一种蒸发源装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种蒸发源装置，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分、出气部分和真空舱室，进气部分包括进气管道和进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道、后加热管道以及金属滤网，金属滤网设置在镀膜材料加热管道中，所用镀膜材料放置在金属滤网上被加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和出气阀门，前加热管道的另一端与进气阀门连接，后加热管道的另一端与出气阀门连接。本实用新型专利技术解决气相传输沉积法中存在的蒸镀不均匀、材料易堆积在管道、装置复杂等问题。装置复杂等问题。装置复杂等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸发源装置


[0001]本技术属于蒸镀设备
，特别涉及一种蒸发源装置。

技术介绍

[0002]现有的蒸镀镀膜方式大多是将蒸发源固定在蒸镀舱室底部，镀膜材料经加热后直接向上沉积到基片表面。这种蒸镀方式装置简单，蒸镀较为均匀且易于控制，但是蒸镀方向单一，材料分子的传输距离有限。
[0003]当蒸发源与蒸镀舱室分隔时，通常会采用气相传输沉积法镀膜。气相传输沉积法采用气体携带镀膜材料粒子通过传输路径输送到基片表面，进而完成成膜的方法。通常，镀膜材料粒子需要载气辅助输送，才能有足够的能量沉积到基片表面。以公开号为CN103025910A的专利为例，该专利公开利用载气将镀膜材料固体粉末通过管道输送到加热腔室，在加热腔室将固体材料转化为气体后通过腔室设计好的开口将材料沉积到基片上的技术方案。该方案将蒸发部分与镀膜部分分开，同时蒸发部分又被分成材料输送和材料蒸发两个过程。这种镀膜方式的蒸发源部分比较复杂，分开设置的输送材料部分和加热部分会导致材料分子分布的均匀性，进而影响镀膜的均匀性。此外，载气携带固体分子在管道上输送易导致堆积。
技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分和出气部分，出气部分的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室连通；进气部分包括进气管道和设置在进气管道上的进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道、后加热管道以及金属滤网，在前加热管道、镀膜材料加热管道、金属滤网和后加热管道上分别设置加热装置，金属滤网设置在镀膜材料加热管道中，所用镀膜材料放置在金属滤网上，蒸发时所用镀膜材料被镀膜材料加热管道和金属滤网共同加热蒸发成镀膜气体，在镀膜材料加热管道的两端分别设置连接装置与前加热管道、后加热管道实现可拆装的连通，出气部分包括出气管道和设置在出气管道上的出气阀门，进气管道的另一端与载气供应端连通，出气管道的另一端与真空舱室相连，前加热管道的另一端与进气阀门连接，后加热管道的另一端与出气阀门连接。2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述进气部分、蒸发部分和出气部分依次上下设置，真空舱室位于出气部分的末端。3.一种蒸发源装置，其特征在于，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分和出气部分，出气部分的末端与放置有待蒸镀基片的真空舱室连通；进气部分包括进气管道和设置在进气管道上的进气...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：杭州纤纳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：