【技术实现步骤摘要】
一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺
[0001]本专利技术涉及靶材生产加工
,尤其涉及一种使用铟锡混合材料靶材绑定工艺。
技术介绍
[0002]平面旋转的金属及陶瓷靶材,在磁控溅射过程中,需要将材料焊接到Cu、Ti的背板或背管上,再安装中溅射镀膜机上使用。专利号CN109136868A公开了一种ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法,通过使用铟来绑定ITO的靶坯和背板,所得到的ITO靶材或其他陶瓷靶材的冷却及电接触性能良好、导热性能良好,但铟的材料属于贵金属,使用成本高,并且铟在熔化后容易氧化,在绑定过程中会造成5
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15%的损耗,因此解决这个问题就变得很重要了。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是提供一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺,通过采用铟锡混合材料,以锡为主体,减少了铟的使用量,降低了生产成本,解决了使用铟成本较高的问题。
[0004]本专利技术提供一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺,包括以下步骤,步骤1,将金属化后的靶材和背板放置在加热台上进行升温加热;步骤2,将铟和锡分别放置到加热炉内进行加热熔化;步骤3,按比例将熔化的铟倒入熔化的锡中,加入金属丝,使用自动搅拌机进行搅拌混合;步骤4,将搅拌均匀的铟锡混合材料放置在靶材和背板之间,再逐步降温冷却。
[0005]进一步改进在于:所述铟和锡配比为3~7:7~3。
[0006]进一步改进在于:所述靶材和背板采用逐步升温方式进行加热,升温加热至250℃,升温速度为2min/℃以内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺,其特征在于,包括以下步骤,步骤1,将金属化后的靶材和背板放置在加热台上进行逐步升温加热;步骤2,将铟和锡分别放置到加热炉内进行加热熔化;步骤3,按比例将熔化的铟倒入熔化的锡中,加入金属丝,使用自动搅拌机进行搅拌混合;步骤4,将铟锡混合材料涂布在靶材和背板之间;步骤5,将靶材和背板定位压实,再逐步降温冷却。2.如权利要求1所述的一种使用铟锡混合材料的靶材绑定工艺,其特征在于:所述铟和锡配比为3~7:7~3。3.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾墩风,王志强,王振宏,
申请(专利权)人:芜湖映日科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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