【技术实现步骤摘要】
一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构
[0001]本技术涉及蒸镀机
,较为具体的,涉及到一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构。
技术介绍
[0002]现有的蒸镀设备一般包括一个蒸镀源及一个设置于蒸镀源上方用来承载被镀件的伞状的承载架。蒸镀时,由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高,导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的待镀基材上的膜层较厚,而位于上层圈 (靠近承载架中心)的被镀件与位于下层圈(靠近承载架边缘)的被镀件上的膜层较薄。因此,蒸镀设备通常还包括一个设置于承载架与蒸镀源之间的镀膜修正板,用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物,以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度,从而修正承载架上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。由于各种被镀件采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同,各种被镀件对镀膜修正板的形状的要求也不同。通常一种被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板,这种镀膜修正板不能适用多种被镀件,通用性差。
技术实现思路
[0003]有鉴于此,为了解决现有的被镀件采用对应的一种具有固定形状的镀膜修正板 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构,包括支杆(1)、第一连杆(2)、第二连杆(3)、第一支架(4)、第二支架(5)、第一修正板(6)和第二修正板(7),其特征在于:真空腔体的相对的内壁分别设有第一支架(4)和第二支架(5),所述第一支架(4)和第二支架(5)与真空腔体的内壁可拆卸连接,所述第一支架(4)远离真空内壁端可拆卸连接有第一连杆(2),所述第二支架(5)远离真空内壁端可拆卸连接有第二连杆(3),所述第一连杆(2)远离第一支架(4)端固定连接支杆(1)的一端,所述第二连杆(3)远离第二支架(5)端固定连接支杆(1)的另一端,所述支杆(1)位于公转镀锅和蒸发源之间,所述支杆(1)平行于所述公转镀锅,第一修正板(6)和第二修正板(7)可拆卸的连接在支杆(1)的上端且第一修正板(6)和第二修正板(7)关于所述公转镀锅的轴线对称,所述第一修正板(6)和第二修正板(7)为柳叶形薄板,所述第一修正板(6)和第二修正板(7)间隔平行设置,第一修正板(6)和第二修正板(7)的上表面与公转镀锅平行,第一修正板(6)和第二修正板(7)的下表面与蒸发源平行。2.如权利要求1所述的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构,其特征在于:支杆(1)与第一修正板(6)连接处设有第一螺杆(8),支杆(1)与第二修正板(7)第二螺杆(9),第一修正板(6)与第一螺杆(8)配合处设有第一通孔(10),第二修正板(7)与第二螺杆(9)配合处设有第二通孔(11),第一螺杆(8)穿过第一通孔(10)与第一修正板(6)通过螺帽可拆卸连接,第二螺杆(9)穿过第二通孔(11)与第二修正板(7)通过螺帽可拆卸连接。3.如权利要求1所述的可拆卸更换的蒸镀机的修正板机构,其特征在于:第一螺杆(8)的数量为2
‑
4个,第二螺杆(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛蒙晓,
申请(专利权)人:苏州佑伦真空设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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