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一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法技术
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文档序号:41454358
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本发明涉及靶材技术领域,具体涉及一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法。本发明的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)原料选择、(2)混合砂磨、(3)喷雾造粒、(4)冷压成型、(5)烧结。本发明的具有良好导电性的氧化锡...
该专利属于芜湖映日科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芜湖映日科技股份有限公司授权不得商用。
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