本发明专利技术公开了一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置，其中，张紧机构包括：压紧机构，用于压紧中心膜片外周以固定中心膜片；多点顶出机构，设置在所述压紧机构下方，其设有通过顶出而张紧固定在所述压紧机构上的中心膜片的顶杆组；对位机构，安装在所述压紧机构与多点顶出机构之间，用于对位调节压紧机构和多点顶出机构，所述顶杆组包括若干通过液压驱动伸缩的顶杆；该张紧机构通过多点顶出机构的顶杆组顶出对中心膜片进行张紧即可完成中心膜片的张紧处理，使得中心膜片达到预定张紧力，具有张紧度可控、中心膜片各区域张紧效果均匀等优点。果均匀等优点。果均匀等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置
[0001]本申请涉及测量仪器
，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置。
技术介绍
[0002]电容薄膜真空计（又称电容薄膜规）是一种全压强真空测量仪器，具有高稳定性、高精度、耐腐蚀性等优点，广泛应用在航天航空、核工业、半导体装备等重要领域。
[0003]电容薄膜规主要是根据弹性元件（中心膜片）在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成。电容薄膜规的关键部件是中心膜片，中心膜片的力学性能直接关系到真空计测量的准确性和工作性能。
[0004]中心膜片的关键技术在于膜片材料、膜片的张紧、膜片的焊接。当膜片材料确定之后，中心膜片在焊接到基座上之前需要用张紧工装进行张紧，只有中心膜片达到预定张紧力才能达到最好的焊接效果和工作状态。
[0005]传统的膜片张紧焊接工装如附图1所示。其主要过程是在压紧螺钉的作用下，上下压紧圈将膜片夹紧，然后旋转体旋转向下运动，带动张紧圈压向膜片，从而将膜片张紧。这种张紧装置，结构相对简单，但是效率低并且存在以下几个技术问题：（1）张紧力受限。这种夹紧和张紧方式，中心膜片仅内侧边缘部分受到张紧圈挤压形变，从而导致接触部分受应力集中比较大，而膜片比较薄，容易在张紧圈外侧区域拉爆膜片，所以，整个张紧装置张紧力有限。
[0006]（2）膜片的张力分布不均匀。这种张紧装置的张紧方式只对膜片外侧张紧圈处产生较大的张力，而由于膜片中心区域变形小而对膜片中心区域产生较小的张紧力，最终导致中心膜片各处张力分布不均匀。
[0007]针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
技术实现思路
[0008]本申请的目的在于提供一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧方法及张紧装置，达到张紧力度均匀、有效防止中心膜片张紧时被拉爆的效果。
[0009]第一方面，本申请提供了一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，包括：压紧机构，用于压紧中心膜片外周以固定中心膜片；多点顶出机构，设置在所述压紧机构下方，其设有通过顶出而张紧固定在所述压紧机构上的中心膜片的顶杆组；对位机构，安装在所述压紧机构与多点顶出机构之间，用于对位调节压紧机构和多点顶出机构；所述顶杆组包括若干通过液压驱动伸缩的顶杆。
[0010]本申请实施例的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构,通过多点顶出机构的顶杆组
顶出对中心膜片进行张紧即可完成中心膜片的张紧处理，使得中心膜片达到预定张紧力，以便能达到最好的焊接效果和工作状态；另外，采用顶杆组结构对中心膜片进行张紧处理，使得中心膜片仅受到顶杆组顶出方向的作用力，可有效避免中心膜片张紧时被拉爆。
[0011]所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其中，所述压紧机构包括上压紧圈和用于与所述上压紧圈配合压紧所述中心膜片外周的下压紧圈，所述下压紧圈中部设有供顶杆组通过的张紧孔。
[0012]所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其中，若干所述顶杆为多重圆环均匀分布。
[0013]第二方面，本申请还提供了一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，其特征在于，包括：上述电容薄膜真空计膜片张紧机构，用于通过顶杆组伸出而张紧中心膜片；仿真模块，用于仿真计算中心膜片需求的顶杆组的仿真顶出信息；液压模块，用于驱动所述顶杆组伸出进行中心膜片张紧；主控模块，用于根据所述仿真顶出信息控制液压模块输出驱动所述顶杆组伸出进行中心膜片张紧，并在中心膜片处于张紧状态下控制液压模块保持液压而对中心膜片进行保压定型处理。
[0014]本申请实施例的一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，通过主控模块驱动液压模块使张紧机构的顶杆组伸出而对中心膜片进行张紧处理，顶杆组具体顶出情况基于仿真模块的仿真顶出信息进行，使得中心膜片达到预定张紧力，可有效避免中心膜片张紧时被拉爆，具有自动化程度高、张紧力范围大、张紧度可控、中心膜片各区域张紧效果均匀等优点。
[0015]所述的一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，其中，还包括在线测量模块，用于在线测量顶杆组的实际顶出信息；所述主控模块基于实际顶出信息和仿真顶出信息校正液压模块输出情况。
[0016]所述的一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，其中，还包括溢流模块，用于对液压模块进行溢流处理，当所述实际顶出信息超过所述仿真顶出信息时，所述主控模块控制溢流模块对所述液压模块进行溢流处理而使所述实际顶出信息与所述仿真顶出信息一致。
[0017]所述的一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，其中，所述仿真顶出信息包括顶出距离信息和顶出速度信息。
[0018]第三方面，本申请还提供了一种基于上述电容薄膜真空计膜片张紧机构的中心膜片张紧方法，所述方法包括以下步骤：S1、获取仿真计算出的中心膜片需求的顶杆组的仿真顶出信息；S2、基于所述仿真顶出信息控制所述多点顶出机构张紧中心膜片；S3、在中心膜片处于张紧状态下控制多点顶出机构保持位置而对中心膜片进行保压定型处理。
[0019]本申请实施例的中心膜片张紧方法，基于获取仿真顶出信息控制多点顶出机构中顶杆组定量顶出而张紧中心膜片，再通过定性处理使得中心膜片张紧成型稳定，具有张紧力度精确可控、中心膜片各区域张紧效果均匀等优点。
[0020]第四方面，本申请还提供了一种基于上述电容薄膜真空计膜片张紧机构的中心膜片张紧装置，包括：获取模块，用于获取仿真计算出的中心膜片需求的顶杆组的仿真顶出信息；发送模块，基于获取模块获取的仿真顶出信息发出液压控制信息以驱动多点顶出机构张紧中心膜片；保持模块，在中心膜片处于张紧状态下发出保持信息控制多点顶出机构保持位置而对中心膜片进行保压定型处理。
[0021]本申请实施例的中心膜片张紧方法，基于获取模块获取仿真顶出信息，然后利用发送模块发送控制信息以控制多点顶出机构中顶杆组定量顶出而张紧中心膜片，再通过保持模块发出保持信息对中心膜片进行保压定型处理，使得中心膜片张紧成型稳定，具有张紧力度精确可控、中心膜片各区域张紧效果均匀等优点。
[0022]由上可知，本申请提供了一种电容薄膜真空计膜片张紧机构、系统、方法及装置，其中，张紧机构通过多点顶出机构的顶杆组顶出对中心膜片进行张紧即可完成中心膜片的张紧处理，使得中心膜片达到预定张紧力，具有张紧度可控、中心膜片各区域张紧效果均匀等优点；另外，采用顶杆组结构对中心膜片进行张紧处理，使得中心膜片仅受到顶杆组顶出方向的作用力，可有效避免中心膜片张紧时被拉爆。
附图说明
[0023]图1为现有张紧工装的结构示意图。
[0024]图2为本申请实施例提供的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构的立体结构示意图。
[0025]图3为本申请实施例提供的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构的中部剖视结构示意图。
[0026]图4为腔体的剖视结构示意图。
[0027]图5为本申请实施例提供的张紧系统的结构示意图。
[0028]图6为本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，其特征在于，包括：压紧机构（1），用于压紧中心膜片外周以固定中心膜片；多点顶出机构（2），设置在所述压紧机构（1）下方，其设有通过顶出而张紧固定在所述压紧机构（1）上的中心膜片的顶杆组（21）；对位机构（3），安装在所述压紧机构（1）与多点顶出机构（2）之间，用于对位调节压紧机构（1）和多点顶出机构（2）；所述顶杆组（21）包括若干通过液压驱动伸缩的顶杆。2.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，所述压紧机构（1）包括上压紧圈（11）和用于与所述上压紧圈（11）配合压紧所述中心膜片外周的下压紧圈（12），所述下压紧圈（12）中部设有供顶杆组（21）通过的张紧孔（121）。3.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计膜片张紧机构，其特征在于，若干所述顶杆为多重圆环均匀分布。4.一种电容薄膜真空计的中心膜片张紧系统，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，其特征在于，包括：如权利要求1
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3任一项所述的电容薄膜真空计膜片张紧机构，用于通过顶杆组（21）伸出而张紧中心膜片；仿真模块，用于仿真计算中心膜片需求的顶杆组（21）的仿真顶出信息；液压模块，用于驱动所述顶杆组（21）伸出进行中心膜片张紧；主控模块，用于根据所述仿真顶出信息控制液压模块输出驱动所述顶杆组（21）伸出进行中心膜片张紧，并在中心膜片处于张紧状态下控制液压模块保持液压而对中心膜片进行保压定型处理。5.根据权利要求4所述的一种电容薄膜真空计的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘乔，侯少毅，胡强，胡琅，卫红，何斌，
申请(专利权)人：季华实验室，
类型：发明
国别省市：
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