一种连接模块及蒸镀产线制造技术

本申请涉及OLED蒸镀技术领域，公开了一种连接模块及蒸镀产线，连接模块包括：用于连通相邻的第一传送模块和第二传送模块的移送腔室，以及与移送腔室连通的排出腔室，移送腔室内设有用于将玻璃从第一传送模块移送至第二传送模块的第一传送装置；排出腔室具有与外部连通的出口以及用于使得出口呈开启或关闭状态的门；以及用于将位于移送腔室内的玻璃移送至排出腔室的第二传送装置，且当第二传送装置位于排出腔室时，第二传送装置与排出腔室配合以使得排出腔室与移送腔室之间无气体流动，当第二传送装置处于移动状态或位于移送腔室时，排出腔室为真空状态。本申请中的连接模块，能够在蒸镀工艺过程中将玻璃基板排出外部，并且不影响蒸镀的进度。不影响蒸镀的进度。不影响蒸镀的进度。

【技术实现步骤摘要】
一种连接模块及蒸镀产线


[0001]本申请涉及OLED蒸镀
，特别涉及一种连接模块及蒸镀产线。

技术介绍

[0002]为了制作OLED面板，需要在完成了低温多晶硅工艺的玻璃基板上通过蒸镀形成像素，该过程将需要的各个有机物通过多次蒸镀来进行有机材料镀膜作业，因为有机物和水氧反应非常剧烈，因此，蒸镀工艺需要在断绝空气的真空环境下进行。
[0003]在蒸镀工艺中，蒸镀产线上如果投入的玻璃基板是不良品或是在蒸镀以及移送工艺过程中玻璃基板上出现破损或是损伤的情况，此时根据情况会将蒸镀产线停下来破真空后取出。由于OLED蒸镀是在真空状态下进行，如果想要将破损的玻璃基板排出设备外部的话，就需要将真空状态进行破真空，破真空将破损玻璃基板取出之后，为了再次进行OLED蒸镀，就需要将设备内部变为真空状态，上述过程需要花费大量时间，即导致产线重新稼动起来需要较长时间，从而不利于生产效率的提高。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种连接模块，能够在蒸镀工艺过程中将玻璃基板排出外部，并且不影响蒸镀的进度。
[0005]为了达到上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连接模块，其特征在于，包括：用于连接相邻的第一传送模块和第二传送模块的移送腔室，所述移送腔室包括第一开口、第二开口和第三开口，所述第一传送模块通过所述第一开口与所述移送腔室连通，所述第二传送模块通过所述第二开口与所述移送腔室连通，所述移送腔室内还设有用于将玻璃从所述第一传送模块移送至所述第二传送模块的第一传送装置；通过所述第三开口与所述移送腔室连通的排出腔室，所述排出腔室具有与外部连通的出口以及用于使得所述出口呈开启或关闭状态的门；用于将位于所述移送腔室内的玻璃移送至所述排出腔室的第二传送装置，且当所述第二传送装置位于所述排出腔室时，所述第二传送装置与所述排出腔室配合以使得所述排出腔室与所述移送腔室之间无气体流动，当所述第二传送装置处于移动状态或位于所述移送腔室时，所述排出腔室为真空状态。2.根据权利要求1所述的连接模块，其特征在于，所述第二传送装置为卡夹，所述卡夹具有用于搭载玻璃的支撑板。3.根据权利要求2所述的连接模块，其特征在于，所述卡夹朝向所述移送腔室的一侧设有密封圈，当所述卡夹位于所述排出腔室时，所述密封圈与所述卡夹配合以阻隔所述排出腔室与所述移送腔室之间的气体流动。4.根据权利要求3所述的连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：李明振，褚蓉蓉，
申请(专利权)人：合肥欣奕华智能机器有限公司，
类型：新型
国别省市：