真空镀膜系统技术方案

技术编号:40718824 阅读:4 留言:0更新日期:2024-03-22 12:56
本技术公开了真空镀膜系统,包括主体机构、镀膜机构和调节机构,主体机构的顶端设置有镀膜机构,且镀膜机构的一侧设置有调节机构。该主体机构能够对镀膜机构进行稳定架设,提供稳定加工环境,同时优化此真空镀膜系统的整体化结构,便于使用者对其整体化搬运需要,通过镀膜机构可对采用复合式结构,具有拆装便捷的效果,能够为镀膜的工件进行稳定覆膜,可强化此真空镀膜系统在加工过程中的密封性,可有效保证覆膜的真空性,通过调节机构具有良好的调节性,能够与镀膜机构进行相互配合,达到对加工覆膜过程中的开启和拿取进行提供便利,同时结构便捷,可有效降低人工操作的程序,能够提升此真空镀膜系统的镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜设备,具体为真空镀膜系统


技术介绍

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等,真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。

2、市场上的真空镀膜加工设备在使用中,由于为满足加工环境的真空需求,导致真空腔盖的开启和关闭过程非常繁琐,需要大量的操作才能够开启或关闭腔盖以达到真空密封的效果,从而加大了人力成本和降低了真空镀膜的加工效率,为此,我们提出真空镀膜系统。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供真空镀膜系统,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:真空镀膜系统,包括主体机构、镀膜机构和调节机构,所述主体机构的顶端设置有镀膜机构,且镀膜机构的一侧设置有调节机构,所述调节机构包括固定架、液压油缸、油管、滑槽、压杆和连接座,且固定架的顶端设置有液压油缸,所述液压油缸的顶端设置有油管,所述固定架的中部设置有滑槽,且滑槽的内部设置有压杆,所述压杆的一端设置有连接座。

3、进一步的,所述固定架与液压油缸之间为嵌入卡合,且固定架与液压油缸呈水平垂直分布。

4、进一步的,所述滑槽与压杆之间为活动卡合,且压杆与液压油缸相连接。

5、进一步的,所述压杆可进行垂直上下往复来回运动,且压杆与连接座之间为活动连接。

6、进一步的,所述主体机构包括支撑架、承台、隔板架和真空泵,且支撑架的顶端设置有承台,所述支撑架的底端设置有隔板架,且隔板架的一侧设置有真空泵。

7、进一步的,所述支撑架与承台进行焊接连接,且隔板架与支撑架之间为焊接连接。

8、进一步的,所述镀膜机构包括外仓体、固定环、顶盖、卡槽、密封圈、镀膜组件和副泵体,且外仓体的底端设置有固定环,所述外仓体的顶端设置有顶盖,且顶盖的顶端设置有卡槽,所述顶盖的底端设置有密封圈,且外仓体的内部设置有镀膜组件,所述外仓体的底端中部连接有副泵体。

9、进一步的,所述顶盖与外仓体之间为卡合连接,且密封圈与顶盖之间为套接连接。

10、与现有技术相比,本技术的有益效果是:该真空镀膜系统设置有主体机构、镀膜机构和调节机构,此主体机构能够对镀膜机构进行稳定架设,提供稳定加工环境,同时优化此真空镀膜系统的整体化结构,便于使用者对其整体化搬运需要。

11、此镀膜机构可对采用复合式结构,具有拆装便捷的效果,同时具有高效的密封性,能够为镀膜的工件进行稳定覆膜,具有双重防护结构,可强化此真空镀膜系统在加工过程中的密封性,可有效保证覆膜的真空性。

12、此调节机构具有良好的调节性,能够与镀膜机构进行相互配合,达到对加工覆膜过程中的开启和拿取进行提供便利,同时结构便捷,可有效降低人工操作的程序,能够提升此真空镀膜系统的镀膜效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.真空镀膜系统,包括主体机构(1)、镀膜机构(2)和调节机构(3),其特征在于:所述主体机构(1)的顶端设置有镀膜机构(2),且镀膜机构(2)的一侧设置有调节机构(3),所述调节机构(3)包括固定架(301)、液压油缸(302)、油管(303)、滑槽(304)、压杆(305)和连接座(306),且固定架(301)的顶端设置有液压油缸(302),所述液压油缸(302)的顶端设置有油管(303),所述固定架(301)的中部设置有滑槽(304),且滑槽(304)的内部设置有压杆(305),所述压杆(305)的一端设置有连接座(306)。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述固定架(301)与液压油缸(302)之间为嵌入卡合,且固定架(301)与液压油缸(302)呈水平垂直分布。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述滑槽(304)与压杆(305)之间为活动卡合,且压杆(305)与液压油缸(302)相连接。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述压杆(305)可进行垂直上下往复来回运动,且压杆(305)与连接座(306)之间为活动连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述主体机构(1)包括支撑架(101)、承台(102)、隔板架(103)和真空泵(104),且支撑架(101)的顶端设置有承台(102),所述支撑架(101)的底端设置有隔板架(103),且隔板架(103)的一侧设置有真空泵(104)。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述支撑架(101)与承台(102)进行焊接连接,且隔板架(103)与支撑架(101)之间为焊接连接。

7.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述镀膜机构(2)包括外仓体(201)、固定环(202)、顶盖(203)、卡槽(204)、密封圈(205)、镀膜组件(206)和副泵体(207),且外仓体(201)的底端设置有固定环(202),所述外仓体(201)的顶端设置有顶盖(203),且顶盖(203)的顶端设置有卡槽(204),所述顶盖(203)的底端设置有密封圈(205),且外仓体(201)的内部设置有镀膜组件(206),所述外仓体(201)的底端中部连接有副泵体(207)。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述顶盖(203)与外仓体(201)之间为卡合连接,且密封圈(205)与顶盖(203)之间为套接连接。

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【技术特征摘要】

1.真空镀膜系统,包括主体机构(1)、镀膜机构(2)和调节机构(3),其特征在于:所述主体机构(1)的顶端设置有镀膜机构(2),且镀膜机构(2)的一侧设置有调节机构(3),所述调节机构(3)包括固定架(301)、液压油缸(302)、油管(303)、滑槽(304)、压杆(305)和连接座(306),且固定架(301)的顶端设置有液压油缸(302),所述液压油缸(302)的顶端设置有油管(303),所述固定架(301)的中部设置有滑槽(304),且滑槽(304)的内部设置有压杆(305),所述压杆(305)的一端设置有连接座(306)。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述固定架(301)与液压油缸(302)之间为嵌入卡合,且固定架(301)与液压油缸(302)呈水平垂直分布。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述滑槽(304)与压杆(305)之间为活动卡合,且压杆(305)与液压油缸(302)相连接。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,其特征在于:所述压杆(305)可进行垂直上下往复来回运动,且压杆(305)与连接座(306)之间为活动连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜系统,...

【专利技术属性】
技术研发人员:洪本善刘扬许元理唐成军
申请(专利权)人:深圳市联生佳科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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