一种便于维护的硅晶片线切割机制造技术

本实用新型专利技术属于线切割机领域，尤其是一种便于维护的硅晶片线切割机，针对现有的线切割机一般都是固定在切割台上，不便于进行拆卸维护，不方便使用的问题，现提出如下方案，其包括切割台和线切割机，所述切割台的一侧固定连接有安装座，所述安装座上设有固定腔室，所述线切割机的底部固定连接有连接柱，所述连接柱的底端延伸至固定腔室内，所述安装座的一侧螺纹连接有驱动轴，所述驱动轴的一端固定连接有把手，所述固定腔室的底部内壁上滑动连接有滑动板，本实用新型专利技术结构合理，操作便利，通过向外转动驱动轴，可以使卡销脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机从安装座上拆下进行维护，方便快捷，便于使用。便于使用。便于使用。

【技术实现步骤摘要】
一种便于维护的硅晶片线切割机


[0001]本技术涉及线切割机
，尤其涉及一种便于维护的硅晶片线切割机。

技术介绍

[0002]硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，在硅晶片生产加工中，需要采用线切割机进行切割加工。
[0003]现有的线切割机一般都是固定在切割台上，不便于进行拆卸维护，不方便使用，所以我们提出一种便于维护的硅晶片线切割机，用于解决上述提出的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在现有的线切割机一般都是固定在切割台上，不便于进行拆卸维护，不方便使用的缺点，而提出的一种便于维护的硅晶片线切割机。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种便于维护的硅晶片线切割机，包括切割台和线切割机，所述切割台的一侧固定连接有安装座，所述安装座上设有固定腔室，所述线切割机的底部固定连接有连接柱，所述连接柱的底端延伸至固定腔室内，所述安装座的一侧螺纹连接有驱动轴，所述驱动轴的一端固定连接有把手，所述固定腔室的底部内壁上滑动连接有滑动板，所述驱动轴的另一端延伸至固定腔室内并与滑动板的一侧转动连接，所述固定腔室的底部内壁分别转动连接有固定轴和螺纹轴，所述固定轴的顶端固定连接有齿轮，所述滑动板的另一侧固定连接有齿条，所述齿条与齿轮相啮合，所述固定轴与螺纹轴上均固定套设有皮带轮，两个皮带轮上传动连接有同一个传动皮带，所述螺纹轴上螺纹连接有螺纹板，所述螺纹板的顶部转动连接有连杆，所述固定腔室的顶部内壁上滑动连接有移动板，所述连杆的一端与移动板的一侧转动连接，所述移动板的一侧固定连接有卡销，所述连接柱的一侧开设有与卡销相适配的卡槽，所述卡销的一端延伸至卡槽内并与卡槽相卡装，通过向外转动驱动轴，可以使卡销脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机从安装座上拆下进行维护，方便快捷，便于使用。
[0007]优选的，所述固定腔室的底部内壁上固定连接有限位板，所述螺纹板的一侧与限位板的一侧滑动连接，限位板可以使螺纹板移动更加稳固。
[0008]优选的，所述安装座的一侧固定连接有固定箱，所述固定箱上设有箱门，所述固定箱的一侧固定连接有支撑板，支撑板的顶部固定连接有吸尘泵，所述切割台的顶部固定连接有连接管，所述吸尘泵的输入端与连接管的一侧密封固定连接，所述吸尘泵的输出端延伸至固定箱内并与固定箱的一侧密封固定连接，所述连接管的另一侧密封固定连接有多个吸尘头，通过吸尘泵、连接管和多个吸尘头，可以将切割产生的废屑进行吸收收集，防止废屑对工作环境造成污染。
[0009]优选的，所述固定腔室的顶部内壁上开设有滑槽，所述移动板的顶部延伸至滑槽
内并与滑槽的顶部内壁滑动连接，滑槽可以使移动板只能横向移动，不会发生位置偏移。
[0010]优选的，所述吸尘头的数量为五到八个，且吸尘头为喇叭状，通过将吸尘头设置为多个，且均为喇叭状，可以增大吸尘面积。
[0011]本技术中，所述一种便于维护的硅晶片线切割机，由于设置了驱动轴，通过向外转动驱动轴，可以使滑动板带动齿条移动，通过齿轮可以使固定轴转动，进而可以通过皮带轮和传动皮带使螺纹轴转动，螺纹轴可以使螺纹板向下移动，通过连杆可以使移动板带动卡销移动，进而可以使卡销脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机从安装座上拆下进行维护，方便快捷，便于使用。
[0012]由于设置了吸尘泵，吸尘泵可以使连接管和多个吸尘头产生吸力，在线切割机工作时，可以将切割产生的废屑等杂质吸入至固定箱内，吸尘头为多个，且均为喇叭状，可以增大吸尘面积，从而可以防止废屑等杂质对工作环境造成污染，通过打开箱门，可以将固定箱打开，便于对固定箱内的废屑进行清理。
[0013]本技术结构合理，操作便利，通过向外转动驱动轴，可以使卡销脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机从安装座上拆下进行维护，方便快捷，便于使用。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的一种便于维护的硅晶片线切割机的主视结构示意图；
[0015]图2为本技术提出的一种便于维护的硅晶片线切割机的安装座剖视结构示意图；
[0016]图3为本技术提出的一种便于维护的硅晶片线切割机的局部三维结构示意图。
[0017]图中：1切割台、2安装座、3线切割机、4固定腔室、5驱动轴、6滑动板、7齿条、8固定轴、9齿轮、10螺纹轴、11螺纹板、12连杆、13移动板、14连接柱、15卡销、16滑槽、17限位板、18固定箱、19吸尘泵、20连接管、21吸尘头。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]实施例一
[0020]参照图1
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3，一种便于维护的硅晶片线切割机，包括切割台1和线切割机3，切割台1的一侧固定连接有安装座2，安装座2上设有固定腔室4，线切割机3的底部固定连接有连接柱14，连接柱14的底端延伸至固定腔室4内，安装座2的一侧螺纹连接有驱动轴5，驱动轴5的一端固定连接有把手，固定腔室4的底部内壁上滑动连接有滑动板6，驱动轴5的另一端延伸至固定腔室4内并与滑动板6的一侧转动连接，固定腔室4的底部内壁分别转动连接有固定轴8和螺纹轴10，固定轴8的顶端固定连接有齿轮9，滑动板6的另一侧固定连接有齿条7，齿条7与齿轮9相啮合，固定轴8与螺纹轴10上均固定套设有皮带轮，两个皮带轮上传动连接有同一个传动皮带，螺纹轴10上螺纹连接有螺纹板11，螺纹板11的顶部转动连接有连杆12，固定腔室4的顶部内壁上滑动连接有移动板13，连杆12的一端与移动板13的一侧转动连接，移
动板13的一侧固定连接有卡销15，连接柱14的一侧开设有与卡销15相适配的卡槽，卡销15的一端延伸至卡槽内并与卡槽相卡装，通过向外转动驱动轴5，可以使卡销15脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机3从安装座2上拆下进行维护，方便快捷，便于使用，由于设置了驱动轴5，通过向外转动驱动轴5，可以使滑动板6带动齿条7移动，通过齿轮9可以使固定轴8转动，进而可以通过皮带轮和传动皮带使螺纹轴10转动，螺纹轴10可以使螺纹板11向下移动，通过连杆12可以使移动板13带动卡销15移动，进而可以使卡销15脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机3从安装座2上拆下进行维护，方便快捷，便于使用，由于设置了吸尘泵19，吸尘泵19可以使连接管20和多个吸尘头21产生吸力，在线切割机3工作时，可以将切割产生的废屑等杂质吸入至固定箱18内，吸尘头21为多个，且均为喇叭状，可以增大吸尘面积，从而可以防止废屑等杂质对工作环境造成污染，通过打开箱门，可以将固定箱18打开，便于对固定箱18内的废屑进行清理，本技术结构合理，操作便利，通过向外转动驱动轴5，可以使卡销15脱离卡槽的卡装，这样就可以将线切割机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于维护的硅晶片线切割机，包括切割台(1)和线切割机(3)，其特征在于，所述切割台(1)的一侧固定连接有安装座(2)，所述安装座(2)上设有固定腔室(4)，所述线切割机(3)的底部固定连接有连接柱(14)，所述连接柱(14)的底端延伸至固定腔室(4)内，所述安装座(2)的一侧螺纹连接有驱动轴(5)，所述驱动轴(5)的一端固定连接有把手，所述固定腔室(4)的底部内壁上滑动连接有滑动板(6)，所述驱动轴(5)的另一端延伸至固定腔室(4)内并与滑动板(6)的一侧转动连接，所述固定腔室(4)的底部内壁分别转动连接有固定轴(8)和螺纹轴(10)，所述固定轴(8)的顶端固定连接有齿轮(9)，所述滑动板(6)的另一侧固定连接有齿条(7)，所述齿条(7)与齿轮(9)相啮合，所述固定轴(8)与螺纹轴(10)上均固定套设有皮带轮，两个皮带轮上传动连接有同一个传动皮带，所述螺纹轴(10)上螺纹连接有螺纹板(11)，所述螺纹板(11)的顶部转动连接有连杆(12)，所述固定腔室(4)的顶部内壁上滑动连接有移动板(13)，所述连杆(12)的一端与移动板(13)的一侧转动连接，所述移动板(13)的一侧固定连接有卡销(15)，所述连接柱(14)的一侧开设有与卡销(15...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱雄雄，李漢生，蔡雪良，
申请(专利权)人：昆山中辰矽晶有限公司，
类型：新型
国别省市：