有反馈网罩和接地网罩。
[0017]其中，进风口防护网罩的作用有三点：(1)安全保护，避免操作人员手指不会被放电针/风扇打到；(2)防止物品进入，防止大的物体碰到风扇，避免风扇吸入质量轻体积大的物品；(3)控制风道：风扇采用自扇冷，有风罩能够使风顺着风罩与散热片的缝隙(圆周分布)吹出，从而带走散热片的热量，提高散热效果。
[0018]反馈金属网，布置在出风口处，收集出风口处产生的正负离子，并提供给主控电路板的采集电路。
[0019]接地金属网，作用为滤除发射针架放电的EMI和安全防护。
[0020]进一步，还包括天线，所述天线设置在进风口一侧的外壳上，用于无线信号的收发。
[0021]进一步，还包括支架，所述支架设置在外壳底部。
[0022]本技术的有益效果是：本技术提供的一种静电消除器用放电针部署结构及其静电消除器，通过合理部署好正负放电针的结构，有效的降低了长期运行时正极的放电电压，使正负放电针能够均衡放电，从而减缓其烧蚀，以解决正离子放电针烧蚀严重的问题，保证静电消除器性能；另外，采用合理化构型方案，最大限度的降低了调整电路的工作压力，在其无调整电路干预时，仍能有较好的耐候特性和从而可以让调整电路调整范围降低，从而提高其调整精度。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明。
[0024]图1是静电消除器的立体结构示意图。
[0025]图2是静电消除器的轴截面结构示意图。
[0026]图3是本技术在无调整电路时的性能。
[0027]图4是本技术在无调整电路时的性能。
[0028]图中：1、负极放电针，2、正极放电针，3、发射针架，4、出风口，5、进风口， 6、反馈网罩，7、接地网罩，8、进风口防护网罩，9、天线，10、外壳，11、支架。
具体实施方式
[0029]现在结合附图对本技术作详细的说明。此图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0030]如图1和图2所示，本技术的一种静电消除器，包括外壳10以及设置在外壳10内部的针架组件，外壳10上设有进风口5和出风口4，进风口5上设有进风口防护网罩8，所述出风口4上从外到内依次设有反馈网罩6和接地网罩 7，针架组件设置在进风口5和出风口4之间。
[0031]针架组件包括发射针架3、正极放电针2和负极放电针1，正极放电针2和负极放电针1均设置在发射针架3上，且正极放电针2为多个并沿周向分布在发射针架3的第一轴截面上，负极放电针1与正极放电针2数量相同也为多个并沿周向分布在发射针架3的第二轴截面上，第一轴截面靠近出风口4位置一侧，第二轴截面靠近进风口5位置一侧，并且正极放电针2和负极放电针1错层放置，即第一轴截面和第二轴截面之间的距离大于0。第一轴截面和第二轴截面之间的距离即为正极放电针2和负极放电针1之间在风向上的距离b，优选b 的取值为5～30mm，这样放置正极放电针2和负极放电针1，可以使正极放电针2上施加的电压低于负极放电针1上施加的电压，电压差为300
‑
1500V；第一轴截面到出风口4的距离即为负极放电针1到出风口4的距离a，作为优选a的取值为10～60mm，第二轴截面到进风口5的距离即为正极放电针2到进风口5的距离c，作为优选c的取值为5～30mm；并且距离a与距离b的比值在2:1～4:1 之间；距离c与距离b之间比值为1.5:1～3:1之间。上述进风口5、出风口4、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电消除器用放电针部署结构，其特征在于：所述静电消除器包括进风口和出风口，所述放电针部署结构包括正极放电针和负极放电针，所述正极放电针和负极放电针设置在进风口和出风口之间，且所述正极放电针部署在靠近进风口位置一侧，所述负极放电针部署在靠近出风口位置一侧；所述负极放电针到出风口的距离a为10～60mm；所述正极放电针和负极放电针之间在风向上的距离b为5～30mm；所述正极放电针到进风口的距离c为5～30mm。2.如权利要求1所述的静电消除器用放电针部署结构，其特征在于：所述距离a与距离b的比值为2:1～4:1之间，距离c与距离b之间比值为1.5:1～3:1之间。3.如权利要求2所述的静电消除器用放电针部署结构，其特征在于：所述正极放电针和负极放电针上施加的电压差为300
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1500V。4.如权利要求2所述的静电消除器用放电针部署结构，其特征在于：所述正极放电针和负极放电针错层放置。5.一种静电...

【专利技术属性】
技术研发人员：王荣刚，唐军，成玉磊，王洪万，
申请(专利权)人：苏州天华超净科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：