一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法技术

本发明专利技术涉及靶材技术领域，具体涉及一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法。本发明专利技术的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)原料选择、(2)混合砂磨、(3)喷雾造粒、(4)冷压成型、(5)烧结。本发明专利技术的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，通过将氧化锌粉末和氧化钽粉末掺杂在氧化锡粉末中，一方面，使得靶材整体的致密化程度得到了提升，进而能提高其力学性能，另一方面，使得其电阻率得到大幅降低，使得靶材具有优异的导电性；通过控制烧结时的保温时间，进而控制靶材的电阻率，在导电薄膜和化学气敏传感器等领域有广泛的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材，尤其涉及一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法。

技术介绍

1、金属氧化物透明导电薄膜由于对可见光具有很高的透过率(＞85％)、低电阻率等优异的光电性能，因而在平板显示器、太阳能电池、透明电磁屏蔽和抗静电装置、电阻式触摸屏以及生物传感器等领域得到广泛的应用。其中使用最多的透明导电薄膜是锡掺杂氧化铟(indiumtinoxide，简称ito)薄膜。尽管ito透明导电薄膜在很多领域应用广泛，但是由于其制备工艺复杂、高温稳定性差(在较高温度使用时存在铟扩散的问题，会影响器件的性能)、成本高(铟是贵重金属，自然储量很少)等缺点，因而大大限制了其应用范围。

2、专利技术文献公开了cn202110146360.2一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法，原料按照质量百分比，由氧化锡及氧化镓高纯纳米粉末组成，其组分比例为氧化镓2％-10％，氧化锡90％-98％。粉末称量混合后加入聚丙烯酸铵，聚乙烯醇及纯水，混合浆料经球磨后造粒干燥，得到混合粉末依次使用油压机，静压机压制成型，之后使用脱脂，多步烧结一体化烧结技术在不同烧结温度下制备了氧化镓本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述氧化锡、氧化钽、氧化锌、去离子水、分散剂、粘接剂和消泡剂的重量百分比为92％-99.8％：0.1％-5％：0.1％-3％：46％-52％：0.1％-0.6％：1％-5％：0.05％-0.1％。

3.根据权利要求1所述的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述砂磨的研磨介质材料的直径为0.1-0.8mm，主机转速为580-850rpm，双罐研磨遍数为4-7遍、研磨时间为6-8h。...

【技术特征摘要】

1.一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述氧化锡、氧化钽、氧化锌、去离子水、分散剂、粘接剂和消泡剂的重量百分比为92％-99.8％：0.1％-5％：0.1％-3％：46％-52％：0.1％-0.6％：1％-5％：0.05％-0.1％。

3.根据权利要求1所述的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述砂磨的研磨介质材料的直径为0.1-0.8mm，主机转速为580-850rpm，双罐研磨遍数为4-7遍、研磨时间为6-8h。

4.根据权利要求1所述的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志强，曾墩风，曾探，陈光园，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：