提供一种传感器基板和使用它的检查方法及装置。通过使传感器基板与被检查基板相对地进行一次移动，能够确定有无断开和断开位置。在具备在第一方向上隔有间隔地向第二方向延伸的多个电路的、如显示用面板的玻璃基板之类的被检查基板的检查中使用传感器基板。传感器基板包括：至少一个供电电极，向电路非接触地提供检查信号；至少在第一方向上隔有间隔的多个受电电极，从供电电极在第二方向上隔有间隔，以使分别非接触地接受提供给电路的检查信号；以及多个传感器回路，输出表示在该受电电极上有无接收信号的电信号。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种如液晶显示面板用的玻璃基板那样在具备很多布线的被检查基板的检查中使用的传感器基板和使用该传感器基板的检查方法及装置。
技术介绍
对如在液晶显示面板中使用的玻璃基板那样，具备向纵横延伸的许多布线(即电路)的被检查基板，检查有无这些布线的断开及短路。作为在这样的检查中使用的传感器基板及使用该传感器基板的检查方法和装置的一种，有记载在专利文献1中的技术。专利文献1日本特开2004-191381号公报该现有技术中的传感器基板，具有在形成在作为被检查基板的玻璃基板上的布线的长度方向上隔有间隔的至少一对供电电极和受电电极。在使传感器基板的供电电极和接收电极分别与布线的被检查区域的一端部和另一端部相面对的状态下，通过一边从供电电极向布线提供交流信号，一边经过布线由受电电极接收该检查信号，同时使传感器基板横穿应该检查的多个布线进行移动，从而进行使用这种传感器基板的检查。虽然供电电极及受电电极与布线相面对，但是在受电电极通过该布线接收不到检查信号的情况下，通过判断为该布线被断开而执行布线的异常判断。但是，在上述现有技术中，在将两个电极在布线的长度方向上隔离的状态下，使基板在横穿布线的方向上进行移动。因此，仅通过这种检查虽然能够检测出有无断开，但是不能够检测出布线在长度方向上的断开位置。因此，在上述的现有技术中，为了确定断开位置对断开的每个布线进行如下作业返回使两电极断开的布线的位置上，重新进行检查信号的发送接收，并且使两个电极中的一个接近另一个，检测出受电电极无法接收检查信号的位置。在这种现有技术中，除了有无断开的检查工序之外，不仅必须进行确定布线在长度方向上的断开位置的工序，还必须对断开的每个布线进行确定布线在长度方向上的断开位置的工序。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术的目的在于，通过使传感器基板和被检查基板相对地进行一次移动，能够确定有无断开和断开位置。用于解决问题的手段本专利技术所涉及的传感器基板以及使用该传感器基板的检查方法和装置，在具备在第一方向上隔有间隔地向第二方向延伸的多个电路的、像显示用面板的玻璃基板那样的被检查基板的检查中使用。本专利技术所涉及的传感器基板包括至少一个供电电极，向上述电路非接触地提供检查信号；多个受电电极，至少在上述第一方向上隔有间隔，与上述供电电极在上述第二方向上隔有间隔，以分别非接触地接受提供给上述电路的检查信号；以及多个传感器回路，输出表示在该受电电极中有无接收信号的电信号。具备在上述第一方向上隔有间隔的至少两个上述供电电极，另外上述多个受电电极被分成分别在上述第一方向上隔有间隔地与上述供电电极以一对一的形式对应的至少两个受电电极组，该受电电极组包含能够接收来自分别所对应的供电电极的检查信号的多个受电电极。具备在上述第一方向上隔有间隔的多个上述供电电极，另外上述多个受电电极也可以与上述供电电极以一对一的形式对应。上述多个传感器回路也可以与上述受电电极以一对一的形式连接。上述被检查基板还具备在上述第二方向上隔有间隔地向上述第一方向延伸的多个第二电路，另外该传感器基板还可包含向上述第二电路提供第二检查信号的至少一个第二供电电极。上述第二供电电极也可以配置在从上述第一方向上的上述供电电极和上述受电电极的配置区域离开的位置。本专利技术所涉及的检查方法包括移动步骤，在上述供电电极和上述受电电极在上述第二方向上隔有间隔相面对的状态下，使如上所述的传感器基板和被检查基板向上述第二方向相对地移动；供电步骤，在该移动步骤的期间向上述供电电极提供检查信号；以及判断步骤，在该供电步骤的期间根据上述传感器回路的输出信号判断上述电路的正确与否。上述供电步骤在不同的定时向多个供电电极提供上述检查信号，另外上述判断步骤也可以与给上述供电电极供电的定时同步，判断上述电路的正确与否。上述判断步骤也可以根据连接在与上述电路相面对的受电电极上的传感器回路的输出信号、以及连接在不与上述电路相面对的受电电极上的传感器回路的输出信号，判断上述电路的正确与否。上述供电步骤或检查信号产生回路向上述第二供电电极提供上述第二检查信号，上述判断步骤或上述判断回路可以将与接收上述第二检查信号的上述电极相面对的电路判断为交叉不良。上述判断步骤进一步根据判断为上述电路不良时的上述第二方向上的上述传感器基板和被检查基板之间的相对位置，确定上述电路的不良位置。本专利技术所涉及的检查装置包括检查信号产生回路，产生向上述供电电极提供的检查信号；移动装置，在上述供电电极与上述受电电极在上述第二方向上隔有间隔相面对的状态下，使如上所述的传感器基板和被检查基板在上述第二方向上相对地移动；以及判断回路，利用上述移动装置移动上述传感器基板和被检查基板、且根据向上述供电电极提供上述检查信号的期间的上述传感器回路的输出信号，判断上述电路的正确与否。上述判断回路也可以根据连接在与上述电路相面对的受电电极上的传感器回路的输出信号、以及连接在不与上述电路相面对的受电电极上的传感器回路的输出信号，判断上述电路的正确与否。上述检查信号产生回路还向上述第二供电电极提供上述第二检查信号，上述判断回路还可以将与接收上述第二检查信号的上述电极相面对的电路判断为交叉不良。上述判断回路还可以进一步根据判断为上述电路不良时的上述第二方向上的上述传感器基板和被检查基板之间的相对位置，确定上述电路的不良位置。专利技术的效果在本专利技术中，在使至少一个供电电极和在第一方向上隔有间隔的多个受电电极在电路的长度方向上远离的状态下，使传感器基板和被检查基板相互地相面对而在电路的长度方向上相对地移动，该期间从供电电极向电路提供检查信号，并且由受电电极接收流到电路的检查信号。当电路断开时，检查信号不到达与电路相面对的受电电极，因此从传感器回路输出表示该电路断开的“无信号”的异常信号。由此，可以判断为“电路被断开”。能够根据受电电极中没有接收信号时的从如下组中选择的至少一个时期的第二方向上的传感器基板和被检查基板之间的相对位置(即坐标值)，确定电路在长度方向上的断开位置，其中，上述组包括在受电电极应该接收的检查信号从有到无变化的时期、以及受电电极中的接收信号从无到有变化的时期。根据如上所述的本专利技术，可通过使传感器基板和被检查基板相对地进行一次移动，确定断开的有无和断开位置。传感器基板具备在第一方向上隔有间隔的至少两个供电电极、且多个受电电极被分成属于在第一方向上隔有间隔而与供电电极以一对一的形式对应的至少两个受电电极组，该受电电极组包括可接收来自各自所对应的供电电极的检查信号的多个受电电极、或与供电电极以一对一的形式对应，在该情况下，在不同的定时向多个供电电极提供检查信号，能够与供电到供电电极的定时同步，判断电路的正确与否。同样地，在传感器基板具备在第一方向上隔有间隔的多个供电电极、且多个受电电极与供电电极以一对一的形式对应的情况下，也以不同的定时向多个供电电极提供检查信号，能够与供电到供电电极的定时同步，判断电路的正确与否。如上所述，虽然是没有向特定的电路提供检查信号的定时，但是与该特定的电路相面对的受电电极能够接收检查信号。在该情况下，由于该特定的电路与其它电路短路，能够容易地确定电路相互的短路以及短路位置。在被检查基板具备与如上所述的电路交叉的多个第二电路、且传感器基板还包含向上述第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种传感器基板，在被检查基板的检查中使用，该被检查基板具备在第一方向上隔有间隔地向第二方向延伸的多个电路，该传感器基板包括：至少一个供电电极，向上述电路非接触地提供检查信号；多个受电电极，至少在上述第一方向上隔有间隔，与上述 供电电极在上述第二方向上隔有间隔，以分别非接触地接受提供给上述电路的检查信号；以及多个传感器回路，输出表示在该受电电极中有无接收信号的电信号。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田真人，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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