下载利用可变扩散板的光学系统的技术资料

文档序号:30405551

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根据本公开的一实施例,公开用于判断在检查对象物体是否存在异常的缺陷检查装置。上述缺陷检查装置可包括:照明系统,设置有光源及可变扩散器,上述光源通过向上述检查对象物体照射光来造影,上述可变扩散器位于上述光源与检查对象物体之间,能够调节向检查对...
该专利属于康耐视公司所有,仅供学习研究参考,未经过康耐视公司授权不得商用。

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