下载一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法的技术资料

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本发明涉及靶材技术领域,具体涉及一种具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法。本发明的具有良好导电性的氧化锡靶材的制备方法,包括以下步骤:(1)原料选择、(2)混合砂磨、(3)喷雾造粒、(4)冷压成型、(5)烧结。本发明的具有良好导电性的氧化锡...
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