一种立式真空电镀柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种立式真空电镀柜，包括柜体、立柱、锁死机构以及多个放置架，所述立柱竖直设置于所述柜体内，所述立柱上沿自身长度方向滑动设置有多个调节部，所述调节部上设置有电极，所述电极上设置有靶材，所述锁死机构用于所述调节部滑动至设定位置时锁死所述调节部，多个所述放置架竖直设置于所述柜体内并沿周向排布于所述立柱的周侧，所述放置架能够绕自身轴心转动。根据本实用新型专利技术实施例的立式真空电镀柜，对工件表面进行镀膜时，镀膜效率高，镀膜更加均匀，镀膜质量好。镀膜质量好。镀膜质量好。

【技术实现步骤摘要】
一种立式真空电镀柜


[0001]本技术涉及一种电镀装置，特别涉及一种立式真空电镀柜。

技术介绍

[0002]真空电镀柜是用于对工件表面进行镀膜的装置，需要对工件表面进行镀膜时，将待电镀工件放置于真空电镀柜内，之后加热真空电镀柜内的靶材，靶材挥发并且沉降在待电镀工件的表面，靶材通过成膜过程即可形成薄膜。现有的真空电镀柜虽然能够对工件进行镀膜，但是镀膜效率低，而且容易造成工件表面镀膜不均匀，进而导致镀膜质量差。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种立式真空电镀柜，对工件表面进行镀膜时，镀膜效率高，镀膜更加均匀，镀膜质量好。
[0004]根据本技术实施例的立式真空电镀柜，包括：
[0005]柜体；
[0006]立柱，竖直设置于所述柜体内，所述立柱上沿自身长度方向滑动设置有多个调节部，所述调节部上设置有电极，所述电极上设置有靶材；
[0007]锁死机构，用于所述调节部滑动至设定位置时锁死所述调节部；
[0008]多个放置架，竖直设置于所述柜体内并沿周向排布于所述立柱的周侧，所述放置架能够绕自身轴心转动。
[0009]根据本技术实施例的立式真空电镀柜，至少具有如下技术效果：
[0010]需要对工件进行镀膜时，将工件放置或者安装于放置架上，之后将电极连通电源，电极进而能够加热靶材，靶材挥发并沉降在工件表面，靶材通过成膜过程即可形成薄膜。根据本技术实施例的立式真空电镀柜，由于放置架能够绕自身轴心转动，进而放置架上的工件能够绕放置架的轴心转动，从而使得工件各个方位的表面均能够依次朝向立柱，从而能够对工件进行均匀且全面地电镀，消除电镀盲区，提高了镀膜效率和镀膜质量。此外，调节部能够上下滑动地设置于立柱上，进而能够根据实际需求调节各靶材之间的距离，例如，当工件较少时，可以将工件集中放置或者安装于放置架上的同一区域内，并滑动调节部，使得各靶材均处于靠近工件的位置，之后加热靶材，靶材即可集中对工件进行镀膜，不仅镀膜所需时间更少，而且能够减少靶材的浪费。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述放置架包括竖直并转动设置于所述柜体底端的支撑杆，所述支撑杆的周侧沿周向设置有多个平行于所述支撑杆的安装杆，所述安装杆沿自身长度方向设置有多个用于安装工件的安装部。进而能够安装更多的工件，不仅使得电镀效率更高，此外，还能够减少各工件之间的接触，从而能够进一步减少电镀盲区。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述安装杆能够拆卸地设置于所述支撑杆的周侧。进而不仅安装工件时更加方便和省力，而且可以提前在柜体外将待电镀工件安装于安装部上，从而能够减少工作人员处于柜体内的时间，更加有利于工作人员的身体健康。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述支撑杆顶端的侧壁上沿周向设置有多个第一安装条，所述第一安装条上设置有多个第一插孔，所述支撑杆底端的侧壁上对应设置有多个第二安装条，所述第二安装条上对应设置有多个第二插孔，所述安装杆的顶端插设于所述第一插孔内，所述安装杆的底端插设于对应的所述第二插孔内。不仅使得工件的安装更加方便和省力，而且更有利于工作人员的身体健康，此外，安装杆能够选择插入到不同的第一插孔和第二插孔内，从而可根据工件的形状和大小调节定位位置，避免因靶材离待电镀工件过远或过近产生电镀质量问题。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述安装杆底端的侧壁上设置有凸缘，所述凸缘承载于对应的所述第二安装条的上端。进而不仅能够防止安装杆在自身重力作用下朝下移动，而且使得安装杆的直径可以小于第一插孔和第二插孔的内径，进而使得安装杆的安装更加方便。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述安装杆于所述凸缘下方的侧壁上设置有外螺纹，所述外螺纹上螺纹连接有螺母。当凸缘承载于对应的第二安装条的上端时，套上并拧紧螺母，从而能够防止安装杆沿竖直方向随意移动。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述柜体上设置有驱动机构，所述驱动机构用于驱动所述支撑杆转动。通过驱动机构驱动支撑杆转动，自动化程度更高，操作更加简单，更加省时省力。
[0017]根据本技术的一些实施例，所述驱动机构包括竖直设置于所述柜体底端的驱动电机，所述驱动电机的输出轴上同轴设置有驱动齿轮，所述支撑杆上同轴设置有从动齿轮，所述驱动齿轮与所有的所述从动齿轮均啮合。启动驱动电机即可同时控制所有的支撑杆转动，操作简单方便。
[0018]根据本技术的一些实施例，所述调节部上设置有滑孔并通过所述滑孔滑动套设于所述立柱外，所述调节部能够从所述立柱的顶端滑动取出。不仅使得调节部滑动更加平顺，而且需要对调节部、电极进行维修或者更换时拆装更加方便。
[0019]根据本技术的一些实施例，所述锁死机构包括设置于所述调节部上的第一螺纹孔以及螺纹连接于所述第一螺纹孔上的锁紧螺栓，所述立柱沿自身长度方向设置有多个第二螺纹孔，所述锁紧螺栓于所述调节部滑动至设定位置时能够转动并与其中一个所述第二螺纹孔螺纹连接。从而能够避免在正常的电镀过程中调节部随意滑动而影响电镀效果。
[0020]根据本技术的一些实施例，所述柜体的顶端设置有排放口，所述排放口连接有真空泵。真空泵能够抽走柜体内多余的电镀挥发物，从而能够避免电镀挥发物直接排放至外界而污染空气。
[0021]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0022]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0023]图1为本技术的整体结构示意图；
[0024]附图标记：
[0025]柜体100、排放口101；立柱200、调节部201、电极202、第二螺纹孔203；锁死机构300；放置架400、支撑杆401、安装杆402、安装部403、第一安装条404、第一插孔405、第二安装条406、第二插孔407、凸缘408、螺母409；驱动机构500、驱动电机501、驱动齿轮502、从动齿轮503。
具体实施方式
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式真空电镀柜，其特征在于，包括：柜体(100)；立柱(200)，竖直设置于所述柜体(100)内，所述立柱(200)上沿自身长度方向滑动设置有多个调节部(201)，所述调节部(201)上设置有电极(202)，所述电极(202)上设置有靶材；锁死机构(300)，用于所述调节部(201)滑动至设定位置时锁死所述调节部(201)；多个放置架(400)，竖直设置于所述柜体(100)内并沿周向排布于所述立柱(200)的周侧，所述放置架(400)能够绕自身轴心转动。2.根据权利要求1所述的立式真空电镀柜，其特征在于，所述放置架(400)包括竖直并转动设置于所述柜体(100)底端的支撑杆(401)，所述支撑杆(401)的周侧设置有多个平行于所述支撑杆(401)的安装杆(402)，所述安装杆(402)沿自身长度方向设置有多个用于安装工件的安装部(403)。3.根据权利要求2所述的立式真空电镀柜，其特征在于，所述安装杆(402)能够拆卸地设置于所述支撑杆(401)的周侧。4.根据权利要求3所述的立式真空电镀柜，其特征在于，所述支撑杆(401)顶端的侧壁上沿周向设置有多个第一安装条(404)，所述第一安装条(404)上设置有多个第一插孔(405)，所述支撑杆(401)底端的侧壁上对应设置有多个第二安装条(406)，所述第二安装条(406)上对应设置有多个第二插孔(407)，所述安装杆(402)的顶端插设于所述第一插孔(405)内，所述安装杆(402)的底端插设于对应的所述第二插孔(407...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈良方，
申请(专利权)人：江门市江海区鸿泰塑胶制品有限公司，
类型：新型
国别省市：