一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备制造技术

本实用新型专利技术涉及石墨烯制取设备技术领域，尤其是涉及一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备。该弹性气密件设置在制备腔室的出口端，弹性气密件与制备腔室的出口端密闭连接；弹性气密件上设置有传送带组件上设置有供传送带组件穿过的通道；弹性气密组件还包括加紧部，所述加紧部向弹性气密件施加压力，以控制通道与传送带组件之间的间距。通过加紧部对弹性气密件施加压力，能够改变传送带组件与通道之间的间距，使通道的侧壁与传送带组件紧密贴合，使制备腔室形成密封空间。当传送带组件的运行时，调整加紧部件对弹性气密件施加的压力。增大传送带组件与通道之间的间距。使通道具有传送带组件运行的空间，使传送带组件能够正常的运行。够正常的运行。够正常的运行。

【技术实现步骤摘要】
一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备


[0001]本技术涉及石墨烯制取设备
，尤其是涉及一种弹性气密件及CVD沉积石墨烯的规模化制备设备。

技术介绍

[0002]石墨烯即“单层石墨片”是碳晶体家族中的一位新成员，具有独特的单原子层二维晶体结构，集多种优异特性于一身。如超高的载流子迁移率、电导率、热导率、透光率、高强度等。
[0003]目前石墨烯的制备方法有：
[0004]1.固相法，固相法中又分机械剥离法和外延生长法两种；
[0005]2.液相法，液相法又分为氧化还原法、超声波分散法、有机合成法和溶剂热法等。
[0006]3.气相法，气相法又可以分为化学气相沉积法等离子增强法、火焰法、电弧放电法等。
[0007]经过对上述石墨烯所有制备方法进行梳理，对每种石墨烯的制备方法进行比较分析，发现只有化学气相沉积法最适合制备出高质量的石墨烯产品，但是化学气相沉积法在现实制取石墨烯中存在以下技术问题：
[0008]1：碳源性气体如甲烷、乙炔、液体如乙醇，必须在真空无氧环境下制取，否则碳源性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弹性气密件，其特征在于，该弹性气密件设置在制备腔室的出口端，所述弹性气密件与制备腔室的出口端密闭连接；所述弹性气密件上设置有传送带组件上设置有供传送带组件穿过的通道；所述弹性气密组件还包括加紧部，所述加紧部向弹性气密件施加压力，以控制通道与传送带组件之间的间距。2.根据权利要求1所述的弹性气密件，其特征在于，所述弹性气密件包括从从上到下依次设置的第一垫板、第二垫板、第三垫板和第四垫板；第二垫板和第三垫板之间，以及第三垫板和第四垫板之间设置有传送带组件通道。3.根据权利要求2所述的弹性气密件，其特征在于，所述加紧部包括拉杆和拖杆支架；所述第二垫板、第三垫板和第四垫板上均插接有拖杆支架；所述拉杆固定在副腔室的出口端，并且拉杆上设置有多个调节组件，每个拖杆支架均对应一个调节组件；调节组件包括一对螺母，以及设置在两螺母之间的弹簧，调节组件与垫板配合时，垫板套设在拉杆上并且垫板被夹持在弹簧和螺母之间。4.根据权利要求2所述的弹性气密件，其特征在于，所述加紧部还包括紧密螺栓，第一垫板通过紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙华，
申请(专利权)人：孙华，
类型：新型
国别省市：