一种单晶棒料接送料装置制造方法及图纸

技术编号:30006077 阅读:21 留言:0更新日期:2021-09-11 04:56
本实用新型专利技术涉及硬脆材料切割技术领域,尤其涉及一种接送料装置,包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架;圆棒夹持机构包括圆棒夹持单元、滚轮支撑架、两轴滑动架和夹持单元移动驱动组件,滚轮支撑架固定于两轴滑动架上,两轴滑动架包括上滑动架、上滑动组件、下滑动架和下滑动组件,上滑动架固定于下滑动架上,圆棒夹持单元与上滑动组件固定,夹持单元移动驱动组件用于驱动圆棒夹持单元在上滑动组件上沿竖直方向移动;圆棒位移驱动机构用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动;所述方棒接取机构设置于进给滑动架上。本方案中转运效率高,夹持稳定,安全性较高。安全性较高。安全性较高。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶棒料接送料装置


[0001]本技术涉及硬脆材料切割
,尤其涉及一种单晶棒料接送料装置。

技术介绍

[0002]中国技术ZL201821888906.1,公开了“一种单晶硅棒开方夹持装置,在该方案中单晶硅棒切割前圆棒以及开方切割后方棒移动机构是一体式集成设置,结构较为简单,但是因为棒料夹持转运位于设备上方位置,转运时需要夹持棒料运行较长距离,在该过程中如果夹持机构出现失效,则容易造成工件损坏,安全系数低。并且夹爪位置不能沿轴线调整,导致抓取时难以快速定位单晶硅棒的中心,需反复调整,效率较低。而且,现有的圆棒夹持机构防护结构不合理,由于硅晶棒在进行加工过程中会出现喷淋液以及切割废屑,非常容易导致圆棒夹持驱动单元的驱动布设出现锈蚀、堵塞的情况,影响整个设备的正常工作。
[0003]并且,在该技术方案中在对单晶硅棒进行开方切割完成之后,首先要将单晶方棒旋转45
°
,以便于机械手进行夹取,安全系数较低。
[0004]此外,在该技术方案中皮料接收机构设置在切割运行轮系的机架上,在完成对单晶硅棒的开方切割后,由皮料夹持机构夹持的皮料会随之被松开,皮料自由掉落在接料挡板上,在积累一定数量后由人工进行收集清理。而随着当前切割的硅晶棒料规格越来越大,随之产生的皮料也越来越重,若继续采用上述收集结构,会产生如下问题:第一,自由掉落时冲击力较大,损伤设备,使用时间长后会对开方切割精度产生影响;第二,人工收集废料费时费力。

技术实现思路

[0005]为此,需要提供一种单晶棒料接送料装置,来解决现有的单晶硅棒切割设备中,单晶硅棒切割前的圆棒和开方后的硅晶方棒的夹持通过一体式集成抓取装置进行接送料,转运时间长、安全系数较低的问题。
[0006]为实现上述目的,专利技术人提供了一种单晶棒料接送料装置,所述接送料装置包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架,所述圆棒夹持机构和方棒接取机构分别位于底架的两侧;
[0007]所述圆棒夹持机构包括圆棒夹持单元、滚轮支撑架、两轴滑动架和夹持单元移动驱动组件,所述滚轮支撑架固定于两轴滑动架上,所述两轴滑动架包括上滑动架、上滑动组件、下滑动架和下滑动组件,所述上滑动组件沿竖直方向设置于上滑动架的顶部,所述上滑动架固定于下滑动架上,所述下滑动架通过沿水平方向设置的下滑动组件装配于底架上,所述圆棒夹持单元与上滑动组件固定,且圆棒夹持单元的左夹爪和右夹爪分别位于滚轮支撑架的两侧,所述夹持单元移动驱动组件用于驱动圆棒夹持单元在上滑动组件上沿竖直方向移动;
[0008]所述圆棒位移驱动机构用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动;
[0009]所述方棒接取机构设置于进给滑动架上,所述进给滑动架装配于底架上;
[0010]所述方棒位移驱动机构用于驱动进给滑动架沿水平方向进给运动。
[0011]作为本技术的一种优选结构,所述圆棒夹持单元包括圆棒夹爪、夹爪滑动座、安装底板、防护外罩和夹爪驱动组件,所述圆棒夹爪包括左夹爪和右夹爪,所述左夹爪和右夹爪分别固定于两夹爪滑动座上,所述防护外罩设置于安装底板上形成容置腔,所述防护外罩包括防护盖板和两防护侧板,所述防护盖板为底面为敞口的矩形体,所述防护盖板罩设于防护侧板上,所述防护侧板与安装底板连接,所述防护侧板与防护盖板之间具有滑动间隙,所述夹爪滑动座通过所述滑动间隙可滑动套设于防护盖板上,所述夹爪驱动组件包括双向丝杆、移动滑块和夹爪驱动电机,所述双向丝杆设置于容置腔内,两夹爪固定座通过移动滑块分别连接双向丝杆的相反螺纹段,所述夹爪驱动电机与双向丝杆传动连接。
[0012]作为本技术的一种优选结构,所述圆棒夹持单元为两组,两组圆棒夹持单元均与上滑动组件固定。
[0013]作为本技术的一种优选结构,所述方棒接取机构包括长滚轮支架、顶升驱动单元和压力检测传感器,所述顶升驱动单元的伸缩端与长滚轮支架的底面连接,用于驱动长滚轮支架升降运动,所述压力检测传感器设置于长滚轮支架上,用于检测硅晶方棒与长滚轮支架接触时的顶出压力。
[0014]作为本技术的一种优选结构,所述方棒接取机构还包括顶升滑动单元和滑动机构安装板,所述顶升滑动单元包括顶升滑轴和顶升滑套,所述顶升滑轴固定于滑动机构安装板上,所述顶升滑轴滑动套设于顶升滑套内,顶升滑轴的顶端与长滚轮支架的底部连接。
[0015]作为本技术的一种优选结构,所述顶升滑动单元还包括润滑件和密封垫,所述润滑件套设于顶升滑滑轴外,并与顶升滑套固定,所述润滑件内腔的两端具有润滑沟槽,所述密封垫设置于润滑沟槽的外侧。
[0016]作为本技术的一种优选结构,所述接送料装置还包括皮料接收机构,所述皮料接收机构设置于进给滑动架上,且位于方棒接取机构的同侧,皮料接收机构包括皮料输送机、限位板和第一接料挡板,所述皮料输送机具有输送平台,所述限位板设置于输送平台的两侧,所述限位板上开设有沿输送方向设置长槽孔,所述第一接料挡板的两侧壁通过紧固螺钉锁固于限位板上,第一接料挡板横跨于输送平台上,且第一接料挡板与输送平台之间具有过料间隙,第一接料挡板具有接料斜面。
[0017]作为本技术的一种优选结构,所述皮料接收机构还包括第二接料挡板,所述第二接料档板固定于限位板的一侧,第二接料档板横跨于输送平台上,且与输送平台之间具有运动间隙,第二接料挡板具有接料斜面。
[0018]作为本技术的一种优选结构,所述皮料接收机构还包括皮料检测传感器,所述皮料检测传感器设置于第一接料挡板的前方的限位板上。
[0019]作为本技术的一种优选结构,所述底架上设置有进给移动滑轨,所述两轴滑动架和滑动架均装配于进给移动滑轨上。
[0020]区别于现有技术,上述技术方案具有如下优点:本技术一种单晶棒料接送料装置,所述接送料装置包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架,首先将开方的单硅晶棒即硅晶圆棒放置在圆棒夹持机构的滚轮支撑架上,在需要进行进料输送时,圆棒夹持单元夹紧硅晶圆棒,防止输送过程中出现掉
落的情况。所述两轴滑动架的设置,使得在切割送料时,在圆棒位移驱动机构的驱动下沿水平方向进给滑动,进而实现圆棒夹持单元沿水平方向进给运动,同时夹持单元移动驱动组件可以驱动圆棒夹持单元在上滑动组件沿竖直方向移动,实现两轴运动,实现对圆棒夹持单元的位置调整,以便于根据硅晶圆棒的不同长度快速调整并夹持到硅晶圆棒中心位置,确保夹持稳定。在硅晶圆棒开方切割后成硅晶方棒,方棒位移驱动机构驱动通过进给滑动架带动将方棒接取机构移动到硅晶方棒下方,进行硅晶方棒的接取转运,从而实现单晶硅棒开方过程中的接送料。在本方案中,单硅晶棒开方过程中的硅晶圆棒和硅晶方棒分别通过圆棒夹持机构和方棒接取机构进行转运,转运效率高,夹持稳定,安全性较高。
附图说明
[0021]图1为具体实施方式中所述单晶棒料接送料装置的斜视结构示意图;
[0022本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶棒料接送料装置,其特征在于,所述接送料装置包括圆棒夹持机构、圆棒位移驱动机构、方棒接取机构、方棒位移驱动机构、进给滑动架和底架,所述圆棒夹持机构和方棒接取机构分别位于底架的两侧;所述圆棒夹持机构包括圆棒夹持单元、滚轮支撑架、两轴滑动架和夹持单元移动驱动组件,所述滚轮支撑架固定于两轴滑动架上,所述两轴滑动架包括上滑动架、上滑动组件、下滑动架和下滑动组件,所述上滑动组件沿竖直方向设置于上滑动架的顶部,所述上滑动架固定于下滑动架上,所述下滑动架通过沿水平方向设置的下滑动组件装配于底架上,所述圆棒夹持单元与上滑动组件固定,所述夹持单元移动驱动组件用于驱动圆棒夹持单元在上滑动组件上沿竖直方向移动;所述圆棒位移驱动机构用于驱动两轴支撑架沿水平方向进给运动;所述方棒接取机构设置于进给滑动架上,所述进给滑动架装配于底架上;所述方棒位移驱动机构用于驱动进给滑动架沿水平方向进给运动。2.根据权利要求1所述单晶棒料接送料装置,其特征在于,所述圆棒夹持单元包括圆棒夹爪、夹爪滑动座、安装底板、防护外罩和夹爪驱动组件,所述圆棒夹爪包括左夹爪和右夹爪,所述左夹爪和右夹爪分别固定于两夹爪滑动座上,所述防护外罩设置于安装底板上形成容置腔,所述防护外罩包括防护盖板和两防护侧板,所述防护盖板为底面为敞口的矩形体,所述防护盖板罩设于防护侧板上,所述防护侧板与安装底板连接,所述防护侧板与防护盖板之间具有滑动间隙,所述夹爪滑动座通过所述滑动间隙可滑动套设于防护盖板上,所述夹爪驱动组件包括双向丝杆、移动滑块和夹爪驱动电机,所述双向丝杆设置于容置腔内,两夹爪固定座通过移动滑块分别连接双向丝杆的相反螺纹段,所述夹爪驱动电机与双向丝杆传动连接。3.根据权利要求2所述单晶棒料接送料装置,其特征在于,所述圆棒夹持单元为两组,两组圆棒夹持单元均与上滑动组件固定。4.根据权利要求1所述单晶棒料接送料装置,其特征在于,所述方棒接取机构包括长滚轮支...

【专利技术属性】
技术研发人员:李海威梁兴华李元业林光展陈宗浩刘林炎苏宇华
申请(专利权)人:福州天瑞线锯科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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