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本实用新型涉及一种蒸发源装置，包括依次相互连通的进气部分、蒸发部分、出气部分和真空舱室，进气部分包括进气管道和进气阀门，蒸发部分包括前加热管道、镀膜材料加热管道、后加热管道以及金属滤网，金属滤网设置在镀膜材料加热管道中，所用镀膜材料放置在金...
该专利属于杭州纤纳光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州纤纳光电科技有限公司授权不得商用。

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