利用可变扩散板的光学系统技术方案

根据本公开的一实施例，公开用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置。上述缺陷检查装置可包括：照明系统，设置有光源及可变扩散器，上述光源通过向上述检查对象物体照射光来造影，上述可变扩散器位于上述光源与检查对象物体之间，能够调节向检查对象物体透射的光的扩散度；以及一个以上的处理器，以上述检查对象物体的特性为基础，控制上述可变扩散器。散器。散器。

【技术实现步骤摘要】
利用可变扩散板的光学系统


[0001]本专利技术涉及缺陷检查设备，更具体地，涉及用于检查检查对象物体表面是否具有缺陷的装置。

技术介绍

[0002]在工厂生产一对象的过程中，因机械、工序或除此之外的事由，对象可产生缺陷。在工厂，在完成对象的生产而出库之前，通常进行确认相应对象是否具有缺陷的步骤。
[0003]并且，近来，在本领域中，为了缩短工序时间并迅速检查对象物品的缺陷，导入了利用计算机视图判断检查对象物品的好坏的技术。
[0004]但是，现有技术的计算机视图技术仅使用附着有扩散板的状态的照明系统，因此，照明的散射严重，当检查具有光滑的表面、闪烁的表面或具有光泽的表面等的检查对象物体时，具有微细划痕(scratch)、高度差、凹痕(dent)等的表面缺陷识别率降低的缺点。
[0005]在韩国授权专利第10
‑
1517929号(专利技术名称：可不间断检查部件的高速机器人视图装置)中公开了如下的装置：利用配置于检查对象物的外侧的多关节机器人拍摄上述检查对象物，从所拍摄的影像图像判断检查对象物的好坏。

技术实现思路

[0006]本公开与如上所述的
技术介绍
对应来提出，其目的在于，提供更有效地检查检查对象物体表面的缺陷的检查装置。
[0007]用于实现如上所述的目的的本公开一实施例的用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置可包括：照明系统，设置有光源及可变扩散器，上述光源通过向上述检查对象物体照射光来造影，上述可变扩散器位于上述光源与检查对象物体之间，能够调节向检查对象物体透射的光的扩散度；以及一个以上的处理器，以上述检查对象物体的特性为基础，控制上述可变扩散器。
[0008]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置的上述可变扩散器可根据上述处理器的电信号调节通过上述可变扩散器的光的扩散度。
[0009]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置的上述可变扩散器可包括根据上述处理器的电信号调节透明度的液晶膜。
[0010]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置的上述可变扩散器可以为根据上述处理器的控制信号调节配置状态的扩散器。
[0011]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置的上述可变扩散器可通过上述处理器的控制信号来调节成按照区域向对象物体的表面透射的光的扩散度各不相同。
[0012]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置还包括用于获取图像数据的拍摄部，上述处理器从所获取的上述图像数据识别检查对象物体，以所识别的物体为基础，可确定向检查对象物体透射的光的扩散度，由此可控制上述可变扩
散器。
[0013]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置还包括用于获取图像数据的拍摄部，上述处理器以检查对象物体表面的光的反射率为基础从所获取的上述图像数据确定向上述检查对象物体透射的光的扩散度，由此可控制上述可变扩散器。
[0014]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置还包括用于获取图像数据的拍摄部，上述处理器可执行如下动作：从通过上述拍摄部获取的图像数据识别检查对象物体；以及通过上述识别，在检查对象物体表面的至少一区域所需的光的扩散度与剩余其他区域不同的情况下，按照区域控制上述可变扩散器，或者以上述可变扩散器具有至少两个互不相同的透明度的方式进行控制。
[0015]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置还包括：拍摄部，用于获取图像数据；以及存储器，存储基于深度学习的模型，对于根据上述可变扩散器的透明度的一个以上的图像数据，上述处理器可利用上述基于深度学习的模型的一个以上的子模型判断上述图像数据所包含的检查对象物体是否存在缺陷。
[0016]在代替实施例中，用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置还包括：拍摄部，用于获取图像数据；以及存储器，存储基于深度学习的模型，上述处理器可执行如下动作：在上述可变扩散器的透明度未使所透射的光扩散的情况下，向上述基于深度学习的模型的第一子模型输入所获取的非扩散光图像数据，由此判断上述图像数据所包含的检查对象物体是否存在缺陷；以及在上述可变扩散器的透明度使所透射的光扩散的情况下，向上述基于深度学习的模型的第二子模型输入所获取的扩散光图像数据，由此判断上述图像数据所包含的检查对象物体是否存在缺陷。
[0017]根据本公开的再一实施例，公开存储有用于判断在检查对象物体是否存在异常的计算机程序的计算机可读存储介质。若在缺陷检查装置的一个以上的处理器运行上述计算机程序，则执行用于判断检查对象物体是否存在缺陷的动作。
[0018]根据本公开的另一实施例，公开在缺陷检查装置执行的用于检查检查对象物体表面是否存在缺陷的方法。
[0019]本公开可提供更有效地检查检查对象物体表面的缺陷的检查装置。
附图说明
[0020]图1为示出本公开一实施例的缺陷检查装置的块状结构图的图。
[0021]图2为示出用于说明在本公开中定义的边缘场(Edge Field)的概念的例示的图。
[0022]图3a及图3b示出本公开一实施例的可变扩散器和照明系统的例示。
[0023]图3c及图3d为将本公开一实施例的根据可变扩散器的动作状态透射检查对象物体表面的光简略的图。
[0024]图4为示出本公开一实施例的适用于缺陷检查装置的照明系统的结构的图。
[0025]图5为例示本公开一实施例的根据可变扩散器的透明度的光的扩散度的图。
[0026]图6为例示本公开一实施例的处理器通过控制可变扩散器的透明度来调节光的扩散度的方法的图。
[0027]图7为例示本公开再一实施例的处理器通过控制可变扩散器的配置来调节光的扩
散度的方法的图。
[0028]图8为示出本公开一实施例的按照区域控制用于缺陷检查装置的可变扩散器的例示的图。
[0029]图9为例示本公开一实施例的处理器控制可变扩散器的透明度的情况下变化的透明度的图。
[0030]图10a、图10b为例示根据可变扩散器的透明度的对于检查对象物体表面的暗区域的可见性变化的图。
[0031]图11、图12、图13、图14、图15、图16为例示本公开一实施例的根据检查对象物体的表面特性控制可变扩散器的透明度并由此获取的图像数据的图。
[0032]图17为示出本公开一实施例的适用于缺陷检查装置的照明系统中包括的多个光源的结构的图。
[0033]图18为本公开一实施例的通过缺陷检查装置的照明系统向检查对象物体表面透射的按照区域具有不同照度的照明图案的例示图。
[0034]图19为本公开另一实施例的适用于缺陷检查装置的照明系统结构的例示图。
[0035]图20为示出本公开一实施例的适用于缺陷检查装置的照明系统的截面的图。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检查装置，用于判断检查对象物体是否存在异常，其特征在于，包括：照明系统，设置有光源及可变扩散器，上述光源通过向上述检查对象物体照射光来造影，上述可变扩散器位于上述光源与检查对象物体之间，能够调节向检查对象物体透射的光的扩散度；以及一个以上的处理器，以上述检查对象物体的特性为基础，控制上述可变扩散器。2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，能够根据上述处理器的电信号调节通过上述可变扩散器的光的扩散度。3.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述可变扩散器包括根据上述处理器的电信号调节透明度的液晶膜。4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述可变扩散器为根据上述处理器的控制信号调节配置状态的扩散器。5.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述处理器控制上述可变扩散器，使得上述可变扩散器根据检查对象物体的表面特征，向检查对象物体的表面的各个区域透射扩散度不同的光。6.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还包括用于获取图像数据的拍摄部，上述处理器从所获取的上述图像数据识别检查对象物体，以所识别的物体为基础，确定向检查对象物体透射的光的扩散度，并根据所确定的上述光的扩散度控制上述可变扩散器。7.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还包括用于获取图像数据的拍摄部，上述处理器从所获取的上述图像数据识别检查对象物体表面的光反射率，以所识别的上述检查对象物体表面的光反射率为基础确定向上述检查对象物体透射的光的扩散度，并根据所确定的上述光的扩散度控制上述可变扩散器。8.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，还包括用于获取图像数据的拍摄部，上述处理器从通过上述拍摄部获取的图像...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋基永，赵训民，林钟奎，
申请(专利权)人：康耐视公司，
类型：发明
国别省市：