本发明属于平面靶材技术领域，涉及一种平面铜靶胚自动校正平整度及侧弯的方法；将平面铜靶胚吊装至自动校平及侧弯设备检验平台上，左旋转夹爪和右旋转夹爪夹取平面铜靶胚并进行翻面，尺寸感应器检测平面铜靶胚此面各区间的平整度或侧弯，系统记录各面各区...

本发明涉及靶材及靶材制备领域，具体涉及一种氧化钽旋转溅射靶材及其制备方法，所述氧化钽旋转溅射靶材的制备包括以下步骤：S1.向氧化钽粉末中加入钽粉，得到混合粉；S2.对背管表面进行喷砂粗化，然后进行打底；S3.将打底后的背管用混合粉进行等...

本技术提供了一种ITO靶材涂铟装置，包括加热箱，加热箱的两端均设置有超声发生装置，加热箱的两端均开设有加工孔，超声发生装置上设置有超声涂杆，还包括驱动辊，转动连接设置在加热箱内，驱动辊的一端设置有第一电机，第一电机固定设置在加热箱；从动...

本技术涉及靶材加工的领域，公开了一种平面靶材绑定边距定位可调工装，包括工作台，工作台的顶面固定有背板，背板的顶面开设有刻度，背板的放置有靶材本体，工作台的顶面可拆卸的设置有支撑条，支撑条的一侧开设有第一螺纹孔，第一螺纹孔的内部螺纹连接有...

本技术涉及真空熔炼炉加工技术领域，具体涉及一种底注式真空熔炼炉放料改善系统，包括熔炼室、坩埚和铸模室，坩埚的底部穿设有流嘴，流嘴与坩埚固定连接，流嘴的两端分别设有进料口和出料口，进料口设置在坩埚的内部，流嘴内部的一处呈缩口状延伸至出料口...

本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种平面铜靶材的制备方法及应用其的磁控溅射方法，步骤S1：制备高纯无氧铜杆；步骤S2：连续挤压所述无氧铜杆以形成坯料，并在挤压过程中对所述坯料进行防氧化保护；步骤S3：待所述坯料冷却至室温后进行单道次...

本发明涉及金属靶材技术领域，具体涉及一种银合金靶材晶粒均匀化的轧制退火控制工艺

本发明涉及太阳能行业技术所使用靶材技术领域，具体涉及一种高密度氧化锌掺杂无铟靶材及其制备方法，本发明提供的具有高密度氧化锌掺杂无铟靶材的制备方法包括如下步骤：

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种叠烧方式烧结

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种稀土掺杂

本发明属于靶材制造技术领域，涉及一种高密度低迁移率的氧化铟锌稀土掺杂靶材的制备方法，步骤

本发明涉及靶材技术领域，尤其涉及一种氧化锌锡靶材的制备工艺

本发明涉及金属靶材技术领域，具体涉及一种超大尺寸银合金靶材及其制备方法

本发明涉及金属材料加工方法技术领域，具体涉及一种用于溅射用的异型银靶的制造方法，包括以下操作步骤：将高纯阴极银原料经过水平连铸

本发明涉及金属材料成形技术领域，具体涉及一种高纯铜旋转靶材的制造方法，包括以下操作步骤：将采用真空熔炼

本实用新型涉及靶材绑定技术领域，具体涉及一种旋转ITO靶材扩缝装置，包括：移动机构，其固定连接于抛光机本体上；固定架，其固定连接于移动机构上，所述固定架表面对称开设有滑槽；扩缝机构，其贯穿转动连接于滑槽内；所述扩缝机构包括运动部和扩缝部...

本发明涉及无损探伤技术领域，具体涉及一种大尺寸金属锭的探伤方法，包括对熔炼后的金属锭进行表面清洁，而后用机床对金属锭进行车削加工直至其达到光腚状态，确保车削加工后金属锭表面的光洁度和光亮度满足检测要求，对金属锭的冒口端进行再确认，确保其...

本发明涉及支撑工装技术领域，具体涉及一种ITO靶材外径研磨定位支撑工装及使用方法，包括转动轴，以及设置于转动轴外围的多个单体支撑工装；所述单体支撑工装包括：涨紧套筒；缓冲限位组件；锥度销，活动插接于穿入孔内部两端；通过在各个单体支撑工装...

本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种氧化铟锡靶材强度增加的烧结工艺方，使用碳化硅横梁+氧化铝垫片的方式代替传统的氧化铝承烧板+氧化铝垫片，并且使用梯度升温烧结，之后烧结降温速率为0.4