蒸发源及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸发源及成膜装置，即便是位于最外侧的蒸发口部的开口端面以朝向蒸发源的长边方向外侧的方式倾斜的结构，也能够防止成膜材料的向蒸发源的反射或再次蒸发及向蒸发源周边构件的堆积。所述蒸发源具有收容成膜材料的容器和沿着所述容器的长边方向排列且分别从所述容器突出的多个筒状部，其特征在于，所述多个筒状部中的第一筒状部和第二筒状部以顶端在所述长边方向上朝向相同的方向的方式倾斜，所述第一筒状部的倾斜角度和所述第二筒状部的倾斜角度不同。二筒状部的倾斜角度不同。二筒状部的倾斜角度不同。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源及成膜装置
[0001]本专利技术申请是申请日为2017年7月5日、申请号为201710539978.9、专利技术名称为“蒸镀装置及蒸发源”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本专利技术涉及蒸发源及成膜装置。

技术介绍

[0003]在本申请人自己在先申请的日本特愿2014
‑
265981号中，提出了一种真空蒸镀装置，所述真空蒸镀装置使设置于蒸发源的多个蒸发口部中的位于外侧的蒸发口部的开口端面以朝向蒸发源的长边方向外侧的方式倾斜，由此，即便不将蒸发口部向长边方向外侧扩展地配设，也能得到膜厚分布均匀且抑制了成膜后的图案中的膜模糊的蒸镀膜。
[0004]然而，在如上所述使蒸发源A的蒸发口部B的开口端面以朝向蒸发源的长边方向外侧的方式倾斜的情况下，从该倾斜的开口端面放出的蒸发的成膜材料的飞散范围向蒸发源侧倾斜，如图1所图示那样，存在会波及到蒸发源A的两端部(图1中C所示的范围)的问题(通常从蒸发口部放出的成膜材料的放出角度分布遵照以开口的法线方向为0
°
的余弦定理，相比包含开口端面的假想本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，所述蒸发源具有收容成膜材料的容器和沿着所述容器的长边方向排列且分别从所述容器突出的多个筒状部，其特征在于，所述多个筒状部中的第一筒状部和第二筒状部以顶端在所述长边方向上朝向相同的方向的方式倾斜，所述第一筒状部的倾斜角度和所述第二筒状部的倾斜角度不同。2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述容器具有材料收容部和扩散部。3.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述材料收容部在所述长边方向上的长度比所述扩散部在所述长边方向上的长度长。4.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述容器设置有连通所述材料收容部和所述扩散部的开口，所述容器还具有将所述材料收容部和所述扩散部局部地划分开的中间部。5.根据权利要求4所述的蒸发源，其特征在于，所述多个筒状部均不配置在所述开口的中心的正上方。6.根据权利要求2所述的蒸发源，其特征在于，所述多个筒状部中的第三筒状部和第四筒状部以顶端在所述长边方向上朝向与所述第一筒状部和所述第二筒状部相反的方向的方式倾斜，所述第三筒状部的倾斜角度和所述第四筒状部的倾斜角度不同。7.根据权利要求6所述的蒸发源，其特征在于，所述材料收容部在所述长边方向上的长度比所述扩散部在所述长边方向上的长度长。8.根据权利要求6所述的蒸发源，其特征在于，所述容器设置有连通所述材料收容部和所述扩散部的开口，所述容器还具有将所述材料收容部和所述扩散部局部地划分开的中间部。9.根据权利要求8所述的蒸发源，其特征在于，所述多个筒状部均不配置在所述开口的中心的正上方。10.根据权利要求8所述的蒸发源，其特征在于，在所述长边方向上，所述第一筒状部和所述第二筒状部与所述第三筒状部和所述第四筒状部配置在隔着所述开口的两侧。11.根据权利要求10所述的蒸发源，其特征在于，在所述长边方向上，所述第一筒状部和所述第二筒状部与所述第三筒状部和所述第四筒状部以所述开口为基准对称地配置。12.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述第一筒状部和所述第二筒状部的倾斜角度被设定为30
°
～45
°
。13.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：权利要求1至12中任一项所述的蒸发...

【专利技术属性】
技术研发人员：田村博之，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：