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本发明提供一种蒸发源及成膜装置，即便是位于最外侧的蒸发口部的开口端面以朝向蒸发源的长边方向外侧的方式倾斜的结构，也能够防止成膜材料的向蒸发源的反射或再次蒸发及向蒸发源周边构件的堆积。所述蒸发源具有收容成膜材料的容器和沿着所述容器的长边方向排...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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