一种可感应温度的水循环系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种可感应温度的水循环系统，包括：加热槽，所述加热槽上设有注水管和回流管；集液副槽，所述集液副槽分别与所述注液管和所述回流管连接，所述加热槽、所述回流管、所述集液副槽和所述注水管组成加热循环组件；药液容器，设置在加热槽内；感温组件，包括设置在所述药液容器内的第一温度传感和设置在所述加热槽内的第二温度传感器；加热器，设置在所述集液副槽内。本实用新型专利技术可以保证药液温度均匀，保持沉积速率的稳定性，实现均匀温和加热的效果，能够合理设置加热温度，根据实际情况进行合理调整，充分利用水资源，节约用水。用水。用水。

【技术实现步骤摘要】
一种可感应温度的水循环系统


[0001]本技术涉及加热设备
，特别涉及一种可感应温度的水循环系统。

技术介绍

[0002]在半导体封装基板制作加工过程中，金属加热槽的药液温度决定了基板的金属厚度和品质。现有的在金属槽药液缸体中直接安装加热管对药液进行加热的方式，容易导致加热管四周温度高、其它区域温度低的现象，致使药液加热不均匀，影响产品沉积速率，尤其是对于封装基板等产品，很容易造成缺陷品，影响成品率。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种可感应温度的水循环系统，能够保证药液均匀加热，提高沉积速率的稳定性。
[0004]根据本技术的第一方面实施例的可感应温度的水循环系统，包括：加热槽，所述加热槽上设有注水管和回流管；集液副槽，所述集液副槽分别与所述注水管和所述回流管连接，所述加热槽、所述回流管、所述集液副槽和所述注水管组成加热循环组件；药液容器，设置在加热槽内；感温组件，包括设置在所述药液容器内的第一温度传感和设置在所述加热槽内的第二温度传感器；加热器，设置在所述集液副槽内。
[0005]根据本技术实施例的可感应温度的水循环系统，至少具有如下有益效果：可以保证药液温度均匀，保持沉积速率的稳定性；实现均匀温和加热的效果，能够合理设置加热温度，根据实际情况进行合理调整；设置加热循环组件，以水为介质，充分利用水资源，节约用水。
[0006]根据本技术的一些实施例，还包括有液位感应器，所述液位感应器设置在所述集液副槽上，所述集液副槽上还连接有补液管。
[0007]根据本技术的一些实施例，还包括有主控器，所述主控器分别与所述第一温度传感、所述第二温度传感器和所述液位感应器电性连接。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述感温组件还包括设置在所述集液副槽内的第三温度传感器，所述第三温度传感器与所述主控器电性连接。
[0009]根据本技术的一些实施例，还包括有报警装置，所述报警装置与所述主控器电性连接。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述补液管上设有自动阀门，所述液位感应器与所述自动阀门电性连接。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述加热槽和所述药液容器均采用不锈钢制成，所述加热槽的侧壁厚度为5mm，所述药液容器的侧壁厚度为2mm。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述注水管设有三根且设置在所述加热槽底部。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述回流管设置在所述加热槽的中上部，连接在所述加热槽和所述集液副槽之间。
[0014]根据本技术的一些实施例，所述加热器包括六个加热管，六个所述加热管均匀分布在所述集液副槽内。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0017]图1为本技术实施例的整体结构示意图；
[0018]图2为图1示出的加热槽与药液容器的结构示意图。
[0019]附图标注：
[0020]加热槽100；
[0021]集液副槽200；
[0022]药液容器300；
[0023]第一温度传感器410、第二温度传感器420、第三温度传感器430；
[0024]注水管500；
[0025]回流管600；
[0026]补液管700；
[0027]主控器800、报警装置810、液位感应器820、加热器830。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]在本技术的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个或两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0031]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0032]参照图1和图2，以下对本技术实施例的可感应温度的水循环系统进行说明。
[0033]如图1和图2所示，一种可感应温度的水循环系统，包括加热槽100、集液副槽200、药液容器300、感温组件和加热器830，加热槽100上设有注水管500和回流管600，注水管500
用于往加热槽100内加入加热用的液体，液体可以为水或其他加热介质，集液副槽200分别与注水管500和回流管600连接，回流管600将加热槽100内的液体回流至集液副槽200中，进行重新加热，保持循环液体的温度，加热槽100、回流管600、集液副槽200和注水管500组成加热循环组件，加热用的液体在加热循环组件中循环流动。药液容器300设置在加热槽100内，待加热的液体放置在药液容器300中，加热槽100内的加热液体将热量传递至药液容器300中，对药液进行均匀加热，且加热温和。采用的液体加热的方式，避免局部加热温度不均匀。感温组件包括设置在药液容器300内的第一温度传感410和设置在加热槽100内的第二温度传感器420，第一温度传感410用于检测并判断药液的加热温度，第二温度传感器420用于感应并控制加热槽100内的加热温度。在本实施例中，加热槽100内的液体温度为88～95℃，药液容器300内的药液温度应为75～80℃，此外，还可以根据实际需要对液体温度和药液温度进行合理调整，以适应药液加工。加热器830设置在集液副槽200中，用于加热集液副槽200内的液体，通过注水管500为加热槽100提供源源不断的加热液体。
[0034]在本技术的一些实施例中，可感应温度的水循环系统还包括液位感应器820，液位感应器820设置在集液副槽200内，可检测集液副槽200内的液位线。集液副槽200上还连接有补液管700，补液管700连接外部的液体装置，提供加热用的液体。由于加热过程中液体会存在挥发现象，液位面会不断下降，当液位面抵达液位线时，补液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可感应温度的水循环系统，其特征在于，包括：加热槽(100)，所述加热槽(100)上设有注水管(500)和回流管(600)；集液副槽(200)，所述集液副槽(200)分别与所述注水管(500)和所述回流管(600)连接，所述加热槽(100)、所述回流管(600)、所述集液副槽(200)和所述注水管(500)组成加热循环组件；药液容器(300)，设置在加热槽(100)内；感温组件，包括设置在所述药液容器(300)内的第一温度传感(410)和设置在所述加热槽(100)内的第二温度传感器(420)；加热器(830)，设置在所述集液副槽(200)内。2.根据权利要求1所述的可感应温度的水循环系统，其特征在于，还包括有液位感应器(820)，所述液位感应器(820)设置在所述集液副槽(200)上，所述集液副槽(200)上还连接有补液管(700)。3.根据权利要求2所述的可感应温度的水循环系统，其特征在于，还包括有主控器(800)，所述主控器(800)分别与所述第一温度传感(410)、所述第二温度传感器(420)和所述液位感应器(820)电性连接。4.根据权利要求3所述的可感应温度的水循环系统，其特征在于，所述感温组件还包括设置在所述集液副槽(200)内的第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈先明，李志丹，彭建，
申请(专利权)人：珠海越亚半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：