本实用新型专利技术公开了新型真空镀膜控制装置，包括箱体，箱体顶端的中部固定安装有转动电机，转动电机的输出轴固定设有第一锥形齿轮，箱体的内部设有传动组件，传动组件包括第一传动杆和两个固定杆，两个固定杆均设置在第一传动杆的底部，第一传动杆的两端分别与箱体内壁两侧的顶部转动连接，本实用新型专利技术的有益效果是：通过设有转动电机和传动组件，转动电机转动通过第一锥形齿轮与第二锥形齿轮的啮合，两个第三锥形齿轮与两个第四锥形齿轮的啮合，两个第五锥形齿轮与两个第六锥形齿轮的啮合从而带动夹持组件上的基片进行翻面，对其另一面进行镀膜，提高了镀膜的工作效率，通过设有观察窗可以观察箱体内部基片的镀膜情况。察窗可以观察箱体内部基片的镀膜情况。察窗可以观察箱体内部基片的镀膜情况。
【技术实现步骤摘要】
新型真空镀膜控制装置
[0001]本技术涉及一种真空镀膜控制装置，特别涉及新型真空镀膜控制装置，属于真空镀膜
技术介绍
[0002]蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构
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迷走结构
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层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]现有的真空镀膜控制装置，一次仅能对基片的一面进行单面镀膜，想要对其进行双面镀膜，则需破真空，又因基片蒸镀时真空室内温度极高，故需降温取出，再翻面然后重新置入真空腔内，浪费时间较长。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供新型真空镀膜控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的真空镀膜控制装置想要对其进行双面镀膜时，需要破真空降温将基片翻面重新放置的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：新型真空镀膜控制装置，包括箱体，所述箱体顶端的中部固定安装有转动电机，所述转动电机的输出轴固定设有第一锥形齿轮，所述箱体的内部设有传动组件，所述传动组件包括第一传动杆和两个固定杆，两个所述固定杆均设置在第一传动杆的底部，所述第一传动杆的两端分别与箱体内壁两侧的顶部转动连接，所述第一传动杆的中部固定套设有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的顶端与第一锥形齿轮的一侧啮合，所述第一传动杆的两端分别固定套设有两个第三锥形齿轮，两个所述固定杆的一端分别与箱体内壁两侧的顶部固定连接，两个所述固定杆的另一端分别固定设有两个安装套，两个所述安装套的内部分别转动穿插安装有两个第二传动杆，两个所述第二传动杆的两端分别转动安装有两个第四锥形齿轮和两个第五锥形齿轮，两个所述第四锥形齿轮的外侧分别与两个第三锥形齿轮的底端啮合，所述箱体顶端的一侧固定安装有真空泵，所述真空泵的进口端与箱体的内部连通，所述箱体内壁底端的中部固定安装有蒸发加热器。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体的中部设有夹持组件，所述夹持组件包括两个支撑杆和两个转动杆，两个所述支撑杆的底端分别与箱体内壁底端的两侧固定连接，两个所述支撑杆的顶端分别固定设有两个轴承，两个所述转动杆的一端分别与箱体内壁两侧的中部转动连接，两个所述转动杆的一端分别固定套设有两个第六锥形齿轮，两个所述第六锥形齿轮的顶端分别与两个第五锥形齿轮的外侧啮合，两个所述转动杆的另一端分别转动贯穿两个轴承的内圈，两个所述转动杆的另一端分别固定安装有两个U型框，两个所述U型框的顶端分别穿插设有两个固定螺栓。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，两个所述固定螺栓的底端固定设有两个橡胶垫。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体的边侧交接有箱门。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱体一侧的中部固定设有开关面板，所述开关面板的表面分别固定安装有电机开关、加热器开关和泵机开关，所述转动电机、蒸发加热器和真空泵分别通过电机开关、加热器开关和泵机开关与外接电源电性连接。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案，所述箱门的中部嵌设有观察窗。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术新型真空镀膜控制装置，通过设有转动电机和传动组件，转动电机转动通过第一锥形齿轮和第二锥形齿轮带动第一传动杆旋转，第一传动杆旋转通过两个第三锥形齿轮和两个第四锥形齿轮带动两个第二传动杆旋转，两个第二传动杆旋转通过两个第五锥形齿轮和两个第六锥形齿轮带动两个转动杆向同一方向旋转，从而带动夹持组件上的基片进行翻面，对其另一面进行镀膜，避免重新降温开箱门，人工对基片进行翻面，节省大量的时间，提高了镀膜的工作效率，通过设有观察窗可以观察箱体内部基片的镀膜情况。
附图说明
[0012]图1为本技术的整体结构示意图；
[0013]图2为本技术的剖面结构示意图；
[0014]图3为本技术安装套的剖面结构示意图。
[0015]图中：1、箱体；2、转动电机；3、第一锥形齿轮；4、传动组件；41、第一传动杆；42、固定杆；43、第二锥形齿轮；44、第三锥形齿轮；45、安装套；46、第二传动杆；47、第四锥形齿轮；48、第五锥形齿轮；5、真空泵；6、蒸发加热器；7、夹持组件；71、支撑杆；72、转动杆；73、轴承；74、第六锥形齿轮；75、U型框；76、固定螺栓；8、橡胶垫；9、箱门；10、开关面板；11、观察窗。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术提供了新型真空镀膜控制装置，包括箱体1，箱体1顶端的中部固定安装有转动电机2，转动电机2的输出轴固定设有第一锥形齿轮3，箱体1的内部设有传动组件4，传动组件4包括第一传动杆41和两个固定杆42，两个固定杆42均设置在第一传动杆41的底部，第一传动杆41的两端分别与箱体1内壁两侧的顶部转动连接，第一传动杆41的中部固定套设有第二锥形齿轮43，第二锥形齿轮43的顶端与第一锥形齿轮3的一侧啮合，第一传动杆41的两端分别固定套设有两个第三锥形齿轮44，两个固定杆42的一端分别与箱体1内壁两侧的顶部固定连接，两个固定杆42的另一端分别固定设有两个安装套45，两个安装套45的内部分别转动穿插安装有两个第二传动杆46，两个第二传动杆46的两端分别转动安装有两个第四锥形齿轮47和两个第五锥形齿轮48，两个第四锥形齿轮47的外侧分别与两个第三锥形齿轮44的底端啮合，箱体1顶端的一侧固定安装有真空泵5，真空泵5的进
口端与箱体1的内部连通，箱体1内壁底端的中部固定安装有蒸发加热器6，通过设有转动电机2和传动组件4，转动电机2提供动力通过传动组件4对夹持组件7进行旋转。
[0018]优选的，箱体1的中部设有夹持组件7，夹持组件7包括两个支撑杆71和两个转动杆72，两个支撑杆71的底端分别与箱体1内壁底端的两侧固定连接，两个支撑杆71的顶端分别固定设有两个轴承73，两个转动杆72的一端分别与箱体1内壁两侧的中部转动连接，两个转动杆72的一端分别固定套设有两个第六锥形齿轮74，两个第六锥形齿轮74的顶端分别与两个第五锥形齿轮48的外侧啮合，两个转动杆72的另一端分别转动贯穿两个轴承73的内圈，两个转动杆72的另一端分别固定安装有两个U型框75，两个U型框75的顶端分别穿插设有两个固定螺栓76，通过设有夹持组件7可以对基片进行固定，两个固定螺栓76的底端固定设有两个橡胶垫8，通过设有橡胶垫8扩大与基片的接触面本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.新型真空镀膜控制装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)顶端的中部固定安装有转动电机(2)，所述转动电机(2)的输出轴固定设有第一锥形齿轮(3)，所述箱体(1)的内部设有传动组件(4)，所述传动组件(4)包括第一传动杆(41)和两个固定杆(42)，两个所述固定杆(42)均设置在第一传动杆(41)的底部，所述第一传动杆(41)的两端分别与箱体(1)内壁两侧的顶部转动连接，所述第一传动杆(41)的中部固定套设有第二锥形齿轮(43)，所述第二锥形齿轮(43)的顶端与第一锥形齿轮(3)的一侧啮合，所述第一传动杆(41)的两端分别固定套设有两个第三锥形齿轮(44)，两个所述固定杆(42)的一端分别与箱体(1)内壁两侧的顶部固定连接，两个所述固定杆(42)的另一端分别固定设有两个安装套(45)，两个所述安装套(45)的内部分别转动穿插安装有两个第二传动杆(46)，两个所述第二传动杆(46)的两端分别转动安装有两个第四锥形齿轮(47)和两个第五锥形齿轮(48)，两个所述第四锥形齿轮(47)的外侧分别与两个第三锥形齿轮(44)的底端啮合，所述箱体(1)顶端的一侧固定安装有真空泵(5)，所述真空泵(5)的进口端与箱体(1)的内部连通，所述箱体(1)内壁底端的中部固定安装有蒸发加热器(6)。2.根据权利要求1所述的新型真空镀膜控制装置，其特征在于：所述箱体(1)的中部设有夹持组件(7)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐英，汪曙新，刘扬，
申请(专利权)人：深圳市联生佳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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